基本資料
| 攤位 | S7541 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
公司簡介
Systems Engineering Inc. 於 Apr-95 成立，實收資本額為 20,000,000 日圓，年營收為 600,000,000 日圓，員工人數為 15 人。公司在東京設有總公司，在大阪設有西日本營業所，並設有板橋的ものづくり技術センター、八王子工場，以及位於山形大學有機電子創新中心的測光試驗評價室。業務範圍涵蓋分析儀器、光學儀器、量測儀器及其周邊設備、配件與軟體，並提供包含開發、製造、受託量測與分析在內的技術服務。自成立以來，Systems Engineering Inc. 持續累積積分球光學量測以及 IR、UV、VIS 光譜量測技術，同時供應整合式配件並提供技術支援。公司的經驗涵蓋分析儀器、光學量測與光子學，並透過橫跨學術界、政府與產業使用者的全日本網絡以及內部技術支援能力提供服務。Systems Engineering Inc. 參與 Japan Analytical Instruments Manufacturers' Association (JAIMA)、The Japan Society of Applied Physics、The Spectroscopical Society of Japan、The Japanese Photochemistry Association、The Remote Sensing Society of Japan、The Japan Society of Infrared Science and Technology (JSIR) 與 Japan Association of Forensic Science and Technology (JAFST)。公司經營的產品範圍包括積分球、標準反射板、LED 量測系統、配光量測系統、半導體用 FT-IR、OCT 系統與光源、FT-IR 光譜儀與配件、拉曼光譜儀、近紅外光譜儀、紫外可見光譜儀、BRDF 與 BTDF 量測設備、光學材料、旋光計、折射計、密度與比重計、元素分析儀、油壓壓床與模具、光纖、取樣工具、NMR 液態 He 蒸發防止裝置及資料分析軟體。英文公司資料亦列出光學量測系統與配件、Optical Sphere、Goniometer、LED 量測系統、FT-IR Spectrometer & accessories、SEMI 相關設備、Fiber Optics、Photo Acoustic Detector、OCT Systems、SS-OCT Engine、半導體材料特性分析系統及 AOTF portable NIR spectrometer。主要海外合作與經銷品牌包括 Specac Ltd.、Labsphere, Inc.、Axsun Technologies, Inc.、DAMAE MEDICAL、NIEKA、Radiant Vision Systems, LLC、GL Optic、LLTech、BaySpec、PYREOS、art photonics GmbH、IBZ Messtechnik GmbH、Gasera Ltd.、PIMACS CO., LTD.、Agilent Technologies, Inc.、Thermo Fisher Scientific, Inc.、Bruker Optics K.K. 及 PerkinElmer Japan Co. Ltd.。公司列出的政府與公共部門客戶包括 Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)、National Research Institute of Police Science、科學捜査研究所、東京都立產業技術研究中心、Meteorological Research Institute、National Research Institute for Earth Science and Disaster Prevention (NIED)、National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)、Japan Atomic Energy Agency、National Institute for Materials Science 及 Ministry of Defense。大學客戶包括大阪大學、御茶之水女子大學、九州大學、京都大學、慶應義塾大學、東京都立大學、千葉大學、筑波大學、東京工業大學、東京大學、東北大學、名古屋大學、新潟大學、廣島大學、北海道大學、橫濱國立大學及早稻田大學。產業客戶包括 Ube Industries、SS Pharmaceutical、Omron、Kao、Kansai Paint、Canon、Kyocera、Shiseido、Citizen Electronics、Citizen Watch、Sharp、Sony、Daiichi Sankyo、Dainippon Screen Manufacturing、Toshiba、Toyoda Gosei、Toyota、Toray、Nikon、Nissan、Nitto Denko、Zeon、NEC、Panasonic、Hamamatsu Photonics、Hitachi、Bridgestone、Honda、Mitsubishi Chemical、Mitsubishi Plastics、Mitsubishi Electric、Rohm、Fujifilm 與 Eisai。
展出產品
Systems Engineering Inc. 以光學量測支援半導體製造，並製造 FT-IR SE-50 系列半導體材料特性分析工具，整合 Thermo Fisher Scientific 研究級 FTIR 技術與 JEL 晶圓搬送系統。FT-IR SE-50 系列著重 N2 吹淨效能與量測效率，公司將其描述為可提供產業最高水準的高精度量測。晶圓應用包括 EPI 厚度、SiC 厚度、SOI 厚度及非擴散層薄膜厚度量測。其他晶圓應用包括矽中碳與氧量測、BPSG 薄膜中的硼與磷量測、氮化矽薄膜中的氫量測，以及 SiO2 薄膜中的氟量測。針對晶錠，FT-IR SE-50 系列支援氧濃度量測。針對半導體工廠評價，產品線依不同晶圓尺寸與應用提供載台系統、open cassette、SMIF、FOUP 與 edge-grip 設備，所列應用包含 EPI 膜厚、矽中碳氧濃度、BPSG 中磷硼濃度、SiN 中氫濃度、矽氧化膜中氟濃度及 GEM/SECS 上位通訊。Systems Engineering Inc. 亦提供此半導體 FT-IR 產品線的應用支援，並支援從 Nicolet ECO series、IR-EPOCH series 與螢光 X 光設備平順移轉。公司也接受晶錠氧濃度量測、特殊自動化與光學附件的客製。客製實績包括 LED 配光與分光量測設備、LCD 光學特性量測載台、光熱偏轉光譜 PDS、光音響光譜 PAS、定光電流量測 CPM、定能量分光光源、分光放射計、全光束量測系統、光度量測系統及配光量測系統。其他客製工作包括太陽光光譜量測設備、HID 燈泡弧彎量測設備、表面電漿共振 SPR 量測設備、小型拉曼光譜設備、Fiber FFP 量測設備、LIF 微量分析設備、飛秒延遲光學系統、控制與量測軟體、控制與訊號處理設備及半導體工廠 FT-IR 系統。技術設備範圍還涵蓋 LED 與 O-EL 量子效率和發光效率量測、LED 光學特性量測、LCD 與 FPD 光學檢查、背光全光束與光學特性量測、亮度與色彩分布量測、自動與手動 XY stage、stage 控制軟體、燈具檢查、積分球與配光式全光束量測、照度感測器、拉曼與螢光光譜、吸收光譜量測、紅外光譜配件、可見光至紅外光譜儀配件、紅外光學系統與光源、FT-IR 外部光學系統及 PMT 冷卻外殼。可全球出貨的自製產品中，ENG_Heated_and_SealedGG 用於厭氧鋰離子電池電極介面的 in-situ FT-IR 分析，可將 top plate 帶入 glove box，把樣品放在 ATR crystal 上並密封於晶體上方的小腔體，再將保持厭氧密封的樣品帶回光譜儀。GoldenEyeIII-1 是可安裝於 FT-IR 光譜儀樣品室的高規格積分球。Heating_and_Cooling_Stage 提供三種加熱或加熱／冷卻載台，並可裝入多數 FT-IR 型號的樣品室。SBIR_SBIR-Plus 採用 SuperBlack IR，這是一種以 polyurethane resin 製成且具耐磨性的吸光麂皮膜。NIEKA 用於 ICP 與 XRF 樣品製備，並提供完整溫度範圍以支援分析方法。SE50A-ECO 300SFE 結合 Thermo Fisher Scientific FT-IR 量測技術與 JEL edge-grip 晶圓搬送系統，SE50A_ECO 200DS 結合該 FT-IR 技術與 JEL 晶圓搬送，SE50A_ECO 200SMIF 結合 JEL Sorter System，而 SE50S-ECO-02S-1 則結合 single-wafer handling system。OCT System 提供非破壞、非接觸斷層成像，使用紅外光而無輻射影響，支援高解析度 2D 與 3D 斷層成像，高速雷射掃描可即時顯示 2D 影像，並可在數秒內取得 3D 影像。SE50A-ECO 200DSMIF 支援 8 吋晶圓，搭配 Double SMIF、真空吸附式機械手臂傳輸、OHT/AGV 及直覺式圖形使用者介面。SE50A-ECO 200SS 支援 4-8 吋晶圓，採單一卡匣、真空吸附式機械手臂傳輸、直覺式圖形使用者介面及節省空間配置。SE50A-ECO 300SF 支援 8-12 吋晶圓量測，採單一 FOUP、真空吸附式機械手臂傳輸、OHT/AGV、直覺式軟體控制，並為標示 SEMI-S2 與 CE marking 的安全標準符合型號。SE50-OIP 支援 φ200mm/300mm 晶錠，晶錠長度最高 3000mm，並具自動多點量測與直覺式圖形使用者介面。SE50S-ECO 為 stage type 系統，支援 2-8 吋或 6-12 吋晶圓，具晶圓自動多點量測與直覺式圖形使用者介面。
能力與產品項目
- 半導體材料 FT-IR 特性分析工具
- EPI／SiC／SOI 膜厚量測
- 矽中碳氧濃度量測
- BPSG 硼磷濃度量測
- SiN 薄膜氫濃度量測
- SiO2 薄膜氟濃度量測
- 晶錠氧濃度量測
- 積分球光學量測
- IR／UV／VIS 光譜量測
- LED 配光與分光量測設備客製
- LCD 光學特性量測載台客製
- OCT 2D／3D 斷層成像系統
- 厭氧鋰電池界面原位 FT-IR 分析
- FT-IR 加熱／冷卻載台
- ICP／XRF 樣品製備設備