基本情報
| ブース | R7112 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.werner-lieb.de |
会社概要
Werner Lieb GmbHは、半導体製造向けのカスタマイズ自動化ソリューションと、パワーエレクトロニクス向けのカスタマイズ自動化ソリューションを開発し、ハイテク生産で求められる信頼性、精度、革新性を重視しています。 ほぼ70年以上にわたり、Werner Lieb GmbHは革新的なソリューション、精密な社内生産、信頼性の高いサービスを組み合わせてきました。 Werner Lieb GmbHは小ロットメーカーおよび特殊機械メーカーとして、個別の顧客要件を生産ソリューションへと具体化しています。 同社の技術アプローチは自動化と技術プロセス統合を組み合わせ、顧客のプロセスを専用設計の生産設備へ組み込めるようにします。
展示製品
半導体用途では、Werner Lieb GmbHは高価な製品ウェハを安全にハンドリングすることを、部品とシステムの最優先事項としています。 ハンドリングの考え方は、非常に薄く壊れやすいものから厚いものまで、また平坦なものから大きく反ったものまで、多様なウェハ状態に対応します。 完全統合システムには、顧客独自のプロセスモジュールまたは技術を全自動システムへ組み込むことができます。 Werner Lieb GmbHは、自社開発のエンドエフェクタ、Load Port、Equipment Front End Module(EFEM)を用いて、さまざまなウェハを安全にハンドリングします。 半導体向けラインアップには、完全統合システム、EFEM、Load Port、ウェハおよびレチクル用SMIF Load Port、基板ハンドリング、エンドエフェクタ、エンドエフェクタ交換機が含まれます。 Werner Lieb GmbHは、顧客のプロセスまたは技術モジュールを全自動ウェハハンドリング環境へ組み込む完全統合システムを提供します。 各システムは固定された標準構成に限定されず、顧客仕様に合わせて構築できます。 Werner Lieb GmbHは、必要なプロセスに合わせて顧客と新しい機械プラットフォームを設計できます。 完全統合システムの外形寸法は顧客要件に合わせて調整できます。 システムの装備と機能構成も顧客ニーズに合わせてカスタマイズできます。 Werner Lieb GmbHは、ウェハをプロセスシステムへ搬入または搬出するEquipment Front End Module(EFEM)を提供し、構成にさまざまな機能を追加できます。 EFEMの構成オプションにはLoad Portがあり、2 Load Port構成、FOUP、SMIF、Open wafer cassetteを選択できます。 ハンドリングオプションには、エンドエフェクタ、シングルアームまたはダブルアームのロボット、エンドエフェクタチェンジャ、EEパーキングステーションがあります。 追加のEFEM機能には、Prealigner、IDまたはDMCコードリーダ、Flip station、Spin dryer、OHT option、Light curtain、E84、Filter fan unitがあります。 Werner Lieb GmbHはLIEB LP200-SMIF Load Portsを搭載したEFEMを示しており、EFEMの外形寸法と装備構成の両方をカスタマイズできます。 ウェハ用Load Portとして、Werner Lieb GmbHはRSP200インターフェースを介してウェハSMIF Podを開閉できるLP200-SMIFを提供します。 LP200-SMIF W GEN2はRSP200 SMIF wafer podに対応し、bolts interfaceまたはtable-top versionで提供されます。 ウェハMapping仕様は100 µmで、正しく挿入されたウェハ、cross slotted、double slottedの状態を検出します。 LP200-SMIF W GEN2は8個のstatus LEDを備え、SEMI E19.4-0417に対応し、清浄度はISO class 3です。 LP200-SMIF W GEN2はMade in Germanyと表記されています。 LP200-SMIF WRレチクルLoad Portは、RSP200 door付きSMIF Pod用ベースプレート、ステンレス製エンクロージャ、Pod、hood、mask、mask protrusion状態を検出するセンサを備えます。 LP200-SMIF WRは4個のstatus LEDを備え、SEMI S2、S8、E100、E19.4-0417を参照し、清浄度はISO class 3で、Made in Germanyと表記されています。 LP200-SMIF RはRSP200 Single Mask Podsに対応し、pellicleの有無と方向、mask protrusion、安全なOHT loadingのためのload-port occupationを検出し、8個のstatus LEDを備えます。 LP200-SMIF RはSEMI S2、S8、E19.4-0417、E15、E100、E117を参照し、清浄度はISO class 1で、CEおよびMade in Germanyと表記されています。 LP200-SMIF R EUVはRSP200 Single Mask PodsとEUV Mask Podsの両方に対応し、Inner Pod検出を追加し、SEMI S2、S8、E19.4-0417、E15、E100、E117、E152を参照し、清浄度はISO class 1で、CEおよびMade in Germanyと表記されています。 Werner Lieb GmbHはbolts interfaceを使用するベースプレートを備えたPanel Load Portを提供します。 このPanel Load Portはpanel protrusionを検出します。 cassetteが存在するかどうかも検出します。 cassetteの配置を監視し、8個のstatus LEDで状態を表示します。 このPanel Load PortはSEMI E84を参照し、Made in Germanyと表記されています。 Werner Lieb GmbHは、顧客固有の用途に合わせたエンドエフェクタを開発します。 エンドエフェクタは、薄いまたは厚い、平坦または大きく反った、高柔軟または高剛性の各種ウェハに対応します。 一例として、高反り基板をハンドリングする吸盤付き真空エンドエフェクタがあります。 ポートフォリオには、真空、クランプ、重力を把持原理として使用するエンドエフェクタがあります。 これらのエンドエフェクタは、ウェハ、基板、Tape frameを裏面またはエッジから把持できます。 エンドエフェクタ交換機はWerner Lieb GmbHの基板ハンドリング製品の一部です。 これは1つのシステムで複数のエンドエフェクタを使用するウェハハンドリング向けです。 異なるエンドエフェクタをロボットアームに取り付けることができます。 ロボットアームへの取り付けは機械式インターロックで固定されます。 すべてのエンドエフェクタは機械内のLIEBエンドエフェクタステーションに保管できます。 Werner Lieb GmbHは従来の受託加工に加え、高い技術要件と清浄要件を持つ顧客向けに、定義された清浄度での部品供給や個別包装を含む特殊サービスを提供します。 社内製造では金属やカーボンなどの材料を加工し、目的に応じた表面処理を施し、複数の包装コンセプトに対応できます。 特殊ソリューションにはISO 7クリーンルーム環境が含まれ、ISO 14644-1に基づく0.5 µm以上の粒子は1 m³当たり最大352,000個とされ、手作業による粒子除去洗浄、任意の超音波槽洗浄、粒子、傷、損傷の目視検査を行えます。 表面清浄度はISO 14644-9に基づくSCP 4まで対応でき、目視確認を行い、低発塵包装材と任意の二重包装も利用できます。 材料選定では耐薬品性、機械的負荷、アウトガス、可燃性を考慮でき、文書にはロット記録、検査報告書、シリアル番号を含めることができ、ESD要件には適切な包装と部品およびコンポーネントのESD測定で対応できます。 特殊サービスには、クリーンルーム組立、フライス加工、旋削、平面研削、溶接技術、板金加工、切断も含まれます。 Werner Lieb GmbHは、半導体用途向けにISO class 6および7環境でクリーンルーム組立を行い、試作から量産まで対応します。 クリーンルームはISO class 7認証を受けており、追加措置によりISO 6へ到達でき、CEN EN 1822に基づき最小捕集効率点で99.995%の分離効率を持つHEPA H14フィルタ、エアロック、材料パススルー、クリーンルーム衣服、訓練済み作業者を備えます。 粒子管理では予備洗浄、精密洗浄、最終検査までの多段階洗浄を行い、材料にはプロセス要件に応じてアルマイト処理アルミニウム、ステンレス鋼、エンジニアリングプラスチックを選択できます。 クリーンルーム組立ではクリーンルーム対応工具と検査機器、段階的な組立手順書、文書化された検査記録を用い、その後に機能試験、リーク試験、光学検査を行います。 サービスには機械アセンブリ、フライス部品、旋削部品、板金部品の統合、フレーム、エンクロージャ、機能ユニットの組立、ねじ締結と接着、精密機械部品、電気機械システム、Laminar Flow条件下での調整と校正が含まれます。 クリーンルーム包装には二重フィルム包装、真空包装、保護ガス充填があり、必要に応じてESD対応包装も利用できます。 品質保証では、材料証明書を含む受入検査、生産中のデジタル組立記録、最終的な光学、機械、電気検査、シリアル番号とロット管理によるトレーサビリティを行います。 クリーンルーム組立は機械加工、ソフトウェア統合、最終試験と一体化されており、例としてエンドエフェクタと交換機、Load PortとPrealigner、基板を自動で搬入出するEFEM、クリーンルーム条件で最終組立を行う基板ハンドリングまたはウェハ処理用の特殊機械があります。 Werner Lieb GmbHは単品と量産の両方に対応し、Co-Engineeringと透明性のあるコミュニケーションをプロジェクト遂行に取り入れています。 電子機器製造では、Werner Lieb GmbHはパワーエレクトロニクスと半導体の経験を基盤に、前処理、組立、試験、包装、IT接続までのカスタム自動化を開発します。 組立と接続には、ねじ、リベット、Press-Fit、ディスペンス、接着、ポッティング、コネクタや部品向け自動フィーダ、Tray、box、workpiece carrierの搬入出が含まれます。 前処理と洗浄には、濡れ性を改善するプラズマ洗浄、粒子を抑えた表面準備のためのレーザ洗浄、組立またはコーティング前のアセンブリ洗浄と乾燥があります。 マーキングとトレーサビリティには、ハウジング、PCB、部品へのレーザマーキング、DMC、Barcode、RFID tagによる自動ラベリング、ハウジング、Tray、電子アセンブリへの印刷、RecipeまたはIDベースのトレーサビリティがあります。 試験と検査には、In-Circuit、機能、高電圧の電気試験、AOIと産業用画像処理、温度、湿度、衝撃、安定性試験、封止または密閉部品のリーク試験を組み込めます。 End-of-Line機能には、Blister、carton、Tray、boxへの自動包装、書類とラベルのハンドリング、パレタイズと再梱包、統合可能なトレーサビリティと出荷ラベルがあります。 システム統合ではMESおよびERPインターフェース、トレーサビリティ、コード認識、シリアル番号管理、生産データベースへのデータ保存と転送を支援します。 代表的な用途には、センサ、制御ユニット、パワーモジュールの自動生産、PCB、ハウジング、敏感な基板、コネクタのハンドリング、EMS事業者とOEM向けの試験と包装、小ロットから大ロットまでのプロセスソリューションがあります。 パワーエレクトロニクス製造では、Werner Lieb GmbHはIGBTやSi、SiCを用いるMOSFETなどのモジュールを対象とし、DBCハンドリングから組立、試験、封止までの自動化を統合します。 ソリューションは単一モジュール、完全統合生産ライン、単一システム、Copy Exactly方式によるシリーズソリューションとして提供できます。 材料ハンドリングには、Tray、box、workpiece carrier、DBC用のモジュール式Loader、各種サイズのDBC Loader、自動Mapping付きTrayおよびワークハンドリング、連続材料フロー、段取り作業の削減が含まれます。 表面処理には、プラズマ洗浄、イオン化空気による粒子洗浄、超純水またはその他の液体によるリンス、乾燥ユニット、窒素パージなどの制御環境があります。 モジュール組立ではPress-Fit、Bonding、Potting向けのPick-and-Place、ディスペンス、接合技術を統合し、リアルタイムプロセス監視、部品バリエーションへの対応、試験および検査モジュールとの組み合わせを行えます。 検査と試験にはX-ray検査、電圧、電流、絶縁の電気試験、温度、湿度、安定性試験、リーク試験があります。 マーキングとトレーサビリティには紙ラベル、レーザマーキング、ロゴ、シリアル番号、QRまたはDMC codeのデジタル印刷を使用でき、MESおよびERPシステムへ統合できます。 最終ハンドリングにはTrayハンドリングと自動再梱包、Blister、cardboard、特殊包装、ラベルと書類の封入、倉庫または出荷物流との統合があります。 Werner Lieb GmbHは、計画からAfter-Salesまでの支援、MES、ERP、Traceability systemへの接続、24/7運転向けに開発された技術、ISO Class 1までのESD保護クリーンルームでの自動化経験も示しています。 Werner Lieb GmbHは、技術パートナーがTurnkey Systemを提供できる完全統合システムソリューションを開発し、シリーズ設備の開発および製造経験を活用します。 システム統合範囲には、機械エンクロージャ、高感度材料のハンドリング、パートナー技術を含むシステム組立と立上げ、PLCプログラミングとインターフェース接続、試作からシリーズ開発までが含まれます。 システムは柔軟性と拡張性を維持しながら、パートナー企業の生産、検査、試験技術を統合できます。 機能には、複数部品ハンドリング、湿潤基板の取扱経験、完全なトレーサビリティ、内部排熱利用によるエネルギー消費低減、既存生産ラインへ組み込みやすいコンパクトな設置面積があります。 プロセス機能には、Trayからの部品供給、ワーク反転とDMCレーザマーキング、multi-vacuum handling、個別ワークのID tracking、Wet Handlingがあります。 Werner Lieb GmbHはこれらのシステムをプロセス時間短縮と生産性向上に向けて構成し、単一ワークステーションから全自動設備、単機からシリーズシステムまで拡張できます。 Werner Lieb GmbHはパワーエレクトロニクスモジュールと電子アセンブリ向けに、材料ハンドリング、組立技術、試験を含む組立自動化を提供します。 モジュール式システムアーキテクチャにより、生産環境や異なる製品ライン、材料に合わせて設備を調整できます。 液体ハンドリングには、異なる粘度の液体ディスペンス、絶縁や衝撃および環境影響からの保護を目的とするポッティング、難接着表面向けの接着プロセスがあります。 表面活性化にはプラズマ、レーザ、熱プロセスを使用でき、敏感な工程前の低粒子環境を作るフラッシングとパージ技術も組み合わせられます。 接合にはPress-Fit、接着、ポッティング、clickおよびsnap connection、標準化溶接、molding、ねじ、リベット、その他の機械式ファスナがあります。 組立プラットフォームは最終検査までのEnd-to-End自動化を想定し、試作から量産まで拡張でき、追跡とログ記録を統合してトレーサビリティを確保します。 Werner Lieb GmbHは電子機器およびパワーエレクトロニクス向け試験を自動生産へ統合し、結果を製品品質、プロセスフィードバック、トレーサビリティに利用します。 光学検査は表面欠陥、位置ずれ、幾何学的偏差を検出し、自動補正動作のためのフィードバックを提供できます。 電気試験では電圧、電流、抵抗を検証し、物理試験では模擬運転条件下で寸法、材料挙動、機械安定性を確認できます。 Force-displacement monitoringはBondingや組立などの工程で加えられる力と動作シーケンスを測定し、リーク試験では敏感な用途における水分、ガス、粒子の漏れを確認します。 自動試験シーケンスをプロセスへ統合でき、試験結果の文書化とトレーサビリティ、部品ファミリと業界標準に合わせたアプリケーション固有のtest profileを設定できます。 試験ソリューションは試作から量産まで拡張でき、部品レベルの透明性と再現可能なプロセス制御を提供します。 Werner Lieb GmbHは、封止チップ、die搭載セラミック板またはセラミック基板、open module、PCB、金属carrier、Tray、workpiece carrier、完成moduleの自動ハンドリングを提供します。 Multi-part handlingでは複数の部品を同時に移動し、throughputを高めてdowntimeを削減できます。 光学位置合わせには高解像度画像処理とadaptive calibrationを使用し、制御された反転と回転により敏感な部品への衝撃と振動を抑えます。 搬入出にはDMCまたはID読み取りを統合でき、ハンドリング対象のトレーサビリティを維持できます。 中央ハンドリングプラットフォームは、Bernoulli end effector付き6-axis robot、Edge Belt Conveyor System、カスタムvacuum chuck、3-axis linear unitを組み合わせられます。 ハンドリングの考え方は、精密な低接触動作、異なる基板フォーマットへの適応、並列ハンドリング、統合ID読み取りとMapping、Wet Handlingプロセスとの統合を重視します。 Werner Lieb GmbHは、敏感なウェハ、ガラス基板、その他の高感度材料を湿式プロセス環境で制御しながら穏やかに移動するWet Handlingシステムを提供します。 湿式プロセスのハンドリングは、精密位置決め、破損と汚染リスクの低減、既存プロセスラインおよび自動化システムへの統合を目的とします。 乾燥機能は省エネルギー方式で高速かつ均一な乾燥と短いcycle timeを実現し、inline processと組み合わせられます。 水分離機能を統合した真空ハンドリングは湿った部品や基板を扱い、システム部品を保護しながら運転を継続します。 DI water機能には超純水の回収と再利用があり、ろ過とリアルタイム導電率測定によりプロセス液の純度と安定したプロセス条件を支えます。 Werner Lieb GmbHは顧客固有の湿式洗浄、コーティング、エッチングプロセスも開発し、試作から量産まで拡張可能で、既存製造環境へ統合できます。 Werner Lieb GmbHはERPおよびMESシステムとShop Floorを接続し、連続したデータフロー、リアルタイム可視性、データに基づく生産判断を可能にするMES統合を提供します。 機械データとプロセスパラメータをリアルタイムで取得して異常を早期検出し、自動フィードバックと分析により計画と生産を結び付けてdowntime削減と材料フロー改善を図ります。 トレーサビリティはbatch、lot、individual partレベルまで維持でき、文書は品質、規制、顧客要件への対応を支援します。 MESインターフェースはモジュール式かつ拡張可能で、SAP、Oracle、Microsoft Dynamics、独自システム、既存の機械環境へ統合できます。 MESコンセプトは、生産全体のデジタル化、全生産プロセスのリアルタイム監視、故障やボトルネックへの迅速な対応、継続的データ分析、新しい要件や拠点への拡張を支援します。 半導体製造向けに、Werner Lieb GmbHは製造装置と上位MES制御システム間の通信を行う標準SECS/GEMインターフェースを提供し、エッチング、コーティング、洗浄などの装置に対応します。 SECS/GEMインターフェースは確立されたSEMI標準に基づき、装置とHost System間でmachine status、process data、control commandを交換し、集中制御と監視を可能にします。 GEM Interface Reference ManualはSECS-II message、state model、status variableを扱い、インターフェースはmachine-to-MESの自動データ転送、remote control、標準準拠文書、メーカーに依存しない通信を支援します。 Werner Lieb GmbHは基板、PCB、部品、モジュール向けの自動搬入出システムを提供し、生産設備へ統合できるTray LoaderとWPC Loaderを含みます。 Tray LoaderはTrayの全自動搬入出、Tray IDとworkpiece DMCの直接読取り、リアルタイム存在確認、搬入および処理済みユニットの可視化、conveyorまたはrobotによる後工程設備への統合、empty tray bufferを支援します。 Tray Loader仕様には、Tray stack高さと位置の自動Mapping、最大±12 mmの位置ずれ自動補正、ISO Class 7クリーンルーム対応設計、最大Trayサイズ600 × 400 mm(L × W)、robot handling用の高精度位置検出があります。 Tray Loaderの性能値はTray交換15秒、workpieceのloadingまたはunloading 5秒です。 WPC Loaderは顧客固有のtransport trolleyからworkpiece carrierを直接全自動で搬入出し、最大2つのloadingまたはunloading station、ID scanning、複数のtrolley configuration、一般的なsystemおよびprocess moduleとの互換性に対応します。 WPC LoaderはDMCによるrecipe selection、compact design、自動幅調整、500 × 120 mmから500 × 180 mm(L × W)のcarrier size、1 carrier当たり15から20秒の性能値を備えます。 搬入出ポートフォリオはモジュール式でIndustry 4.0 readyとされ、data connectivity、full traceability、MESまたはERP interface、ISO class 7までのcleanroom operation、series productionとhigh-mixまたはlow-volume環境に対応します。 Werner Lieb GmbHは顧客の製品と生産プロセスに合わせた特殊機械を開発、製造します。 特殊機械の機能にはtransport、ID recognition、optical alignment、surface conditioning、codingを含めることができます。 同社はプロセス自動化向け特殊機械の開発と製造を中核能力としています。 Werner Lieb GmbHは半導体製造、high-power-electronics production、automotive、life scienceの各分野の運用条件に関する経験を示しています。 明示された市場分野以外のプロセスについても、Werner Lieb GmbHは顧客と協力して自動化対象プロセスのソリューションを開発します。 Werner Lieb GmbHは機械設置後も顧客支援を継続し、システム操作のトレーニング、保守、トラブルシューティングを支援します。 定期サービスは顧客と計画し、現地でのサービスまたはメンテナンス訪問として実施できます。 Werner Lieb GmbHは設置設備向けに個別のメンテナンス契約を作成できます。 定期サービスにはDIN EN 13855に基づくtrailing measurement、保守、spare partおよびwear partの交換を含めることができます。 予定外の故障時には、継続生産の回復を目的としてtelephone support、remote support、on-site supportを提供できます。 LIEB製品にはwear part(V)とspare part(E)を識別した詳細な部品表が付属します。
対応領域・製品
- ウェーハ搬送とプロセスモジュールの自動化統合
- カスタムウェーハ装置フロントエンドモジュール(EFEM)
- RSP200インターフェースと100 µmウェーハマッピングに対応するウェーハSMIFロードポート
- RSP200およびEUVマスクポッド対応のレチクルSMIFロードポート
- パネルロードポート
- 真空・クランプ・重力式のカスタムウェーハエンドエフェクタ
- ウェーハエンドエフェクタ交換装置
- 装置内エンドエフェクタ待機ステーション
- ウェーハ・基板プリアライナ
- EFEMスピンドライヤーモジュールの統合
- 電子アセンブリ向け自動組立システム
- パワーエレクトロニクスモジュール向け自動生産ラインの統合
- コネクタ・電子部品向け自動供給装置
- 電子アセンブリ向け自動ねじ締め装置
- 電子アセンブリ向け自動リベット接合装置
- 電子アセンブリ向け圧入組立装置
- 異なる粘度の液体に対応する精密定量ディスペンス装置
- 電子アセンブリ向け接着組立技術の統合
- 電子アセンブリ向けポッティング技術の統合
- スナップフィット自動組立技術の統合
- 電子アセンブリ向け溶接プロセスの統合
- 電子アセンブリ保護用モールディングプロセスの統合
- パワーモジュール向けピックアンドプレース組立技術の統合
- 各種サイズのDBC基板向け自動ローダー
- プラズマ洗浄・表面活性化装置
- レーザー表面洗浄装置
- 基板の熱的表面改質プロセスの統合
- イオン化エアによる粒子除去装置
- 超純水・液体リンスプロセスの統合
- 窒素置換プロセス環境の統合
- 電子アセンブリ用乾燥装置
- 筐体・PCB・電子部品用レーザーマーキング装置
- DMC・バーコード・RFID対応自動ラベリング装置
- 筐体・トレイ・電子アセンブリ用印刷装置
- 電子アセンブリ向けインサーキットテストシステムの統合
- 電子アセンブリ向け機能試験システムの統合
- 電子アセンブリ向け高電圧試験システムの統合
- AOI自動光学検査・産業用画像処理システム
- 電子アセンブリ向け温湿度・衝撃試験システムの統合
- 生産ラインの書類・ラベル搬送統合
- 電子製品向け自動パレタイジング装置
- 電子製品向け自動再包装装置
- 生産データベースへの保存・データ転送統合
- センサー自動生産装置
- 制御ユニット自動生産装置
- パワーモジュールのX線内部構造検査統合
- パワーモジュール向け絶縁試験システムの統合
- パワーモジュール組立のリアルタイム工程監視
- 包装ラインと倉庫・出荷物流の統合
- 電子アセンブリの寸法・材料機械的安定性試験システム
- 接合・組立向け荷重-変位監視システム
- 電子アセンブリ向け気密・漏れ試験システム
- 機械筐体の設計・製造
- 自動化システムの組立・試運転
- PLCプログラミングと装置インターフェースの統合
- 装置内部の排熱回収・再利用
- 封止チップ・電子モジュール向け自動搬送システム
- ダイ搭載セラミック基板の自動搬送
- PCB自動搬送システム
- 複数部品の同時搬送システム
- 基板・部品向け光学アライメント・位置決めシステム
- 衝撃保護機能付き基板反転システム
- 6軸Bernoulli非接触基板搬送ロボットの統合
- エッジベルトコンベアシステム
- カスタム真空チャック
- 3軸リニア搬送ユニット
- ウェーハ・ガラス基板向けウェット搬送システム
- 水分離機能付きウェット真空搬送
- DI水回収・処理システム
- プロセス液精密ろ過システム
- プロセス液のリアルタイム導電率監視
- カスタムウェット洗浄プロセス開発
- カスタムウェットコーティングプロセス開発
- カスタムウェットエッチングプロセス開発
- 電子アセンブリ向け自動包装装置(ブリスター・段ボール箱・トレイ・箱)
- MES/ERPと生産設備の統合
- バッチ・ロット・個品のトレーサビリティシステム
- 生産設備・プロセスパラメータのリアルタイムデータ収集
- 半導体装置のSECS/GEM通信インターフェース統合
- 最大600 × 400 mmトレイ対応の自動ロード・アンロード装置
- 運搬台車からのワークキャリア自動ロード・アンロード装置
- ワークキャリア運搬台車
- ISO 6/7クリーンルームでの半導体機械アセンブリ組立
- クリーンルームでの電気機械システム組立
- 層流環境での精密部品調整・校正
- 部品の二重クリーンルーム包装
- 部品の真空包装
- 部品の保護ガス包装
- 部品の手作業による粒子洗浄
- 部品の超音波洗浄
- 部品のESD静電気測定
- 部品の静電気対策包装
- 金属部品加工
- カーボン材料部品加工
- 自動化装置の現地保守と交換・消耗部品の交換
- 自動化装置の遠隔トラブル対応
- 自動化装置の操作トレーニング
- DIN EN 13855に基づく装置停止時間測定