基本情報
| ブース | M0942 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Other |
| ウェブサイト | www.vatvalve.com |
会社概要
VAT「innoVATion」、真空バルブ技術の世界的リーダー。研究開発・ラボ・組立はスイスの本社にあります。ISO9001 に準拠した専門的な製品群と工業化された製造により、真空分野のお客様に常に最良の製品を提供します。
展示製品
Silicon Saxony Days 2026への初出展により、VATの真空バルブに関する専門知識をヨーロッパ有数の半導体ハブの一つへお届けします。 VATの真空ソリューションが、いかに正確で信頼性が高く、効率的な半導体製造を支えているかを直接ご体験ください。 VATのテクノロジーで、半導体製造の未来へ。 半導体製造において、真空およびガスフローの高精度な制御と遮断は不可欠です。アップストリームおよびダウンストリームのあらゆるプロセスにおいて、すべてのバルブ機能は、膨大なサイクル数にわたって正確な再現性を保証しなければなりません。その結果、定義された時間間隔での正確な体積流量と、一貫した信頼性の高いシール性能が実現されます。VATの制御バルブおよび遮断バルブは、この分野のスタンダードを確立しています。 半導体製造における制御および遮断のためのVAT真空バルブポートフォリオは、常に特別な要件に合わせて調整されています。要件や適用分野に応じて、各シリーズの性能パラメータや使用されるバルブ技術は、常に各ケースの特定の顧客ニーズに合わせて適応されます。主な特徴として、適応可能な開閉サイクル、安定した適応型シール、高精度な制御を可能にする高度なコントローラー技術、パーティクルの発生および放出の防止、そして製造されるすべてのバルブに対して定義された安定した性能パラメータを保証する高い製造品質が挙げられます。 VATの真空バルブソリューションが、いかに制御および遮断の課題を解決できるかについての詳細は、以下に記載されているシリーズから選択してご確認ください。 高圧・高温ソリューション 高プロセス圧力および低体積流量を伴う腐食性エッチング用途に最適 VATは、半導体、ディスプレイ、デジタル技術の製造に不可欠な高真空ソリューション開発におけるグローバルリーダーです。
対応領域・製品
- 一貫した信頼性の高いシール
- 半導体製造向け VAT 制御および隔離バルブ
- 安定した適応シール
- 定義された時間間隔での精密な体積流量
- 真空およびガス流の隔離
- 真空およびガス流の高精度制御
- 真空バルブ技術
- 粒子活性化および放出防止
- 適応可能な開閉サイクル
- 高精度制御向け先進コントローラ技術