기본 정보
| 부스 | M0942 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.vatvalve.com |
회사 소개
VAT Taiwan Co, Ltd.는 VAT를 진공 밸브 기술의 세계적 리더로 제시하며 개발, 연구실, 조립 활동을 스위스 본사에서 수행합니다. VAT는 전문 제품군을 운영하고 ISO9001에 따라 산업 제조를 수행하며, 고객용 진공 분야 솔루션과 반도체, 디스플레이, 디지털 기술 생산에 사용되는 고진공 기술에 집중합니다.
전시 제품
반도체 제조에서 VAT는 진공과 가스 흐름의 고정밀 제어 및 차단에 집중하며, 밸브 기능은 많은 사이클에서 정밀한 반복성을 유지하고 정해진 시간 간격에 정확한 체적 유량과 일관되고 신뢰성 있는 밀봉을 제공하도록 설계되며, VAT는 제어·차단 밸브가 이러한 성능의 기준을 설정한다고 밝힙니다. 제어·차단 포트폴리오는 응용 요구와 개별 고객 요구에 맞춰 조정되며 조절 가능한 개폐 사이클, 안정적 적응형 밀봉, 고정밀 제어용 첨단 컨트롤러 기술, 입자 활성화 및 방출 방지, 각 밸브의 규정 성능 파라미터를 안정적으로 유지하는 제조 품질을 특징으로 합니다. 관련 제품에는 UHV Gate Valve「10.8 1 × 10^-10 mbar to 1.2 bar (abs)」, Gate Valve「12.1 1 × 10^-7 mbar to 1.6 bar (abs)」, HV Angle Valve「26.4 1 × 10^-8 mbar to 5 bar (abs)」, HV Butterfly Control Valve「61.3 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」, HV Butterfly Control and Isolation Valve「61.6 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」, HV Butterfly Control Valve「61.7 1 × 10^-6 mbar to 1.2 bar (abs)」, HV Angle Control Valve「62.0 1 × 10^-8 mbar to 1.4 bar (abs)」, HV Control Gate Valve「64.2 1 × 10^-8 mbar to 2 bar (abs)」, UHV Control Gate Valve「64.8 1 × 10^-10 mbar to 1.6 bar (abs)」, HV Pendulum Control Valve「65.3 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」, HV Pendulum Control Valve「65.5 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」, Symmetrical Control Valve「67.0 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」, HV Control and Isolation Valve Combo Unit「95.3 1 × 10^-8 mbar to 1.2 bar (abs)」이 포함됩니다. 이들 시리즈는 표준 UHV 및 진공 차단, 유연하고 신뢰성 있는 HV 앵글 차단, 빠르고 정밀한 다운스트림 압력 제어, 제어·차단 통합, 매우 낮은 컨덕턴스에서의 제어성, 고압·고온 서비스, 고사이클 진공 제어와 차단, SEMI 및 디스플레이 시스템의 다운스트림 압력 제어와 진공 차단, 높은 공정 압력과 낮은 체적 유량의 부식성 식각, 유량 최적화 압력 제어, 소형 고성능 제어·차단 기능을 포함하며 관련 제품으로 Customized High Performance Motion Components, Integrated High Performance Vacuum Modules, Edge Welded Metal Bellows가 있습니다. 반도체 생산에서 VAT는 매우 작은 입자가 웨이퍼를 손상시키고 수율을 낮출 수 있기 때문에 입자 방지와 신뢰성을 강조하며, 진공 밸브 솔루션이 더 빠른 밸브 성능, 장비 가동시간 연장, 운영비용 절감을 통해 더 빠른 투자 회수를 지원한다고 설명합니다. 명시된 반도체 응용 분야는 Process Control & Isolation, Substrate Transfer, Sub-Fab Systems이며, 높은 공정 압력과 낮은 체적 유량의 부식성 식각용 고압·고온 솔루션도 포함됩니다.
역량 및 제품
- UHV/HV 게이트 밸브
- HV 앵글 밸브
- HV 버터플라이 제어·차단 밸브
- HV/UHV 제어 게이트 밸브
- HV 펜듈럼 제어 밸브
- 대칭형 진공 제어 밸브
- 진공 제어·차단 콤보 밸브
- 맞춤형 고성능 모션 부품
- 통합형 고성능 진공 모듈
- 엣지 용접 금속 벨로즈