基本情報
| ブース | L0017 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.wpic.com.tw |
会社概要
Wisdom Power International Corporation LTD（WPIC）は、半導体プラズマ生成装置およびプラズマ電源装置の販売・サービスを中心に、半導体顧客へ技術支援と総合的なプラズマシステムソリューションを提供します。半導体製造プロセスとプラズマ応用の専門性、革新的研究開発能力、プラズマ応用技術に基づく複数の特許を有するとしています。先進的なArcing検出・制御技術は8インチと12インチのEtching、CVD、PVDプロセスの歩留まり改善を支援します。サービスには半導体RFプラズマ電力監視、半導体プラズマチャンバー監視、remote plasmaによるPECVDチャンバークリーニングが含まれます。さらにPVDプロセスのArc監視、半導体RF matcher最適化と故障検知、半導体主要部品の国産化・改良プロジェクト、Monochromator、H.O.T Pack、Endpoint PCを含むOptical endpoint detectorの再生修理・保守を掲載しています。WPICは半導体プラズマ電源システムの販売、保守、性能アップグレードも事業として説明しています。先進電源モジュールとエンジニアリング技術サービスにより、世界のウェハーファブの装置寿命延長、エネルギー消費削減、プロセス安定性向上を支援します。メーカーサポート終了時や保守費が高い場合には、日常保守から高効率省エネモジュールへのアップグレードまで代替案を提供し、装置全体を交換せず既存資産を最適化します。ソリューションはTCO低減、電力消費20–80%削減、システム稼働率とプロセス安定性向上につながるとしています。Virginia Tech、National Chiao Tung University（NCTU）、National Formosa University（NFU）と次世代プラズマ電源モジュールを共同研究しています。既存システムの性能を最大限活用し、顧客がプロセス革新と歩留まり向上に集中できるよう支援することを目標としています。
展示製品
WPICの半導体プラズマ電源システムはプラズマプロセスに安定かつ効率的な電力を供給し、プロセスの信頼性と一貫性を支援します。システムはプラズマパラメータを精密に制御し、半導体製造のプロセス安定性と製品歩留まりを支えます。WPICの専門家は電力だけでなく電圧、電流、周波数も用いてプラズマ特性を調整し、複雑な先進プロセス要求に対応します。電源システムは高い安定性と精密な出力制御を備え、高精度で再現性の高い性能によって工程変動を低減し、製品の一貫性を向上させると説明されています。先進デジタル制御、Pulse制御、Arcing検出により先進プロセスの複雑な要求へ迅速に応答します。複数の出力モードとパラメータ設定にも対応し、異なるプロセス要求を満たします。省エネ設計では最新のパワーエレクトロニクス部品技術と高周波スイッチング技術を利用し、システム効率を向上してエネルギー使用と排出を低減します。電源システム以外に、半導体RFプラズマ電力監視と半導体プラズマチャンバー監視を提供します。remote plasmaによるPECVDチャンバークリーニングとPVDプロセスArc監視もプロセス改善能力に含まれます。RF供給では半導体RF matcherの最適化設定と故障検知を提供します。光学終点システムではOptical endpoint detectorのMonochromator、H.O.T Pack、Endpoint PCを再生修理・保守します。全体として、プラズマ電源供給・アップグレード、電力・チャンバー監視、チャンバー洗浄、Arc制御、RF matching最適化、endpoint-detector保守、エンジニアリング支援を組み合わせ、半導体プロセスの安定性と歩留まりを支援します。
対応領域・製品
- 半導体プラズマ生成装置の販売・サービス
- 半導体プラズマシステム技術支援
- 8／12インチEtching・CVD・PVD Arcing検出制御
- 半導体RFプラズマ電力監視
- 半導体プラズマチャンバー監視
- remote plasmaによるPECVDチャンバー洗浄
- PVDプロセスArc監視
- 半導体RFマッチャ最適化・故障検知
- 半導体主要部品の国産化・改良
- Optical endpoint detector再生修理・保守
- 半導体プラズマ電源の保守・性能アップグレード
- 電力・電圧・電流・周波数によるプラズマ制御