基本情報
| ブース | M0942 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.vatvalve.com |
会社概要
VAT Taiwan Co, Ltd.は、VATを真空バルブ技術の世界的リーダーと位置付け、開発、ラボ、組立をスイス本社で行っています。VATは専門製品グループを持ち、ISO9001に基づく工業生産を行い、顧客向けの真空分野ソリューションと、半導体、ディスプレイ、デジタル技術の生産に使用される高真空技術に注力しています。
展示製品
半導体製造では、VATは真空・ガス流の高精度制御と遮断に重点を置き、バルブ機能は多数のサイクルで正確な再現性を維持し、規定時間内に精密な体積流量と一貫した信頼性の高いシールを実現するよう設計され、VATは制御・遮断バルブがこの性能の基準を設定するとしています。制御・遮断ポートフォリオは用途要件と個別顧客ニーズに合わせて調整され、調整可能な開閉サイクル、安定した適応シール、高精度制御用の先進コントローラー技術、粒子の活性化・放出防止、各バルブの規定性能を安定維持する製造品質を特徴とします。関連製品にはUHV Gate Valve「10.81 × 10-10 mbar to 1.2 bar (abs)」、Gate Valve「12.11 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)」、HV Angle Valve「26.41 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)」、HV Butterfly Control Valve「61.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Butterfly Control and Isolation Valve「61.61 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Butterfly Control Valve「61.71 × 10-6 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Angle Control Valve「62.01 × 10-8 mbar to 1.4 bar (abs)」、HV Control Gate Valve「64.21 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)」、UHV Control Gate Valve「64.81 × 10-10 mbar to 1.6 bar (abs)」、HV Pendulum Control Valve「65.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Pendulum Control Valve「65.51 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、Symmetrical Control Valve「67.01 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」、HV Control and Isolation Valve Combo Unit「95.31 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)」があります。これらのシリーズは、標準UHV・真空遮断、柔軟で信頼性の高いHVアングル遮断、高速・高精度の下流圧力制御、制御・遮断一体機能、非常に低いコンダクタンスでの制御性、高圧・高温用途、高サイクル真空制御・遮断、SEMI・ディスプレイシステムの下流圧力制御と真空遮断、高プロセス圧力・低体積流量の腐食性エッチング、流量最適化圧力制御、コンパクトな高性能制御・遮断をカバーし、関連製品にはCustomized High Performance Motion Components、Integrated High Performance Vacuum Modules、Edge Welded Metal Bellowsがあります。半導体生産では、微小粒子がウェハーを損傷し歩留まりを下げるため、VATは粒子回避と信頼性を重視し、真空バルブソリューションがバルブ動作の高速化、装置稼働時間の延長、運用コスト低減を通じて投資回収の迅速化を支援するとしています。記載された半導体用途はProcess Control & Isolation、Substrate Transfer、Sub-Fab Systemsで、高プロセス圧力・低体積流量の腐食性エッチング向け高圧・高温ソリューションも含まれます。
対応領域・製品
- UHV/HVゲートバルブ
- HVアングルバルブ
- HVバタフライ制御・隔離バルブ
- HV/UHV制御ゲートバルブ
- HVペンデュラム制御バルブ
- 対称型真空制御バルブ
- 真空制御・隔離コンボバルブ
- カスタム高性能モーション部品
- 統合型高性能真空モジュール
- エッジ溶接金属ベローズ