기본 정보
| 부스 | N0282 |
| 웹사이트 | www.new-cosmos.co.jp/industrial/semiconductor |
회사 소개
TAIWAN NEW COSMOS ELECTRIC CO., LTD는 New Cosmos Electric의 가스 감지 및 가스 경보 사업과 연결된 대만 거점으로, 대만에서 가스 감지 경보기를 판매하고 반도체 시장 확대에 맞춰 판매 체계를 강화한다고 설명합니다. New Cosmos의 전체 제품 분야는 가스 센서, 가스 경보기, 가스 검지기, 화재 경보기, 냄새 센서, 공기질 모니터링 장비의 개발·제조·판매를 포함합니다. 대만 대상 제품 범위에는 휴대형 가스 검지기와 고정식 산업용 가스 감지 및 경보 시스템이 있으며 반도체 팹과 관련 시설의 산업 가스 안전 및 모니터링을 지원합니다. 수소 응용에서는 약 40년 전부터 수소를 선택적으로 고감도로 검지하는 가스 센서를 연구개발해 왔고, 현재 전국에 설치된 수소 스테이션의 약 80%에 자사의 가스 검지 경보기가 설치되어 있다고 설명합니다. 수소 선택성 열선형 반도체식 센서는 주변에 다른 가스가 있어도 1000ppm(0.1%) 이하의 수소를 선택적으로 검지할 수 있으며 수소 스테이션 dispenser 부에 설치되는 가스 경보기에 탑재됩니다.
전시 제품
반도체 제조에서는 독성과 가연성을 가진 다양한 가스를 사용하므로 가스 누출, 중독, 산소 결핍이 현장 위험으로 제시되며 가스 감지 및 경보 장비를 팹 가스 안전 관리에 활용합니다. 「COSMOS 방식」은 교체형 sensor unit을 사용하고 현장에서 실제 가스를 흘려 교정할 필요가 없어 미량의 불순물도 큰 영향을 줄 수 있는 반도체 공장의 오염 우려를 줄이는 방식으로 설명됩니다. 실리콘 웨이퍼 제조에서는 SiHCL3, H2, HCL, Ar가 사용 가스 예이며 PS-8 series, 1ppb부터 AsH3를 초고감도로 검지하는 CLC-870 화학발광식 가스 검지 경보기, 농도 표시 기능의 KD-12II／PD-12II series, XPS-7II 반도체 소재 가스 검지기가 제시됩니다. 박막 형성에서는 SiH4, NH3, SiH2Cl2, H2, O2가 사용 가스 예이며 PS-8, CLC-870, KD-12II／PD-12II, XPS-7II가 중독 방지와 현장 농도 확인에 사용됩니다. 식각에서는 HF, SiF4, C4F6, SF6, HCL, HBr, NF3, Cl2, BCl3가 예시되며 PS-8, CLC-870, KD-12II／PD-12II, XPS-7II로 독성 가스를 모니터링합니다. 이온 주입에서는 BF3, AsH3, PH3가 반도체 소재 가스 예로 제시되고 동일한 검지기 제품군을 가스 누출과 중독 위험 관리에 적용합니다. 세정 공정에서는 IPA, HF, O3, NH3, NF3가 예시되며 기존 검지기와 함께 화학물질 risk assessment에 도움이 되는 XP-3320II-V 실시간 화학 모니터를 환경 관리에 사용합니다. 클린룸에서는 반도체 제조 장비에서 쓰는 각종 가스 누출로 인한 중독과 산소 결핍 위험에 대응해 PS-8, 소형·경량 일체형 산소 검지 경보기 KS-7O, CLC-870, KD-12II／PD-12II, XPS-7II, 가연성 가스와 산소를 검지하는 XP-3368II-W, 착용형 소형 XO-2200 산소계를 제시합니다. XPS-7II는 반도체 소재 가스 검지기이자 NF3 대응 소형 portable gas detector이고, XP-3320II-V는 환경 관리와 화학물질 위험 평가를 위한 real-time chemical monitor입니다.
역량 및 제품
- 1000ppm 이하 수소 선택 검지 센서
- 수소 가스 검지 경보기
- NF3 대응 휴대용 반도체 재료 가스 검지기
- 1ppb 아르신 화학발광식 가스 검지 경보기
- 센서 유닛 교체형 다중 가스 검지부
- 화학물질 실시간 모니터
- 일체형 산소 검지 경보기