基本資料
| 攤位 | M0942 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.vatvalve.com |
公司簡介
VAT Taiwan Co, Ltd. 將 VAT 定位為真空閥技術的全球領導者，研發、實驗室與組裝活動位於瑞士總部。VAT 設有專業化產品群並依 ISO9001 進行工業化製造，聚焦為客戶提供真空領域解決方案，以及用於半導體、顯示器與數位技術生產的高真空技術。
展出產品
在半導體製造中，VAT 聚焦真空與氣流的高精度控制和隔離，閥門功能需在大量循環中維持精確可重複性，在規定時間間隔內提供精確體積流量並維持一致、可靠的密封；VAT 表示其控制與隔離閥為這類性能建立標準。控制與隔離產品組合會依應用要求與個別客戶需求調整，特點包括可調整開關循環、穩定的自適應密封、用於高精度控制的先進控制器技術、粒子活化與釋放抑制，以及使每個閥門維持明確且穩定性能參數的製造品質。相關產品包括 UHV Gate Valve「10.81 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)」、Gate Valve「12.11 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)」、HV Angle Valve「26.41 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)」、HV Butterfly Control Valve「61.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Butterfly Control and Isolation Valve「61.61 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Butterfly Control Valve「61.71 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Angle Control Valve「62.01 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs)」、HV Control Gate Valve「64.21 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)」、UHV Control Gate Valve「64.81 × 10-10 mbar to 1.6 bar (abs)」、HV Pendulum Control Valve「65.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Pendulum Control Valve「65.51 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、Symmetrical Control Valve「67.01 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」與 HV Control and Isolation Valve Combo Unit「95.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」。這些系列涵蓋標準 UHV 與真空隔離、具彈性與可靠性的 HV angle 隔離、快速精準下游壓力控制、控制與隔離一體、極低導通量的可控性、高壓與高溫服務、高循環真空控制與隔離、SEMI 與顯示系統的下游壓力控制與真空隔離、高製程壓力與低體積流量的腐蝕性蝕刻、流量最佳化壓力控制，以及精巧高性能控制與隔離功能；相關產品還包括 Customized High Performance Motion Components、Integrated High Performance Vacuum Modules 與 Edge Welded Metal Bellows。針對半導體生產，VAT 強調粒子避免與可靠性，因為極小粒子可能損傷晶圓並降低良率，並表示其真空閥解決方案有助於加快閥門性能、延長設備運行時間並降低營運成本，以加快投資回報。列出的半導體應用領域為 Process Control & Isolation、Substrate Transfer 與 Sub-Fab Systems，產品組合並包含適用於高製程壓力與低體積流量腐蝕性蝕刻的高壓與高溫解決方案。
能力與產品項目
- UHV/HV閘閥
- HV角閥
- HV蝶閥控制與隔離閥
- HV/UHV控制閘閥
- HV擺動式控制閥
- 對稱式真空控制閥
- 真空控制與隔離組合閥
- 客製高性能運動元件
- 整合式高性能真空模組
- 邊緣焊接金屬波紋管