基本資料
| 攤位 | M0942 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Other |
| 網站 | www.vatvalve.com |
公司簡介
VAT「innoVATion」，真空閥技術的全球領導者。研發、實驗室與組裝皆位於瑞士總部。依 ISO9001 進行專業化產品群與工業化製造，永遠以最佳產品服務真空領域的客戶。
展出產品
首次參加 Silicon Saxony Days 2026，將 VAT 真空閥門專業技術帶入歐洲領先的半導體中心之一。 親身體驗 VAT 真空解決方案如何為精確、可靠且高效的半導體製造提供動力。 與 VAT 技術一同邁向半導體製造的未來。 在半導體製造中，真空和氣流的精密控制與隔離至關重要。無論是在上游還是下游製程中，所有閥門功能都必須確保在大量循環中具備精確的可重複性。其結果是：在規定的時間間隔內實現精確的體積流量，以及一致、可靠的密封。VAT 控制閥和隔離閥在此領域樹立了標準。 用於半導體製造的 VAT 真空閥門控制與隔離產品組合，始終針對特殊要求進行量身定制。根據要求和應用領域，各個系列和所用閥門技術的性能參數始終針對每個案例的特定客戶需求進行調整。主要特點包括：可適應的開關循環、穩定的自適應密封、允許高精度控制的先進控制器技術、顆粒活化與釋放預防，以及確保每個製造出的閥門皆具備定義且穩定性能參數的高製造品質。 若要進一步了解 VAT 真空閥門解決方案如何解決控制與隔離挑戰，請從下方列出的系列中進行選擇。 高壓與高溫解決方案 適用於具有高製程壓力和低體積流量的腐蝕性蝕刻應用 VAT 是開發高真空解決方案的全球領導者，這些解決方案對於半導體、顯示器和數位技術的生產至關重要。
能力與產品項目
- 一致且可靠的密封
- 半導體製造用 VAT 控制與隔離閥
- 可調適開閉循環
- 指定時間區間內的精準體積流量
- 用於高精度控制的先進控制器技術
- 真空與氣體流量隔離
- 真空與氣體流量高精度控制
- 真空閥技術
- 穩定自適應密封
- 粒子活化與釋放防止