기본 정보
| 부스 | P5206 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.ulvac.com.tw |
회사 소개
70년의 역사를 보유한 ULVAC Group은 세계 최고 수준의 진공 기술을 활용해 진공 기술의 다양한 가능성을 추구하며 모든 분야에 장비, 부품, 소재, 분석기기 및 고객 솔루션을 제공합니다. 변화의 기회를 포착하고 그룹의 시너지와 혁신을 활용하며 요구에 신속히 대응함으로써 ULVAC Group은 보이지 않는 진공 기술로 눈에 보이고 풍요로운 미래를 만들어갑니다.
전시 제품
다양한 마이크로 센서부터 유로 모듈, 광 트랜지스터, 바이오 MEMS에 이르기까지 ULVAC은 풍부한 적용 실적과 모든 MEMS 제조 기술에 대응할 수 있는 역량을 보유하고 있습니다. PECVD는 다양한 박막 증착에 사용되며, 많은 공정 소자는 PECVD를 통해 고밀도 하드 마스크 또는 치밀한 보호막을 형성해야 합니다. ULVAC의 화학기상증착 장비는 고균일도와 고속 증착률의 박막 생산을 위해 설계되었으며, 굴절률, 응력, 전기적 특성, 습식 화학 식각 속도 등의 박막 특성을 제어할 수 있습니다. ULVAC PECVD는 고밀도 플라즈마 소스를 갖추고 있으며 공정 요구에 따라 고온 및 저온의 두 가지 성막 장비 중에서 선택할 수 있습니다. 업계 적용 실적이 풍부하고, 소형부터 대형까지 장비 구조의 레이아웃 유연성이 높으며, 기종에 따라 2inch~12inch wafer 또는 사각 기판에 대응할 수 있습니다.
역량 및 제품
- MEMS 제조 기술 지원
- 고균일·고속 PECVD 성막
- 고밀도 하드 마스크 및 보호막 PECVD
- PECVD 박막 특성 제어
- 고밀도 플라즈마 PECVD
- 고온／저온 PECVD 성막
- 2–12인치 웨이퍼 및 사각 기판 PECVD