基本資料
| 攤位 | R7112 |
| 國別 | DE |
| 網站 | vxinstruments.com/vx-instruments-at-semicon-taiwan |
公司簡介
VX Instruments GmbH開發高效能量測儀器與半導體測試系統，面向要求嚴格的生產與實驗室環境。其系統應用於半導體製造、功率電子、汽車工程與工業電子，也涵蓋24/7連續運轉場景。公司表示模組化系統全部在德國開發，設計重點包括彈性、可靠度、精度與長期穩定性。全球30多個國家已部署500套以上系統。30多年來，公司把量測技術、應用經驗與客戶合作結合，用以把實際生產需求轉化為量測與測試方案。產品設計強調模組化硬體、開放介面與因應半導體及功率電子測試需求變化的擴充能力。產品組合涵蓋隔離式PXI量測儀器、Source Measure Unit、電源、訊號產生器、digitizer，以及完整的靜態與動態半導體測試系統，並由全球銷售與服務夥伴網路支援國際市場。
展出產品
半導體測試產品可從晶圓層級特性量測一路覆蓋至最終模組驗證，包含靜態與動態功率元件測試。STS8760neo Static Semiconductor Test System最高支援10,000 V與2,400 A，脈衝長度可低至100 microseconds，量測精度可到pA解析度，並以隔離式量測技術與high-side measurement降低雜訊。STS8760neo用於二極體、MOSFET與IGBT等中高功率元件的高速靜態參數測試，採模組化PXI平台與開放介面，可加入DUT專用電阻網路、溫度感測器等功能，也支援多站與生產排序軟體。DTS8765neo Dynamic Semiconductor Test System則用於高速、高精度動態參數測試，可配置為2,000 V / 10,000 A或1,500 V / 20,000 A，整體規格並列出最高3,000 V / 20,000 A。系統具低DC link inductance，可擴充到同一測試站執行靜態與動態測試，支援二極體、MOSFET與IGBT的dynamic parameter及safe operating area測試。STS8760neo與DTS8765neo共同涵蓋Si、SiC與GaN功率半導體從晶圓、離散元件到模組的測試需求。LTS8620 Modular Laser Diode Test System採PXI/PXIe架構，可用全自動in-line、半自動或手動方式執行Functional、Parameter與In-Circuit測試，能產生大於2 µs的可程式化短電流脈衝以降低熱效應，也可量測bare die並獨立量測photocurrent，軟體以NI LabVIEW為基礎。GT4210 Modular Functional and In-Circuit Test System支援Boundary scan、Multi-station、In-Circuit、Functional、Parameter、Flashing及Parallel測試，可搭配全自動in-line、半自動、機器人搬運或手動操作，提供最多4,640個test points與20個PCI/PXI/PXIe slots。GT4210可進行平行與組合測試，以降低治具數量、生產與儲存空間、搬運及測試時間。Generic Test Studio提供功能與ICT測試軟體，透過平行執行提高測試速度，並以plug-in方式調整生產環境。GTbuilder讓使用者利用GTML標準測試方法與drag-and-drop元件建立測試序列，不必掌握特定程式語言，最後由內建compiler轉為DLL。GTengine在手動、半自動或全自動站點執行測試程式，可管理生產工單、載入組態、控制站點、分析量測值並寫入資料庫或報告，也能與MES交換執行指令、工單、程式、結果及狀態。功能另包括workspace、樣品型別資料、debug、即時表格/圖形/直方圖、mean、sigma、CPK統計與MFU分析。GTanalyzer可載入測試報告，用於維修或評估一段時間的生產穩定性。PXI儀器包括PXM(e)7810、PXM(e)7820量測裝置；PXD7113、PXD(e)721x、PXD730x、PXD732x、PXD731x/70xx digitizer；PXA(e)73xx與PXA(e)72xx訊號產生器；PXTe5401、PXT(e)1741 trigger module、PXI(e)520x bit-pattern generator、PXI(e)530x receiver及PXIe3110 controller。高電流SMU包含AXC85xx 600/1200/2400 A與AXC76xx 2000 A，高電壓SMU包含AXV7680 10,000 V與AXV7607 2500 V；另有AXS7720、AXS844x多通道SMU、PX773x與PXS(e)840x PXI/PXIe SMU，以及VX6626、VX6620系統電源。這些模組化PXI儀器與測試系統可支援開發、生產、實驗室量測、快速資料擷取、訊號處理及功率半導體靜態與動態特性量測。整體系統家族把隔離式PXI量測儀器與完整測試系統結合，可整合成半導體、功能及In-Circuit生產測試配置。STS8760neo亦強調高速與多站能力，用較高throughput支援功率半導體量產的高精度靜態量測。LTS8620的NI LabVIEW軟體內含可由使用者調整或擴充的基本量測，並可用全自動in-line、半自動或手動站點部署。GT4210採既有產業標準，可依測試任務個別配置並因應新的生產挑戰調整；其組合測試與平行執行能力可把原本需要更多治具、搬運與分離測試資源的功能整合在同一架構中。
能力與產品項目
- 功率半導體靜態參數測試系統
- 功率半導體動態參數測試系統
- PXI/PXIe雷射二極體測試系統
- 模組化In-Circuit與功能測試系統
- 功能與ICT測試程式軟體
- 拖放式測試序列建立
- 生產測試執行與MES整合
- 測試報告分析
- PXI/PXIe多功能量測裝置
- PXI/PXIe波形Digitizer
- PXI/PXIe任意電流產生器
- PXI/PXIe任意波形產生器
- PXI/PXIe觸發模組
- PXI/PXIe位元圖樣產生器
- PXI位元圖樣接收器
- 高電流SMU（600/1200/2400 A、2000 A）
- 高電壓SMU（10,000 V、2500 V）
- 多通道SMU
- PXI/PXIe SMU
- PXI系統電源
- PXIe嵌入式控制器