基本資料
| 攤位 | P5206 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.ulvac.com.tw |
公司簡介
擁有 70 年歷史的 ULVAC 集團，運用世界最高水準的真空技術，追求真空技術的無限可能，在所有領域提供設備、零組件、材料、分析儀器與客戶解決方案。ULVAC 集團把握變化的契機，發揮集團的綜效與創新，迅速因應需求，以無形的真空技術創造可見而豐饒的未來。
展出產品
從各種微型感測器到流路模組、光學電晶體和生物微機電，ULVAC擁有豐富的使用實績並有能力對應所有MEMS製造技術。 PECVD用於沉積多種薄膜，許多製程元件需要PECVD來建立高密的光罩或是緻密的保護膜。ULVAC的化學氣相沉積設備專門用於生產高均勻性和高速率薄膜，可控制薄膜特性，如折射率、應力、電特性和濕化學蝕刻速率。ULVAC PECVD有高密度電漿源, 並可依照製程需求，有高溫低溫兩種成膜機種供選擇，業界實績強， 設備架構從小型至大型的layout靈活度高，可依照不同機型對應2inch~12inch wafer或方形基板。
能力與產品項目
- 真空分析儀器
- 真空材料
- 真空製程設備
- 真空零組件