基本資料
| 攤位 | L0017 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Deposition; Chemical Vapor (CVD); MOCVD; PECVD; LPCVD; ALD; REALD; MVD · Deposition; Physical Vapor (PVD); Sputtering; Evaporation Equipment · Etching; Stripping; Ashing - Dry and Wet Equipment · Ion Implantation Equipment · Plasma Sources; Controls; Monitoring; Diagnosis · Power Supplies; RF Generators; Converters; Electrical Conditioning · Process Monitoring systems · Inverters |
| 網站 | www.wpic.com.tw |
公司簡介
呈睿國際主要經營半導體電漿應用設備相關技術服務。 我們是一家專業並具有創新研發能力的公司，擁有半導體製程、電漿應用與多項專利的經驗。 負責完整的銷售與技術服務，更提供半導體客戶完整的電漿系統設備與解決方案。 先進的Arcing偵測及防治技術能支援客戶從8吋到12吋中Etching, CVD及PVD製程的良率改善。 以兼具創新、技術與競爭力的服務，滿足使用者對於高品質的追求。 以人才為本的基礎及永續經營的企業理念提供客戶更全面且完整的服務品質。 主要產品與服務: 1. 先進半導體射頻電漿功率監控 2. 先進半導體電漿腔體監控 3. 遠端電漿應用在PECVD 腔體清潔技術 4. 先進半導體 PVD 製程Arc 監控技術 5. 先進半導體射頻匹配器最佳化設定與故障檢知技術 6.半導體關鍵組件國產化及改良專案 7. Optical endpoint detector (Monochromator, H.O.T Pack, Endpoint PC)翻新維修
能力與產品項目
- 8 吋與 12 吋 CVD 製程電弧控制
- 8 吋與 12 吋 PVD 製程電弧控制
- 8 吋與 12 吋蝕刻製程電弧控制
- 半導體客戶用電漿系統解決方案
- 半導體電漿產生設備
- 電弧偵測與控制技術