基本情報
| ブース | R7112 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | vxinstruments.com/vx-instruments-at-semicon-taiwan |
会社概要
VX Instruments GmbH は、高い要求を持つ生産・研究環境向けに高性能計測器と半導体テストシステムを開発・供給している。半導体製造、パワーエレクトロニクス、自動車工学、産業電子機器で使用され、24/7の連続運転にも対応する。モジュール式システムはすべてドイツで開発され、柔軟性、信頼性、精度、長期安定性を重視する。30か国以上に500台を超えるシステムが導入されている。30年以上にわたり、計測ノウハウ、アプリケーション知識、顧客との協働を組み合わせ、実際の生産要求を計測・試験システムへ反映してきた。設計はモジュール化、オープンインターフェース、半導体およびパワーエレクトロニクス試験要件の変化への拡張性を重視する。製品範囲は絶縁PXI計測器、Source Measure Unit、電源、信号発生器、デジタイザ、静的・動的半導体テストシステムまで広がり、国際市場では販売・サービスパートナーネットワークが支援する。
展示製品
半導体テスト製品は、ウェハレベルの特性評価から最終モジュール検証まで、静的・動的パワーデバイス試験をカバーする。STS8760neo Static Semiconductor Test Systemは最大10,000 V、2,400 A、100 microsecondsまでのパルス長、pA分解能までの精度に対応し、絶縁測定技術とhigh-side measurementで低ノイズ化する。STS8760neoはダイオード、MOSFET、IGBTなど中・高出力半導体の高速静的パラメータ試験向けで、モジュール式PXIプラットフォームとオープンインターフェースによりDUT専用抵抗ネットワークや温度センサを追加でき、マルチステーション運用とシーケンスソフトウェアも利用できる。DTS8765neo Dynamic Semiconductor Test Systemは高速かつ高精度な動的パラメータ試験用で、2,000 V / 10,000 Aまたは1,500 V / 20,000 Aなどに構成でき、製品群の仕様では最大3,000 V / 20,000 Aを掲げる。低DCリンクインダクタンスを備え、一つのテストステーションで動的・静的試験を行えるよう拡張可能で、ダイオード、MOSFET、IGBTのdynamic parameterおよびsafe operating area試験に対応する。STS8760neoとDTS8765neoにより、Si、SiC、GaNパワー半導体をウェハ、ディスクリート、モジュール段階まで評価できる。LTS8620 Modular Laser Diode Test SystemはPXI/PXIeベースで、全自動in-line、半自動、手動のFunctional、Parameter、In-Circuit試験に対応する。2 µsを超える自由設定可能な短電流パルスでレーザダイオードへの熱影響を抑え、bare dieとphotocurrentの独立測定も行え、ソフトウェアはNI LabVIEWを基盤とする。GT4210 Modular Functional and In-Circuit Test SystemはBoundary scan、Multi-station、In-Circuit、Functional、Parameter、Flashing、Parallel試験を、全自動in-line、半自動、ロボットハンドリング、手動で実行できる。最大4,640 test pointsと20 PCI/PXI/PXIe slotsを備え、並列・複合試験により治具数、生産床面積、保管スペース、ハンドリング時間、試験時間の削減を狙う。Generic Test Studioは機能試験とICTのソフトウェア環境で、並列実行による高速化、plug-inによる生産環境適応、標準試験方法によるプログラム作成を提供する。GTbuilderはGTMLとdrag-and-drop部品で試験シーケンスを作り、特定言語を知らなくても構成でき、統合compilerでDLL化する。GTengineは手動、半自動、全自動ステーションでプログラムを実行し、生産オーダー、設定データ、ステーション制御、測定値評価、データベースとレポート保存を管理する。MESとの間で実行指示、テストオーダー、プログラム、結果、ステータスを交換でき、workspace、試料タイプデータ、debug、表・グラフ・histogram表示、mean、sigma、CPKの統計、MFU分析を備える。GTanalyzerは修理や一定期間の生産安定性評価のためにテストレポートを読み込む。PXI計測器にはPXM(e)7810、PXM(e)7820、PXD7113、PXD(e)721x、PXD730x、PXD732x、PXD731x/70xx、PXA(e)73xx、PXA(e)72xx、PXTe5401、PXT(e)1741、PXI(e)520x、PXI(e)530x、PXIe3110がある。高電流SMUはAXC85xx 600/1200/2400 AとAXC76xx 2000 A、高電圧SMUはAXV7680 10,000 VとAXV7607 2500 Vを含む。さらにAXS7720、AXS844x、PX773x、PXS(e)840x SMU、VX6626、VX6620システム電源を揃え、開発、生産、研究室での高速データ取得、信号処理、パワー半導体の静的・動的評価を支援する。システム群は絶縁PXI計測器と完成したテストシステムを組み合わせ、半導体試験、機能試験、In-Circuit試験の生産構成へ測定ハードウェアを統合できる。STS8760neoは高速かつマルチステーション対応でもあり、高いthroughputと高精度静的測定を両立させる。LTS8620のNI LabVIEWベースソフトウェアにはユーザーが変更・拡張できる基本測定が含まれ、同じPXIプラットフォームを異なるレーザダイオード認定作業へ調整できる。LTS8620は全自動in-line、半自動、手動の各運用形態に対応し、短パルス測定を量産自動化だけでなく技術評価や研究室作業にも適用できる。GT4210は確立された業界標準を基盤とし、必要な試験タスクに合わせて個別構成でき、新しい生産課題や試験要求にも効率よく再構成できる。さらに複合試験と並列実行によって、別々の治具やハンドリング工程、個別試験資源が必要だった機能を一つの生産テスト構成へまとめられる。これらの測定器とテストシステムは、開発段階のデータ取得や信号処理から量産工程の静的・動的パラメータ試験まで同じモジュール思想で構成され、必要に応じて測定カード、SMU、電源、制御モジュールを組み合わせられる。製品群全体として、精度、速度、柔軟性を生産試験と研究開発の双方に展開する構成であり、用途に応じて柔軟に組み合わせられる。
対応領域・製品
- パワー半導体静的パラメータ試験システム
- パワー半導体動的パラメータ試験システム
- PXI/PXIeレーザーダイオード試験システム
- モジュール式In-Circuit・機能試験システム
- 機能・ICTテストプログラムソフトウェア
- ドラッグ＆ドロップ式テストシーケンス作成
- 生産テスト実行・MES連携
- テストレポート分析
- PXI/PXIeマルチ測定装置
- PXI/PXIe波形デジタイザ
- PXI/PXIe任意電流ジェネレーター
- PXI/PXIe任意波形ジェネレーター
- PXI/PXIeトリガーモジュール
- PXI/PXIeビットパターンジェネレーター
- PXIビットパターンレシーバー
- 高電流SMU（600/1200/2400 A、2000 A）
- 高電圧SMU（10,000 V、2500 V）
- マルチチャンネルSMU
- PXI/PXIe SMU
- PXIシステム電源
- PXIe組み込みコントローラー