기본 정보
| 부스 | L0400 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | takano-net.com.tw |
회사 소개
Takano Co., Ltd.는 첨단 패키징 응용과 반도체 제조를 위한 검사 및 계측을 제공합니다. 반도체 검사·계측 포트폴리오는 비패턴 표면 검사, 웨이퍼 패턴 검사, 고속 범프 높이 검사, 웨이퍼 표면 박막 분석 검사를 포괄합니다. Film 검사 제품은 자체 개발 카메라, 이미지 처리 기술, 검사 판정, 결함 리뷰, 통계 처리, 맞춤형 표시 기능을 결합해 생산라인 검사를 지원합니다.
전시 제품
WM-7SR은 2inch~8inch 규격의 Non-Pattern Surface Inspection System이고, WM-10R은 4inch~12inch 규격의 Non-Pattern Surface Inspection System입니다. Vi Series는 Wafer Pattern Inspection System, ALTAX는 Bump Height용 Hi-speed Height Inspection System, Thinspector는 Wafer Surface Thin Film Analysis Inspection System입니다. Film 검사에서 Hawkeyes ELITE는 Takano Co., Ltd.가 개발·제조한 카메라를 사용하며 회사가 제시하는 업계 최고 수준의 고속·고정밀 검사를 목표로 합니다. 제시된 라인 속도와 검출 크기 조합은 100m/min과 20μm, 200m/min과 40μm입니다. Hawkeyes ELITE는 독자적인 이미지 처리 기술로 여러 알고리즘을 병렬 처리해 결함을 검출합니다. 검출 사례에는 검은 점, 불균일, 줄무늬, 스크래치, 돌출, 충돌 흔적, 가로 줄무늬, 오목 형상 결함이 제시됩니다. Takano Co., Ltd.는 Takano Camera로 얻은 영상이 실제 결함에 가까운 형태를 선명하게 표현하는 반면 일반 시판 CAMERA에서는 동일 결함이 깨진 형태로 촬영될 수 있다고 설명합니다. Takano Camera 영상을 이용한 AI 결함 분류도 지원합니다. Film 시스템의 검사 대상에는 Hole 결함의 Court 탈락과 Pin Hole, 줄무늬 결함의 코팅 줄무늬·주름·롤러 자국, 요철 결함의 이물·스크래치·기포, 불균일 결함의 도포 불균일·충돌 흔적이 포함됩니다. CCD effective line pixel count는 2,000pix, 4,000pix, 7,400pix, 16,000pix로 제시됩니다. Control and statistics PC를 포함하며 표시된 규격은 OS:Windows 7입니다. Inspection 소프트웨어 기능에는 검사 판정 처리, 노이즈 저감 처리, 공간 필터, 결함 맵 표시가 포함됩니다. Review 기능에는 Map 또는 coordinate data가 포함된 결함 목록, 결함 이미지 표시, 추세 그래프, 통계 처리가 포함됩니다. Hawk view duplex는 Multiple view connection management와 information delivery control을 제공합니다. Takano Co., Ltd.는 화면 표시와 추가 기능을 맞춤형으로 대응할 수 있다고 설명합니다. 응용 분야에는 Green sheet를 사용하는 세라믹 커패시터, 분리막과 금속박 등의 배터리 재료, 광학 필름, PI·각종 금속박·감광제·수지 필름을 사용하는 전자부품이 포함됩니다. 웨이퍼 검사 모델과 Hawkeyes ELITE Film 검사 기능을 결합해 반도체, 배터리 재료, 광학 필름, 전자부품 생산환경에서 표면, 패턴, 높이, 박막, 결함 이미지, 결함 맵, 추세, 통계 분석 요구를 지원합니다.
역량 및 제품
- 논패턴 웨이퍼 표면 검사 시스템
- 웨이퍼 패턴 검사 시스템
- 범프 높이 고속 검사 시스템
- 웨이퍼 표면 박막 분석 검사 시스템
- 고속 고정밀 Film 결함 검사
- AI 결함 분류