基本情報
| ブース | T9210 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.hkyq.com.cn |
会社概要
Zhejiang Hangke Instrument Co., Ltd. は ATiS HangKe とも表記され、1984年に設立された杭州可靠性儀器廠を起源とし、中国杭州に本社を置いています。長い歴史と技術蓄積を持つハイエンド設備メーカーとして、半導体信頼性試験と特殊電源分野に注力すると説明しています。事業は、試験ソリューション、高効率な試験システムサービス、電子電源設備の開発を中心に構成されています。数十年にわたる技術革新を通じ、電子部品の全シリーズをカバーするバーンインスクリーニング装置と試験システムを保有するとしています。成熟した販売体制とアフターサービスチームにより顧客ニーズへ迅速に対応し、製品とサービスを幅広い市場の顧客へ供給していると説明しています。研究開発能力は、省・部級の科学技術進歩賞を複数回受賞しています。2020年に Zhejiang Hangke Instrument Co., Ltd. へ社名変更しました。2026年には、株式コード688006と記載される Hangke Technology Co., Ltd. の連結子会社となりました。半導体産業で品質、技術、顧客を重視し、「高品質、高効率、高速」の発展戦略を掲げています。また、省エネルギー、消費削減、環境との調和を持続可能な発展への取り組みとして示しています。
展示製品
ウェハレベル信頼性試験システムは JEDEC 信頼性試験規格に基づいて設計され、6インチ・8インチのウェハレベルデバイスを制御可能な高温下で通電信頼性試験する用途に適しています。CWBS1000 は高精度高電圧出力を備え、高精度電流と制御温度などのパラメータを長期記録し、記録した試験データから複数形式の実験表と MAP 図を出力できます。カスタムプローバは最大3枚のウェハを同時にバーンインでき、各ウェハ Die に独立保護を設けて過電流・過電圧の上限超過を制御します。ウェハ酸化防止の窒素保護、ガス充填時の過圧保護、異なるパッケージデバイス用のプローブカード交換、ウェハ装着時の接点到達検知に対応します。リアルタイムの温度・圧力検出に加え、HTGB、HTRB などのバーンイン機能と、Vth、Idss、Igss などの自動試験・データ解析を備えます。CWBS1000 はウェハ配置 MAP 設定、リアルタイムデータ表示、履歴データ検索、SECS-II、集中制御ステーション接続、MES とのカスタム連携に対応します。動作範囲として室温～200°C、SiC などの6インチ・8インチウェハ、温度オーバーシュート2°C未満、ゲート電圧 ±60V、精度0.1%+10mVを示しています。ゲート電流は、単一ステーションで HTGB 0.1nA～0.1mA、精度1%±5LSB、Vth 20mA、精度0.1%±20uAと記載されています。ドレイン側は2000V、精度0.5%*Vmax±1000mV、単一ステーションのドレイン電流1nA～1mA、精度1%±2LSBを示しています。HTRB オーバーシュート2%未満、HTGB オーバーシュート200mV未満、TCP/UDP ネットワークまたは485シリアル通信、Windows10以降、SECS-II による第三者システム・データ連携を掲げています。CWBS1000 は重量760kg±10%、外形2050mm(W) x 1400mm(D) x 1750mm(H)、単一チャンバー1920mm(W) x 1250mm(D) x 303mm(H)で、AEC Q101、JEP 183、IEC 60749-23、JESD 22-A108F に対応すると記載されています。SiC などのウェハの高温・高電圧信頼性試験を対象とし、Vth、Igss、Idss の自動測定・データ解析に対応します。大型集積回路バーンイン試験システムは RT~+150°C でチップの HTOL 試験を行い、バーンイン中に部品出力信号をリアルタイム監視してベクトルを自動比較できます。別の大型集積回路バーンイン構成はデュアル温度ゾーンに対応し、RT~+150°C の HTOL バーンインで出力信号をリアルタイム検出し、ベクトルを自動比較します。信頼性試験の製品ラインには IGBT パワーサイクル試験システムも含まれます。MCT-3600V-S バーンインソケットは PPS+gf30 の黒色ボディ、BeCu 接点、Ni-base 上の Au plating を採用します。定格電流1A、絶縁抵抗1000mΩ min. at 500V DC、接触抵抗100mΩ max. at 100mA max、使用温度-55℃～+175℃と記載されています。MCT-3600V-S の耐久性は50000 cycle とされ、試験条件により結果が異なる場合があると注記されています。TQFP-64-0.5-01 バーンインソケットは PEI+gf30 の黒色ボディ、BeCu 接点、Ni-base 上の Au plating を採用します。こちらも定格電流1A、絶縁抵抗1000mΩ min. at 500V DC、接触抵抗100mΩ max. at 100mA max、使用温度-55℃～+175℃です。耐久性は50000 cycle とされ、異なる試験条件では結果が異なる可能性があると記載されています。
対応領域・製品
- 6／8インチウェーハHTGB／HTRB信頼性試験システム（最高200°C、最大3枚並列試験）
- ウェーハVth／Idss／Igss自動測定・データ解析
- 信頼性試験装置のSECS-II・MES統合
- IC HTOLバーンイン試験システム（2温度ゾーン、室温～+150°C、リアルタイム信号監視・自動ベクトル比較）
- IGBTパワーサイクル試験システム
- 半導体バーンインソケット（-55°C～+175°C）
- 特殊電源装置の研究開発