기본 정보
| 부스 | S7541 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
회사 소개
광학 측정으로 반도체 산업을 지원합니다. Systems Engineering은 Thermo Fisher Scientific의 연구용 등급 FTIR과 JEL의 자체 이송 시스템을 탑재한 차세대 "FT-IR SE 50 series" 반도체 소재 특성 평가 장비를 제조합니다. "FT-IR SE-50 series"는 N2를 이용한 퍼지 성능과 측정 효율에 중점을 두며, 업계 최고 수준의 고정밀 측정을 실현합니다. "SE-50 series"에는 고객 요구에 맞는 다양한 응용 분야가 있습니다. 【웨이퍼 측정】 ・EPI 두께 ・SiC 두께 ・SOI 두께 ・실리콘 내 탄소 및 산소 ・BPSG 막 내 붕소 및 인 ・질화실리콘 막 내 수소 ・SiO2 막 내 불소 ・비확산층 막 두께 【잉곳 측정】 ・산소 농도 Systems Engineering은 SE-50 series의 특징을 당사 부스(No.S7541)에서 소개합니다. 부담 없이 방문해 주십시오!!
전시 제품
SE50A-ECO 200DSMIF: ・8-inch 웨이퍼 호환 ・더블 SMIF ・진공 흡착식 로봇 이송 시스템 ・OHT/AGV 사용 가능 ・직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 SE50A-ECO 200SS: ・4-8 inches 웨이퍼 호환 ・싱글 카세트 ・진공 흡착식 로봇 이송 시스템 ・직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 ・공간 절약형 모델 SE50A-ECO 300SF: ・8-12 inches 웨이퍼 측정 ・싱글 FOUP ・진공 흡착식 로봇 이송 시스템 ・OHT/AGV 호환 ・직관적인 소프트웨어 제어 ・안전 규격 준수 모델(SEMI-S2、CE marking) SE50-OIP: ・φ200mm/300mm 잉곳 호환 ・잉곳 길이 최대 3000mm ・자동 다점 측정 ・직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 SE50S-ECO: ・2-8 inches 또는 6-12 inches 웨이퍼 호환 ・스테이지 타입 ・웨이퍼 자동 다점 측정 시스템 ・직관적인 그래픽 사용자 인터페이스
역량 및 제품
- FT-IR 반도체 재료 특성 분석
- EPI 두께 측정
- SiC 두께 측정
- SOI 두께 측정
- 실리콘 내 탄소·산소 함량 측정
- BPSG 박막 붕소·인 측정
- 질화규소 박막 수소 함량 측정
- SiO2 박막 불소 함량 측정
- 비확산층 박막 두께 측정
- 잉곳 산소 농도 측정