기본 정보
| 부스 | L0017 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.wpic.com.tw |
회사 소개
Wisdom Power International Corporation LTD(WPIC)는 반도체 플라즈마 발생 장비와 플라즈마 전원 장비의 판매 및 서비스를 중심으로 반도체 고객에게 기술 지원과 완전한 플라즈마 시스템 솔루션을 제공합니다. 회사는 반도체 제조 공정 및 플라즈마 응용 전문성, 혁신적인 연구개발 역량, 플라즈마 응용 기술 기반의 다수 특허를 보유한다고 설명합니다. 첨단 Arcing 검출 및 제어 기술은 8인치와 12인치 Etching, CVD, PVD 공정의 수율 개선을 지원합니다. 서비스 범위에는 반도체 RF 플라즈마 전력 모니터링, 반도체 플라즈마 챔버 모니터링, remote plasma를 이용한 PECVD 챔버 세정이 포함됩니다. 또한 PVD 공정 Arc 모니터링, 반도체 RF matcher 최적화 및 고장 검지, 반도체 핵심 부품 국산화 및 개선 프로젝트, Monochromator, H.O.T Pack, Endpoint PC를 포함한 Optical endpoint detector 리퍼비시 및 유지보수를 제공합니다. WPIC는 반도체 플라즈마 전원 시스템의 판매, 유지보수, 성능 업그레이드도 주요 사업으로 설명합니다. 첨단 전원 모듈과 엔지니어링 기술 서비스를 통해 글로벌 웨이퍼 팹의 장비 수명 연장, 에너지 소비 절감, 공정 안정성 향상을 지원합니다. 원제조사 지원이 중단되거나 유지보수 비용이 높은 경우 일상 보수부터 고효율 절전 모듈 업그레이드까지 대안을 제공하여 장비 전체를 교체하지 않고 기존 자산을 최적화합니다. 회사는 솔루션이 총소유비용(TCO)을 낮추고 전력 소비를 20–80% 절감하며 시스템 가동률과 공정 안정성을 높일 수 있다고 설명합니다. Virginia Tech, National Chiao Tung University(NCTU), National Formosa University(NFU)와 차세대 플라즈마 전원 모듈을 공동 연구합니다. 기존 시스템 성능을 충분히 활용하여 고객이 공정 혁신과 수율 향상에 집중하도록 지원하는 것이 목표입니다.
전시 제품
WPIC의 반도체 플라즈마 전원 시스템은 플라즈마 공정에 안정적이고 효율적인 전력을 공급하여 공정 신뢰성과 일관성을 지원합니다. 시스템은 플라즈마 파라미터를 정밀 제어하여 반도체 제조의 공정 안정성과 제품 수율을 지원합니다. WPIC 전문가들은 전력뿐 아니라 전압, 전류, 주파수를 사용해 플라즈마 특성을 조절하여 복잡한 첨단 공정 요구에 대응합니다. 전원 시스템은 높은 안정성과 정밀한 출력 제어를 제공하며 정확하고 반복성이 높은 성능으로 공정 변동을 줄이고 제품 일관성을 높인다고 설명됩니다. 첨단 디지털 제어, Pulse 제어, Arcing 검출은 첨단 공정의 복잡한 요구에 빠르게 대응합니다. 또한 여러 출력 모드와 파라미터 설정을 제공해 서로 다른 공정 요구를 충족합니다. 에너지 효율 설계는 최신 전력전자 부품 기술과 고주파 스위칭 기술을 사용하여 시스템 효율을 높이고 에너지 사용과 배출을 줄입니다. 플라즈마 전원 시스템 외에도 반도체 RF 플라즈마 전력 모니터링과 반도체 플라즈마 챔버 모니터링을 제공합니다. remote plasma를 이용한 PECVD 챔버 세정과 PVD 공정 Arc 모니터링도 공정 개선 역량에 포함됩니다. RF 전달 측면에서는 반도체 RF matcher 최적화 설정과 고장 검지를 제공합니다. 광학 엔드포인트 시스템에서는 Optical endpoint detector의 Monochromator, H.O.T Pack, Endpoint PC를 리퍼비시하고 유지보수합니다. 전체 공급 범위는 플라즈마 전원 공급 및 업그레이드, 전력·챔버 모니터링, 챔버 세정, Arc 제어, RF matching 최적화, endpoint-detector 유지보수, 엔지니어링 지원을 결합하여 반도체 공정 안정성과 수율 향상을 지원합니다.
역량 및 제품
- 반도체 플라즈마 발생 장비 판매 및 서비스
- 반도체 플라즈마 시스템 기술 지원
- 8/12인치 Etching, CVD, PVD Arcing 감지 및 제어
- 반도체 RF 플라즈마 전력 모니터링
- 반도체 플라즈마 챔버 모니터링
- remote plasma PECVD 챔버 세정
- PVD 공정 Arc 모니터링
- 반도체 RF 매처 최적화 및 고장 감지
- 반도체 핵심 부품 국산화 및 개선
- Optical endpoint detector 리퍼비시 및 유지보수
- 반도체 플라즈마 전원 유지보수 및 성능 업그레이드
- 전력/전압/전류/주파수 플라즈마 제어