基本資料
| 攤位 | L0400 |
| 國別 | JP |
| 網站 | takano-net.com.tw |
公司簡介
台灣鷹野股份有限公司提供先進封裝應用與半導體製造所需的檢測及量測。其半導體檢測與量測產品範圍涵蓋無圖案表面檢測、晶圓圖案檢測、高速凸塊高度檢測，以及晶圓表面薄膜分析檢測。公司的Film檢查方案也把自製相機、影像處理技術、檢查判定、缺陷複檢、統計處理與可客製化的畫面功能結合起來，用於產線檢查。
展出產品
WM-7SR是規格為2inch~8inch的Non-Pattern Surface Inspection System，WM-10R則是規格為4inch~12inch的Non-Pattern Surface Inspection System。Vi Series是Wafer Pattern Inspection System，ALTAX是用於Bump Height的Hi-speed Height Inspection System，Thinspector則是Wafer Surface Thin Film Analysis Inspection System。Film檢查方面，Hawkeyes ELITE採用台灣鷹野股份有限公司自行開發製造的相機，以達到公司所述的業界高水準高速高精細檢查為目標。列出的產線速度與檢出尺寸組合包括100m/min對應20μm，以及200m/min對應40μm。Hawkeyes ELITE運用獨創影像處理技術，讓多個演算法平行處理以檢出缺陷。展示的缺陷例子包括黑點、不均勻、條紋、傷痕、突起、撞痕、橫向條紋與凹模。台灣鷹野股份有限公司表示，以Takano Camera取得的影像可清楚呈現接近實際缺陷的形狀，而一般市售CAMERA對相同缺陷可能以破裂形狀成像。系統也支援使用Takano Camera影像進行AI缺陷分類。Film系統所列的檢查對象包括Hole缺陷中的Court脫落與Pin Hole、條紋缺陷中的塗布條紋、皺褶與滾筒痕、凹凸缺陷中的異物、傷痕與氣泡，以及不均勻缺陷中的塗抹不均勻與撞痕。CCD effective line pixel count列為2,000pix、4,000pix、7,400pix與16,000pix。系統包含Control and statistics PC，列出的規格為OS:Windows 7。Inspection軟體功能包括檢查判定處理、降噪處理、空間濾波與缺陷圖顯示。Review功能包括帶有Map或coordinate data的缺陷列表、缺陷影像顯示、趨勢圖與統計處理。Hawk view duplex提供Multiple view connection management與information delivery control。台灣鷹野股份有限公司也表示畫面顯示或功能追加可客製化對應。應用包括使用Green sheet的陶瓷電容器、分離器與金屬箔等電池材料、光學薄膜，以及使用PI、各種金屬箔、感光劑與樹脂薄膜的電子部件。整體而言，晶圓檢測機型與Hawkeyes ELITE的Film檢查功能涵蓋表面、圖案、高度、薄膜、缺陷影像、缺陷圖、趨勢與統計分析需求，可對應半導體、電池材料、光學薄膜與電子部件的製造環境。
能力與產品項目
- 無圖案晶圓表面檢查系統
- 晶圓圖案檢查系統
- 凸塊高度高速檢查系統
- 晶圓表面薄膜分析檢查系統
- 高速高精細Film缺陷檢查
- AI缺陷分類