基本情報
| ブース | L0017 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Ion Implantation Equipment · Plasma Sources; Controls; Monitoring; Diagnosis · Power Supplies; RF Generators; Converters; Electrical Conditioning · Process Monitoring systems · Inverters |
| ウェブサイト | www.wpic.com.tw |
会社概要
呈睿國際（WPIC）は、半導体プラズマ生成装置の販売およびサービスを中核事業としています。当社は半導体製造プロセスに精通し、革新的な研究開発能力を有する専門企業であり、プラズマ応用技術における専門知識をもとに複数の特許を取得しています。半導体のお客様に対し、完全なプラズマシステムソリューションを伴う販売・サービス・技術サポートを提供しています。当社の先進的なアーク検出・制御技術は、8 インチおよび 12 インチのエッチング、CVD、PVD プロセスにおける歩留まり改善を支援します。WPIC は、競争力のあるサービスとともに革新的な技術ソリューションをお客様に提供することをお約束します。人材を基盤とした持続可能な経営理念に基づき、WPIC はお客様に包括的かつ完全なサービスを提供してまいります。主な製品とサービス：1. 先進半導体向け RF プラズマ電力モニタリング 2. 先進半導体向けプラズマチャンバーモニタリング 3. PECVD チャンバー洗浄技術へのリモートプラズマ応用 4. 先進半導体 PVD プロセス向けアークモニタリング技術 5. 先進半導体向け RF マッチング装置の最適設定および故障検知技術 6. 半導体重要部品の国産化および改良プロジェクト 7. 光学エンドポイントディテクター（Monochromator、H.O.T Pack、Endpoint PC）のリフレッシュ・メンテナンス
対応領域・製品
- 8 インチおよび 12 インチ CVD プロセス向けアーク制御
- 8 インチおよび 12 インチ PVD プロセス向けアーク制御
- 8 インチおよび 12 インチエッチングプロセス向けアーク制御
- アーク検出および制御技術
- 半導体プラズマ発生装置
- 半導体顧客向けプラズマシステムソリューション