기본 정보
| 부스 | S7541 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
회사 소개
Systems Engineering Inc.는 Apr-95에 설립되었으며 납입 자본금은 20,000,000엔, 연간 매출은 600,000,000엔, 직원 수는 15명입니다. 도쿄 본사, 오사카 Western Branch Office, 이타바시의 Monozukuri Technology Center, 하치오지 공장, 야마가타대학교 Organic Electronics Innovation Center의 측광 시험 평가실을 운영합니다. 사업 범위는 분석 장비, 광학 장비, 계측기와 관련 주변 장비, 액세서리, 소프트웨어의 판매와 개발, 제조, 위탁 측정 및 분석을 포함한 기술 서비스입니다. 설립 이후 적분구를 이용한 광학 측정과 IR, UV, VIS 분광 측정 기술을 제공해 왔으며 통합 액세서리 공급과 기술 지원도 수행합니다. 분석 계측, 광학 측정, 포토닉스 분야의 경험을 보유하고 학계, 정부, 산업 사용자를 연결하는 전국 네트워크와 사내 기술 지원 역량을 갖추고 있습니다. Systems Engineering Inc.는 Japan Analytical Instruments Manufacturers' Association (JAIMA), The Japan Society of Applied Physics, The Spectroscopical Society of Japan, The Japanese Photochemistry Association, The Remote Sensing Society of Japan, The Japan Society of Infrared Science and Technology (JSIR), Japan Association of Forensic Science and Technology (JAFST)에 가입되어 있습니다. 취급 제품에는 적분구, 표준 반사판, LED 측정 시스템, 배광 측정 시스템, 반도체용 FT-IR, OCT 시스템과 광원, FT-IR 분광기와 액세서리, 라만 분광기, 근적외선 분광기, 자외선 가시광 분광기, BRDF 및 BTDF 측정 장비, 광학 재료, 편광계, 굴절계, 밀도 및 비중계, 원소 분석기, 유압 프레스와 다이, 파이버 옵틱스, 샘플링 도구, NMR용 액체 He 증발 방지 장치, 데이터 분석 소프트웨어가 포함됩니다. 영문 회사 자료에는 Optical Sphere, Goniometer, LED measurement system, FT-IR Spectrometer & accessories, SEMI 관련 장비, Fiber Optics, Photo Acoustic Detector, OCT Systems, SS-OCT Engine, 반도체 재료 특성 분석 시스템, AOTF portable NIR spectrometer도 포함됩니다. 주요 해외 취급 및 딜러십 브랜드에는 Specac Ltd., Labsphere, Inc., Axsun Technologies, Inc., DAMAE MEDICAL, NIEKA, Radiant Vision Systems, LLC, GL Optic, LLTech, BaySpec, PYREOS, art photonics GmbH, IBZ Messtechnik GmbH, Gasera Ltd., PIMACS CO., LTD., Agilent Technologies, Inc., Thermo Fisher Scientific, Inc., Bruker Optics K.K., PerkinElmer Japan Co. Ltd.가 있습니다. 정부 및 공공 부문 고객에는 Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA), National Research Institute of Police Science, 과학수사연구 기관, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, Meteorological Research Institute, National Research Institute for Earth Science and Disaster Prevention (NIED), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Japan Atomic Energy Agency, National Institute for Materials Science, Ministry of Defense가 포함됩니다. 대학 고객에는 Osaka University, Ochanomizu University, Kyushu University, Kyoto University, Keio University, Tokyo Metropolitan University, Chiba University, University of Tsukuba, Tokyo Institute of Technology, University of Tokyo, Tohoku University, Nagoya University, Niigata University, Hiroshima University, Hokkaido University, Yokohama National University, Waseda University가 포함됩니다. 산업 고객에는 Ube Industries, SS Pharmaceutical, Omron, Kao, Kansai Paint, Canon, Kyocera, Shiseido, Citizen Electronics, Citizen Watch, Sharp, Sony, Daiichi Sankyo, Dainippon Screen Manufacturing, Toshiba, Toyoda Gosei, Toyota, Toray, Nikon, Nissan, Nitto Denko, Zeon, NEC, Panasonic, Hamamatsu Photonics, Hitachi, Bridgestone, Honda, Mitsubishi Chemical, Mitsubishi Plastics, Mitsubishi Electric, Rohm, Fujifilm, Eisai가 포함됩니다.
전시 제품
Systems Engineering Inc.는 광학 측정으로 반도체 제조를 지원하며 Thermo Fisher Scientific의 연구급 FTIR 기술과 JEL 웨이퍼 이송 시스템을 결합한 FT-IR SE-50 시리즈 반도체 재료 특성 분석 장비를 제조합니다. FT-IR SE-50 시리즈는 N2 퍼지 성능과 측정 효율에 중점을 두며 회사는 산업 최고 수준의 고정밀 측정을 제공한다고 설명합니다. 웨이퍼 응용에는 EPI 두께, SiC 두께, SOI 두께, 비확산층 박막 두께 측정이 포함됩니다. 추가 웨이퍼 응용에는 실리콘 내 탄소와 산소, BPSG 막 내 붕소와 인, 실리콘 나이트라이드 막 내 수소, SiO2 막 내 불소 측정이 포함됩니다. 잉곳에서는 FT-IR SE-50 시리즈가 산소 농도 측정을 지원합니다. 반도체 공장 평가용으로 다양한 웨이퍼 크기와 응용에 맞춘 스테이지 시스템, open cassette, SMIF, FOUP, edge-grip 장비를 제공하며 EPI 막 두께, 실리콘 내 탄소와 산소 농도, BPSG 내 인과 붕소 농도, SiN 내 수소 농도, 실리콘 산화막 내 불소 농도, GEM/SECS 상위 통신에 대응합니다. 반도체 FT-IR 라인에 대한 응용 지원과 함께 Nicolet ECO series, IR-EPOCH series, X-ray fluorescence 장비에서의 전환도 지원합니다. 잉곳 산소 농도 측정, 특수 자동화, 광학 어태치먼트의 맞춤 제작도 받습니다. 맞춤 제작 실적에는 LED 배광 및 분광 측정 장비, LCD 광학 특성 측정 스테이지, 광열 편향 분광 PDS, 광음향 분광 PAS, 일정 광전류 측정 CPM, 정에너지 분광 광원, 분광 방사계, 전광속 측정 시스템, 광도 측정 시스템, 배광 측정 시스템이 포함됩니다. 추가 맞춤 제작에는 태양광 스펙트럼 측정 장비, HID 전구 아크 휨 측정 장비, 표면 플라즈몬 공명 SPR 측정 장비, 소형 라만 분광 장비, Fiber FFP 측정 장비, LIF 미량 분석 장비, 펨토초 지연 광학계, 제어 및 측정 소프트웨어, 제어 및 신호 처리 장비, 반도체 공장용 FT-IR이 포함됩니다. 기술 장비 범위는 LED 및 O-EL 양자 효율과 발광 효율 측정, LED 광학 특성 측정, LCD 및 FPD 광학 검사, 백라이트 전광속 및 광학 특성 측정, 휘도 및 색 분포 측정, 자동 및 수동 XY stage, stage 제어 소프트웨어, 램프 검사, 적분구식 및 배광식 전광속 측정, 조도 센서, 라만 및 형광 분광, 흡수 스펙트럼 측정, 적외선 분광 액세서리, 가시광부터 적외선 분광기 액세서리, 적외선 광학계와 광원, FT-IR 외부 광학계, PMT 냉각 하우징까지 포함합니다. 전 세계 출하가 가능한 자체 제조 제품 중 ENG_Heated_and_SealedGG는 혐기성 리튬 이온 배터리 전극 계면의 in-situ FT-IR 분석을 지원하며 top plate를 glove box로 가져가 ATR crystal 위에 샘플을 놓고 결정 위 작은 챔버에 밀봉한 뒤 혐기성 상태로 분광기로 되돌릴 수 있습니다. GoldenEyeIII-1은 FT-IR 분광기 샘플 챔버에 장착할 수 있는 고사양 적분구입니다. Heating_and_Cooling_Stage는 세 종류의 가열 또는 가열 및 냉각 스테이지를 제공하며 대부분의 FT-IR 모델 샘플 구획에 맞습니다. SBIR_SBIR-Plus의 SuperBlack IR은 polyurethane resin으로 만든 광흡수 스웨이드 필름이며 내마모성을 갖습니다. NIEKA는 ICP 및 XRF 샘플 준비에 사용되며 분석 방법을 위한 전체 온도 범위를 제공합니다. SE50A-ECO 300SFE는 Thermo Fisher Scientific FT-IR 측정 기술과 JEL edge-grip 웨이퍼 핸들링 시스템을, SE50A_ECO 200DS는 JEL 웨이퍼 핸들링을, SE50A_ECO 200SMIF는 JEL Sorter System을, SE50S-ECO-02S-1은 single-wafer handling system을 결합합니다. OCT System은 비파괴, 비접촉 단층 이미징을 제공하고 적외선을 사용해 방사선 영향이 없으며 고해상도 2D 및 3D 단층 이미징, 고속 레이저 스캔을 통한 실시간 2D 표시, 수초 이내 3D 이미지 획득을 지원합니다. SE50A-ECO 200DSMIF는 8인치 웨이퍼, Double SMIF, 진공 흡착식 로봇 이송, OHT/AGV, 직관적 그래픽 사용자 인터페이스를 지원합니다. SE50A-ECO 200SS는 4-8인치 웨이퍼, 단일 카세트, 진공 흡착식 로봇 이송, 직관적 그래픽 사용자 인터페이스, 공간 절약형 구성을 지원합니다. SE50A-ECO 300SF는 8-12인치 웨이퍼 측정, 단일 FOUP, 진공 흡착식 로봇 이송, OHT/AGV, 직관적 소프트웨어 제어를 지원하며 SEMI-S2 및 CE marking이 표시된 안전 표준 준수 모델입니다. SE50-OIP는 φ200mm/300mm 잉곳과 최대 3000mm 길이를 지원하고 자동 다점 측정과 직관적 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. SE50S-ECO는 stage type 시스템으로 2-8인치 또는 6-12인치 웨이퍼, 자동 다점 웨이퍼 측정, 직관적 그래픽 사용자 인터페이스를 지원합니다.
역량 및 제품
- 반도체 소재 FT-IR 특성 분석 장비
- EPI/SiC/SOI 막 두께 측정
- 실리콘 내 탄소·산소 측정
- BPSG 막 내 붕소·인 측정
- SiN 박막 내 수소 측정
- SiO2 박막 내 불소 측정
- 잉곳 산소 농도 측정
- 적분구 광학 측정
- IR/UV/VIS 분광 측정
- LED 배광·분광 측정 장비 맞춤 제작
- LCD 광학 특성 측정 스테이지 맞춤 제작
- OCT 2D/3D 단층 이미징 시스템
- 혐기성 리튬이온 배터리 계면 in-situ FT-IR 분석
- FT-IR 가열/냉각 스테이지
- ICP/XRF 시료 전처리 장비