基本情報
| ブース | P5206 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.ulvac.com.tw |
会社概要
70 年の歴史を持つ ULVAC グループは、世界最高水準の真空技術を活かして真空技術の無限の可能性を追求し、あらゆる領域で設備・部品・材料・分析機器・顧客向けソリューションを提供しています。ULVAC グループは変化の機会をとらえ、グループのシナジーとイノベーションを発揮し、ニーズに迅速に応えることで、目に見えない真空技術によって、目に見える豊かな未来を創造します。
展示製品
ULVACは、各種マイクロセンサー、流路モジュール、光トランジスタ、バイオMEMSまで、豊富な実績を持ち、あらゆるMEMS製造技術に対応できます。PECVDは多様な薄膜成膜に用いられ、多くのプロセスデバイスでは高密度マスクや緻密な保護膜の形成に必要です。ULVACの化学気相成膜装置は、高均一性・高速成膜の薄膜生産に特化し、屈折率、応力、電気特性、湿式化学エッチング速度などの膜特性を制御できます。ULVAC PECVDは高密度プラズマ源を備え、プロセス要求に応じて高温・低温の成膜機種を選択できます。小型から大型まで柔軟な装置構成に対応し、2inch～12inch waferまたは角形基板に適用できます。
対応領域・製品
- 真空コンポーネント
- 真空プロセス装置
- 真空分析装置
- 真空材料