기본 정보
| 부스 | R7112 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | vxinstruments.com/vx-instruments-at-semicon-taiwan |
회사 소개
VX Instruments GmbH는 까다로운 생산 및 실험실 환경을 위한 고성능 계측기와 반도체 테스트 시스템을 개발·공급한다. 반도체 제조, 전력전자, 자동차 엔지니어링, 산업용 전자기기 분야에서 사용되며 24/7 연속 운전 환경도 대상으로 한다. 모듈형 시스템은 모두 독일에서 개발되며 유연성, 신뢰성, 정밀도, 장기 안정성을 중점으로 설계된다. 30개국 이상에 500대가 넘는 시스템이 설치되어 있다. 30년 이상 측정 노하우, 응용 전문성, 고객 협업을 결합해 실제 생산 요구를 계측 및 테스트 솔루션으로 구현해 왔다. 설계는 모듈형 하드웨어, 개방형 인터페이스, 변화하는 반도체 및 전력전자 테스트 요구에 대한 확장성을 강조한다. 제품군은 절연형 PXI 계측기, Source Measure Unit, 전원공급기, 신호발생기, digitizer, 정적·동적 반도체 테스트 시스템까지 포함하며 국제 시장은 판매 및 서비스 파트너 네트워크가 지원한다.
전시 제품
반도체 테스트 제품군은 웨이퍼 레벨 특성평가에서 최종 모듈 검증까지 정적 및 동적 전력소자 시험을 지원한다. STS8760neo Static Semiconductor Test System은 최대 10,000 V와 2,400 A, 100 microseconds까지의 펄스 길이, pA 해상도 수준의 정확도를 지원하며 절연 측정 기술과 high-side measurement로 저잡음 특성을 구현한다. STS8760neo는 다이오드, MOSFET, IGBT 등 중·고전력 소자의 고속 정적 파라미터 테스트용이며 모듈형 PXI 플랫폼과 개방 인터페이스를 통해 DUT 전용 저항 네트워크나 온도 센서를 추가할 수 있고 다중 스테이션과 시퀀싱 소프트웨어를 지원한다. DTS8765neo Dynamic Semiconductor Test System은 고속·고정밀 동적 파라미터 시험용으로 2,000 V / 10,000 A 또는 1,500 V / 20,000 A 구성 예를 제공하며 전체 사양에는 최대 3,000 V / 20,000 A가 제시된다. 낮은 DC link inductance를 갖고 한 테스트 스테이션에서 정적 및 동적 시험을 모두 수행하도록 확장할 수 있으며 다이오드, MOSFET, IGBT의 dynamic parameter와 safe operating area 테스트를 지원한다. STS8760neo와 DTS8765neo는 Si, SiC, GaN 전력반도체를 웨이퍼, 개별 소자, 모듈 단계까지 시험한다. LTS8620 Modular Laser Diode Test System은 PXI/PXIe 기반으로 완전자동 in-line, 반자동, 수동 Functional, Parameter, In-Circuit 테스트를 수행한다. 2 µs보다 긴 자유 프로그래밍 전류 펄스로 열 영향을 줄이고 bare die 및 독립 photocurrent 측정이 가능하며 NI LabVIEW 기반 소프트웨어를 사용한다. GT4210 Modular Functional and In-Circuit Test System은 Boundary scan, Multi-station, In-Circuit, Functional, Parameter, Flashing, Parallel 테스트를 완전자동 in-line, 반자동, 로봇 핸들링, 수동 방식으로 지원한다. 최대 4,640 test points와 20 PCI/PXI/PXIe slots를 제공하며 병렬 및 결합 테스트로 치구 수, 생산 바닥 면적, 보관 공간, 핸들링 시간, 테스트 시간을 줄이는 구성을 제공한다. Generic Test Studio는 기능 및 ICT 테스트 소프트웨어 환경으로 병렬 실행, plug-in 방식의 생산환경 적응, 표준 시험법 기반 프로그램 생성을 지원한다. GTbuilder는 GTML과 drag-and-drop 구성요소로 테스트 시퀀스를 만들 수 있게 하며 특정 프로그래밍 언어나 측정 하드웨어 지식이 없어도 구성할 수 있고 내장 compiler가 결과를 DLL로 변환한다. GTengine은 수동, 반자동, 완전자동 스테이션에서 프로그램을 실행하고 생산 오더, 설정 데이터, 스테이션 제어, 측정값 평가, 데이터베이스 및 테스트 리포트 저장을 관리한다. 상위 MES와 실행 명령, 테스트 오더, 프로그램, 결과, 상태 메시지를 교환할 수 있으며 workspace, 시편 유형 데이터 관리, debug, 표·그래프·histogram 실시간 표시, mean·sigma·CPK 통계, MFU 분석을 제공한다. GTanalyzer는 수리 또는 일정 기간의 생산 안정성 평가를 위해 테스트 리포트를 불러와 표시한다. PXI 계측기에는 PXM(e)7810, PXM(e)7820, PXD7113, PXD(e)721x, PXD730x, PXD732x, PXD731x/70xx, PXA(e)73xx, PXA(e)72xx, PXTe5401, PXT(e)1741, PXI(e)520x, PXI(e)530x, PXIe3110이 있다. 고전류 SMU는 AXC85xx 600/1200/2400 A와 AXC76xx 2000 A, 고전압 SMU는 AXV7680 10,000 V와 AXV7607 2500 V를 포함한다. 추가로 AXS7720, AXS844x 다채널 SMU, PX773x 및 PXS(e)840x PXI/PXIe SMU, VX6626과 VX6620 시스템 전원공급기를 제공하며 개발, 생산, 실험실에서의 고속 데이터 수집, 신호 처리, 전력반도체 정적·동적 특성평가를 지원한다. 전체 시스템 제품군은 절연형 PXI 계측기와 완성형 테스트 시스템을 결합해 반도체, 기능 및 In-Circuit 생산 테스트 구성에 정밀 측정 하드웨어를 통합할 수 있다. STS8760neo는 빠른 시험 속도와 다중 스테이션 운용을 지원해 높은 throughput을 확보하면서 전력반도체 생산에 필요한 고정밀 정적 측정을 수행한다. LTS8620의 NI LabVIEW 기반 소프트웨어에는 사용자가 조정하거나 확장할 수 있는 기본 측정 기능이 포함되어 동일한 PXI 플랫폼을 서로 다른 레이저 다이오드 검증 작업에 맞출 수 있다. 또한 완전자동 in-line, 반자동, 수동 스테이션으로 배치할 수 있어 짧은 펄스 측정을 생산 자동화와 엔지니어링 및 실험실 업무 모두에 적용한다. GT4210은 확립된 산업 표준을 기반으로 요구되는 시험 작업에 맞게 개별 구성할 수 있고 생산 과제나 시험 요구가 바뀌면 효율적으로 재구성할 수 있다. 결합 테스트와 병렬 실행 기능을 통해 별도의 치구, 핸들링 단계, 독립 시험 자원이 필요하던 기능을 하나의 생산 테스트 구성으로 통합할 수 있다. 이러한 계측기와 테스트 시스템은 개발 단계의 데이터 수집과 신호 처리부터 양산 단계의 정적·동적 파라미터 시험까지 동일한 모듈형 구조로 구성된다.
역량 및 제품
- 전력 반도체 정적 파라미터 테스트 시스템
- 전력 반도체 동적 파라미터 테스트 시스템
- PXI/PXIe 레이저 다이오드 테스트 시스템
- 모듈형 In-Circuit 및 기능 테스트 시스템
- 기능 및 ICT 테스트 프로그램 소프트웨어
- 드래그 앤 드롭 테스트 시퀀스 생성
- 생산 테스트 실행 및 MES 연동
- 테스트 리포트 분석
- PXI/PXIe 다기능 측정 장치
- PXI/PXIe 파형 디지타이저
- PXI/PXIe 임의 전류 발생기
- PXI/PXIe 임의 파형 발생기
- PXI/PXIe 트리거 모듈
- PXI/PXIe 비트 패턴 발생기
- PXI 비트 패턴 수신기
- 고전류 SMU(600/1200/2400 A, 2000 A)
- 고전압 SMU(10,000 V, 2500 V)
- 다채널 SMU
- PXI/PXIe SMU
- PXI 시스템 전원공급기
- PXIe 임베디드 컨트롤러