基本資料
| 攤位 | S7541 |
| 國別 | JP |
| 產品分類 | Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer · Spectrometers; Fourier Transform Infrared (FTIR); Attenuated Total Reflectance FTIR (ATR-FTIR); Auge · Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation · X-ray; XRF; 3-D X-Ray; LEXES Systems · Ingots |
| 網站 | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
公司簡介
以光學量測支援半導體產業。Systems Engineering 製造新世代「FT-IR SE 50 series」半導體材料特性分析儀，搭載 Thermo Fisher Scientific 的研究級 FTIR 與 JEL 的自動傳輸系統。「FT-IR SE-50 series」著重於以 N2 進行的吹淨（purging）性能與量測效率，並達到業界最高水準的高精度量測。「SE-50 series」具備多樣化的應用，以滿足客戶需求。【晶圓量測】EPI 厚度、SiC 厚度、SOI 厚度、矽中碳與氧含量、BPSG 薄膜中硼與磷含量、氮化矽薄膜中氫含量、SiO2 薄膜中氟含量、非擴散層薄膜厚度。【晶棒量測】氧濃度。Systems Engineering 將於我們的攤位（No.S7541）介紹 SE-50 series 的特色。歡迎把握機會蒞臨參觀！
能力與產品項目
- BPSG 薄膜中硼與磷量測
- EPI 厚度晶圓量測
- FT-IR SE 50 series 半導體材料表徵工具
- SOI 厚度晶圓量測
- SiC 厚度晶圓量測
- SiO2 薄膜中氟量測
- 晶錠氧濃度量測
- 氮化矽薄膜中氫量測
- 矽中碳與氧晶圓量測
- 非擴散層薄膜厚度量測