基本資料
| 攤位 | P6204 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.thalessystem.com.tw |
公司簡介
泰利司系統股份有限公司成立於 2010 年，以為客戶提供更多高精度分析儀器選擇與服務為創設目的，業務重點也隨持續變化的半導體產業需求而調整。公司表示持續精進技術並提供最佳化服務，同時引進新產品，且在 Taiwan 與 Shanghai 設立實驗室，以維持有效率的服務品質。服務範圍包括氣體分析儀器的銷售、校正與維護，氣體分析儀器系統整合，高純度氣體純化設備的銷售與維護，POU 型氣體純化器的銷售與再生，氣體品質分析，氣體管路品質分析與品質監督，以及儀器租借。泰利司亦為環境監測、工業安全、工業製程監控與毒化物緊急災害應變提供監測儀器與系統，並承接整體系統設計規劃、儀錶管線與站房施工、各式系統組裝及資料處理系統整合規劃。公司網站列出的實績案例包含南亞科技、大陽日酸、台灣美光、亞東、台積電與聯華電子。
展出產品
泰利司提供的氣體分析技術包括可調諧二極管激光光譜學、氧化鋯氧分析、紅外氣體分析、煙道氣分析、粉塵監測、氣相色譜分析、持續排放監測系統 CEMS、氫氣純度分析與氣體密度系統。具名分析儀產品包括 Toray、PEAK FID、CIC FTIR、SEVOMEX DF-310E、DF-560E、DF-550E、AMETEK CG 1100、CG 1000、5920 與 5910。氣體純化器主要應用於高科技產業超高純度製程氣體供應及一般應用的純淨氣體設備，用於支援製程品質、良率與生產效能。半導體先進製程方面，AMC 微汙染監測系統使用 PICARRO 分析儀針對 NH3、HF、HCl、VOC 等不純物進行全時監測。AMC 產品列有 SI9110 VOC、SI5450 SO2、SI3401 HF NH3 HCl、SI2306 HF NH3、SI2205 HF、SI2108 HCl、SI2104 H2S 與 SI2103 NH3。公司亦列出 ALD 先進製程 chemical solution，以及儀器系統設計與組裝工程。系統工程服務包括整體系統設計規劃、儀錶管線與站房施工、各式系統組裝，以及資料處理系統整合規劃。管路 QA/QC 工程採全自動軌道焊接與嚴格的超高純施工、QA/QC 程序，並執行氦檢漏、水分、氧分、顆粒度及其他要求的氣相雜質測試。現場服務亦包含氣體取樣與樣品分析、氣體管路品質分析與品質監督，以及氣體品質分析。分析儀器合約維修從小幅度的儀器調整與校正到重大維修，依合約範圍提供所需處置。從分析儀銷售校正、純化設備、POU purifier regeneration、AMC monitoring、piping QA/QC、system engineering 到 data integration，共同形成半導體製程氣體品質與微汙染控制的服務鏈。
能力與產品項目
- 氣體分析儀器銷售、校正與維護
- 氣體分析儀器系統整合
- 高純度氣體純化設備銷售與維護
- POU 型氣體純化器銷售與再生
- 氣體品質分析
- 氣體管路品質分析與品質監督
- AMC 微污染防治監測系統
- ALD N2H4 還原劑氣體供應系統
- 儀器系統設計與組裝工程
- 管路 QA/QC 工程與氣體現場取樣分析
- 分析儀器合約維修