基本情報
| ブース | N0282 |
| ウェブサイト | www.new-cosmos.co.jp/industrial/semiconductor |
会社概要
TAIWAN NEW COSMOS ELECTRIC CO., LTDはNew Cosmos Electricのガス検知・ガス警報事業に関連する台湾拠点で、台湾でガス検知警報器を販売し、半導体市場の拡大を見込んで販売体制を強化するとしています。New Cosmosの製品分野は、ガスセンサ、ガス警報器、ガス検知器、火災警報器、においセンサ、空気質監視装置の開発・製造・販売を含みます。台湾向け製品範囲にはポータブルガス検知器と固定式産業用ガス検知・警報システムがあり、半導体工場や関連施設の産業ガス安全と監視を支えます。水素用途では約40年前から水素を選択的かつ高感度に検知するガスセンサを研究開発し、現在全国に設置されている水素ステーションの約8割に同社のガス検知警報器が設置されています。水素選択性熱線型半導体式センサは、周囲に他のガスが存在しても1000ppm（0.1%）以下の水素を選択的に検知でき、水素ステーションのディスペンサー部に設置されるガス警報器に搭載されています。
展示製品
半導体製造では毒性や可燃性を持つ多様なガスが使われるため、ガス漏えい、中毒、酸欠が現場リスクとなり、ガス検知・警報装置をfabのガス安全管理に位置付けています。「コスモス式」は交換式センサユニットを用い、各現場でガスをかける校正が不要なため、微量の不純物でも大きな影響が出る半導体工場での汚染懸念を抑える考え方です。シリコンウェーハ製造ではSiHCL3、H2、HCL、Arが使用ガス例で、PS-8シリーズ、1ppbからアルシンを超高感度検知する化学発光方式CLC-870、濃度表示機能付きKD-12II／PD-12IIシリーズ、半導体材料ガス検知器XPS-7IIが挙げられます。薄膜形成ではSiH4、NH3、SiH2Cl2、H2、O2が使用ガス例で、PS-8、CLC-870、KD-12II／PD-12II、XPS-7IIが中毒防止や現場濃度確認向けに示されています。エッチングではHF、SiF4、C4F6、SF6、HCL、HBr、NF3、Cl2、BCl3が例示され、PS-8、CLC-870、KD-12II／PD-12II、XPS-7IIを毒性ガス監視に用います。イオン注入ではBF3、AsH3、PH3が半導体材料ガス例として示され、同じ検知器群で漏えいと中毒リスクを管理します。洗浄工程ではIPA、HF、O3、NH3、NF3が例示され、PS-8、CLC-870、KD-12II／PD-12II、XPS-7IIに加え、化学物質のリスクアセスメントに役立つリアルタイムモニタXP-3320II-Vを環境管理に使用します。クリーンルームでは半導体製造装置で使う各種ガスの漏えいによる中毒・酸欠リスクに対し、PS-8、小型軽量で検知部と警報部が一体のKS-7O、CLC-870、KD-12II／PD-12II、XPS-7II、可燃性ガスと酸素を検知するXP-3368II-W、装着型の小型XO-2200酸素計を挙げています。XPS-7IIは半導体材料ガス検知器でありNF3対応の小型ポータブルガス検知器、XP-3320II-Vは環境管理と化学物質リスク評価のために現場で化学物質をリアルタイムに確認するリアルタイム化学モニタです。
対応領域・製品
- 1000ppm以下の水素選択検知センサ
- 水素ガス検知警報器
- NF3対応ポータブル半導体材料ガス検知器
- 1ppbアルシン化学発光式ガス検知警報器
- センサユニット交換式多ガス検知部
- 化学物質リアルタイムモニタ
- 一体型酸素検知警報器