基本情報
| ブース | T9110 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | yuanxinbandaoti.netlify.app |
会社概要
Zhejiang Yuanxin Advanced Material Co., Ltd. は、半導体チャンバー内の主要部品と一式の統合ソリューションの研究開発・生産に注力するハイテク企業で、浙江省嘉興市海寧の長江デルタ半導体産業集積地域に位置しています。同社は2021年6月4日に設立され、8,000平方メートルを超える工場面積、5,000万元を超える投資額、170人のチームを有しています。中核チームは国内の著名な半導体OEMメーカー出身で、半導体部品製造に15年以上の経験があります。同社は Ceramic、Quartz、Silicon の3つの中核材料の国産代替に注力し、製品は Etch、CVD、PVD、Diffuse などの主要半導体プロセス装置に使用されています。Sapphire、AlN、SiC、PI、ZrO₂、機械加工可能セラミックス、導電性セラミックス、PEEK の部品も加工でき、複数材料のワンストップ精密製造を提供します。主要設備には精密MC、CNC研削盤、クラス100／クラス1000洗浄ラインが含まれ、工場には生産作業場とクリーンルーム設備があり、成形、CNC加工、研削、研磨、焼結、洗浄、検査までをカバーします。Etch 装置向けにはチャンバーカバー、マスキングリング、ドーム、ロボット部品、ノズルを、CVD 向けには高純度石英・セラミックチャンバー部品を、PVD 向けにはシリコン製シャワーヘッド電極とポリシリコン排気ファン／リングを、Diffuse、エピタキシー、RTP 向けには石英炉管、石英ボート、エピタキシャルベルジャー、保温筒を供給します。同社は国家ハイテク企業として認定され、工業情報化部の科技型中小企業評価を通過し、浙江省の革新的中小企業リストに選定されています。掲げる価値観は人を基本とすること、卓越性の追求、品質第一、安全第一であり、従業員の成長、製品精度と信頼性、厳格な工程管理、安全生産を重視しています。Zhejiang Yuanxin Advanced Material Co., Ltd. は半導体製造用途向けの重要部品と完全な統合ソリューションを供給します。
展示製品
Ceramic 部品はエッチング装置、イオン注入装置、薄膜気相成長装置、原子層堆積装置に適用され、Quartz 部品はエッチング、エピタキシー、拡散、急速熱処理装置に、Silicon 部品はエッチングとエピタキシー装置に使用されます。半導体 Etch および CVD チャンバーの主要部向けセラミック部品は、高い耐プラズマ性、誘電強度、耐食性、純度、信頼性を重視して設計されています。Ceramic Window は RF またはマイクロ波エネルギーをプラズマエッチングチャンバーへ伝送し、RF／マイクロ波周波数で低損失正接と高透過率を持ち、プラズマエッチング環境に耐え、大気プラズマアルミナコーティングまたは AD アルミナコーティングに対応します。Cover Ring / Liner はウェハ端部を覆ってチャンバー部品を保護し、6インチ、8インチ、12インチ仕様があり、ARC アルミ溶射面にも対応します。Ceramic Dome は成膜装置内で清浄・不活性・保護されたチャンバー環境を作るために用いられ、Baffle / Nozzle はガス流量を制御しエッチングチャンバーへ均一に分散するために設計されています。Blade / Finger / Robot のセラミック搬送部品は、大気または真空環境でウェハを接触／非接触で処理・移動するために用いられ、寸法精度、熱安定性、滑らかで耐摩耗性のある支持面、帯電防止要件を重視します。カスタムセラミック構造部品は、顧客装置の型式とプロセス要件に応じて精密加工できます。Quartz 部品では純度、気泡混入、表面の金属・粒子汚染を管理し、エピタキシー向けには高温変形に強い石英ベルジャーとライナーリングを、拡散／RTP 向けには石英炉管、石英ボート、石英保温筒など高純度と熱安定性を必要とする部品を提供します。Silicon 部品は高純度の単結晶または多結晶シリコンを用い、耐プラズマ性と低金属汚染を備え、ガス分布用のシャワーヘッド電極、整流とチャンバー保護用のポリシリコン排気ファン／リング、純度99.9999%以上でエッチング装置の端部保護・シールに使う高純度単結晶シリコンリングを含みます。Ceramic、Quartz、Silicon に加え、Sapphire、AlN、SiC、PI、ZrO₂、機械加工可能セラミックス、導電性セラミックス、PEEK でもカスタム部品を製作できます。カスタムサービスは、要件確認、ソリューション設計と見積り、継続的なコミュニケーションを伴う精密製造、受入試験と継続技術支援までをカバーします。同社は拡散プロセス用の Quartz 部品も供給します。
対応領域・製品
- セラミックチャンバーカバー（アルミナコーティング対応）
- 6／8／12インチセラミックカバーリング
- 6／8／12インチセラミックライナーリング
- 成膜装置用セラミックドーム
- エッチング装置用セラミックガスノズル
- セラミック製ウェーハ搬送ブレード・フィンガー
- カスタムセラミック構造部品の精密加工
- エッチング装置用石英部品
- エピタキシー工程用石英ベルジャー
- エピタキシー工程用石英ライナーリング
- 拡散工程用石英炉心管
- 拡散工程用石英ボート
- 拡散工程用石英保温筒
- RTP装置用石英部品
- 半導体エッチング用シリコンシャワーヘッド電極
- 半導体チャンバー用多結晶シリコン排気ファン（C-Shroud）
- 半導体チャンバー用多結晶シリコン排気リング
- エッチング装置用単結晶シリコンリング（純度≥99.9999%）
- サファイア部品の精密加工
- 窒化アルミニウム（AlN）部品の精密加工
- 炭化ケイ素（SiC）部品の精密加工
- PI部品の精密加工
- 酸化ジルコニウム（ZrO₂）部品の精密加工
- マシナブルセラミック部品の精密加工
- 導電性セラミック部品の精密加工
- PEEK部品の精密加工
- 半導体部品のCNC加工
- 半導体部品の研削加工
- 半導体部品の研磨加工
- 半導体部品の焼結
- クラス100／1000環境での半導体部品洗浄
- 半導体部品の成形加工
- エッチング装置用セラミックガスバッフル
- 異形石英部品の火炎加工