基本情報
| ブース | L0400 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | takano-net.com.tw |
会社概要
Takano Co., Ltd.は先進パッケージ用途と半導体製造向けの検査・計測を提供しています。半導体向け検査・計測ポートフォリオは、ノンパターン表面検査、ウェーハパターン検査、高速バンプ高さ検査、ウェーハ表面薄膜分析検査をカバーします。Film検査製品では、自社開発カメラ、画像処理技術、検査判定、欠陥レビュー、統計処理、カスタマイズ可能な表示機能を組み合わせ、生産ライン検査に対応します。
展示製品
WM-7SRは2inch~8inch仕様のNon-Pattern Surface Inspection Systemで、WM-10Rは4inch~12inch仕様のNon-Pattern Surface Inspection Systemです。Vi SeriesはWafer Pattern Inspection System、ALTAXはBump Height向けHi-speed Height Inspection System、ThinspectorはWafer Surface Thin Film Analysis Inspection Systemです。Film検査では、Hawkeyes ELITEがTakano Co., Ltd.で開発・製造したカメラを使用し、同社が示す業界最高水準の高速・高精細を目標としています。記載されたライン速度と検出サイズの組み合わせは100m/minと20μm、200m/minと40μmです。Hawkeyes ELITEは独自の画像処理技術を使い、複数アルゴリズムを並列処理して欠陥を検出します。検出例には黒点、むら、筋、傷、突起、打痕、横筋、凹形状の欠陥が示されています。Takano Co., Ltd.は、Takano Cameraで取得した画像は実際の欠陥に近い形状を鮮明に表現し、一般市販CAMERAでは同じ欠陥が破裂したような形状に写る場合があると説明しています。Takano Cameraの画像を用いたAI欠陥分類にも対応します。Filmシステムの検査対象には、Hole欠陥のCourt脱落とPin Hole、筋欠陥の塗布筋、しわ、ローラー痕、凹凸欠陥の異物、傷、気泡、むら欠陥の塗布むらと打痕が挙げられています。CCD effective line pixel countは2,000pix、4,000pix、7,400pix、16,000pixです。Control and statistics PCを備え、記載仕様はOS:Windows 7です。Inspectionソフトウェア機能には検査判定処理、ノイズ低減処理、空間フィルタ、欠陥マップ表示が含まれます。Review機能にはMapまたはcoordinate data付き欠陥リスト、欠陥画像表示、トレンドグラフ、統計処理が含まれます。Hawk view duplexはMultiple view connection managementとinformation delivery controlを提供します。Takano Co., Ltd.は画面表示や機能追加についてカスタマイズ対応が可能としています。用途にはGreen sheetを使うセラミックコンデンサー、セパレーターや金属箔などのバッテリー材料、光学フィルム、PI、各種金属箔、感光剤、樹脂フィルムを使う電子部品が含まれます。ウェーハ検査機種とHawkeyes ELITEのFilm検査機能を組み合わせ、半導体、バッテリー材料、光学フィルム、電子部品の製造環境で、表面、パターン、高さ、薄膜、欠陥画像、欠陥マップ、トレンド、統計分析のニーズに対応します。
対応領域・製品
- ノンパターンウェーハ表面検査システム
- ウェーハパターン検査システム
- バンプ高さ高速検査システム
- ウェーハ表面薄膜解析検査システム
- 高速・高精細Film欠陥検査
- AI欠陥分類