基本資料
| 攤位 | N0282 |
| 網站 | www.new-cosmos.co.jp/industrial/semiconductor |
公司簡介
台灣新宇宙電機股份有限公司是與New Cosmos Electric氣體感測與氣體警報事業相關的台灣據點，並表示將在台灣銷售氣體檢知警報器，因應半導體市場擴大而強化銷售體系。New Cosmos的整體產品領域涵蓋氣體感測器、氣體警報器、氣體檢知器、火災警報器、氣味感測器與空氣品質監測設備的研發、製造與銷售。其面向台灣的產品範圍包括可攜式氣體檢知器及固定式工業氣體檢知與警報系統，用於半導體廠與相關設施的工業氣體安全與監測。氫能應用方面，New Cosmos約40年前即開始研究開發可選擇性高靈敏檢知氫氣的gas sensor，目前全國設置的氫氣站中約8成裝有其氣體檢知警報器。其氫選擇性熱線型半導體式sensor即使周圍存在其他氣體，也能選擇性檢知1000ppm（0.1%）以下氫氣，並搭載於氫氣站dispenser部位的gas alarm。
展出產品
半導體製造使用多種具毒性或可燃性的氣體，因此公司將氣體洩漏、中毒與缺氧列為現場風險，並以氣體檢知與警報設備支援晶圓廠氣體安全管理。「コスモス式」採可更換sensor unit，且現場不需以實際氣體進行校正，可降低微量不純物也可能造成重大影響的半導體工廠之污染疑慮。矽晶圓製造的使用氣體例包括SiHCL3、H2、HCL、Ar，對應產品包括PS-8 series、可由1ppb起超高靈敏檢知AsH3的CLC-870化學發光式氣體檢知警報器、具濃度顯示的KD-12II／PD-12II series，以及XPS-7II半導體材料氣體檢知器。薄膜形成使用氣體例包括SiH4、NH3、SiH2Cl2、H2、O2，也列有PS-8、CLC-870、KD-12II／PD-12II與XPS-7II，用於中毒防止與現場濃度確認。蝕刻使用氣體例包括HF、SiF4、C4F6、SF6、HCL、HBr、NF3、Cl2、BCl3，同樣以PS-8、CLC-870、KD-12II／PD-12II及XPS-7II進行毒性氣體監測。離子植入使用BF3、AsH3、PH3等半導體材料氣體，對應產品家族亦用於氣體洩漏與中毒風險管理。清洗製程的使用氣體例包括IPA、HF、O3、NH3、NF3，除上述檢知器外另有XP-3320II-V化學物質即時監測器，用於化學物質risk assessment與環境管理。潔淨室中，半導體製造設備所用氣體洩漏可能造成中毒與缺氧，產品包括PS-8、KS-7O小型輕量一體式氧氣檢知警報器、CLC-870、KD-12II／PD-12II、XPS-7II、可檢知可燃性氣體與氧氣的XP-3368II-W，以及可穿戴的小型XO-2200氧氣計。XPS-7II是半導體材料氣體檢知器，也是NF3對應的小型portable gas detector；XP-3320II-V則提供化學物質real-time monitoring，用於環境管理與化學風險評估。
能力與產品項目
- 1000ppm以下氫氣選擇性檢知感測器
- 氫氣檢知警報器
- NF3可攜式半導體材料氣體檢知器
- 1ppb砷化氫化學發光式檢知警報器
- 可更換感測器單元多氣體檢知部
- 化學物質即時監測器
- 一體式氧氣檢知警報器