基本情報
| ブース | S7541 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
会社概要
株式会社 システムズエンジニアリングは Apr-95 に設立され、資本金は20,000,000円、年間売上高は600,000,000円、従業員数は15名です。東京の本社、大阪の西日本営業所、板橋のものづくり技術センター、八王子工場、山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター内の測光試験評価室を展開しています。事業は分析機器、光学機器、計測器とその周辺機器、アクセサリ、ソフトウェアに加え、開発、製造、受託測定・分析を含む技術サービスまでを対象としています。設立以来、積分球を用いた光学測定と IR、UV、VIS の分光測定に関する技術力を培い、統合アクセサリの供給と技術サポートも行っています。分析機器、光学測定、フォトニクスの経験を持ち、学術、官公庁、産業の利用者を結ぶ全国ネットワークと社内技術サポート体制を備えています。株式会社 システムズエンジニアリングは Japan Analytical Instruments Manufacturers' Association (JAIMA)、The Japan Society of Applied Physics、The Spectroscopical Society of Japan、The Japanese Photochemistry Association、The Remote Sensing Society of Japan、The Japan Society of Infrared Science and Technology (JSIR)、Japan Association of Forensic Science and Technology (JAFST) に所属しています。取扱製品には積分球、標準反射板、LED測定システム、配光測定システム、半導体向けFT-IR、OCTシステムと光源、FT-IR分光計とアクセサリ、ラマン分光計、近赤外分光計、紫外可視分光計、BRDF・BTDF測定装置、光学材料、旋光計、屈折計、密度・比重計、元素分析装置、油圧プレス・ダイス、ファイバーオプティクス、サンプリングツール、NMR用液体He蒸発防止装置、データ解析ソフトウェアがあります。英語会社案内では Optical Sphere、Goniometer、LED measurement system、FT-IR Spectrometer & accessories、SEMI 関連機器、Fiber Optics、Photo Acoustic Detector、OCT Systems、SS-OCT Engine、半導体材料評価システム、AOTF portable NIR spectrometer も挙げています。主要な海外メーカーおよび取引先には Specac Ltd.、Labsphere, Inc.、Axsun Technologies, Inc.、DAMAE MEDICAL、NIEKA、Radiant Vision Systems, LLC、GL Optic、LLTech、BaySpec、PYREOS、art photonics GmbH、IBZ Messtechnik GmbH、Gasera Ltd.、PIMACS CO., LTD.、Agilent Technologies, Inc.、Thermo Fisher Scientific, Inc.、Bruker Optics K.K.、PerkinElmer Japan Co. Ltd. があります。官公庁・公的機関の主要納入先には宇宙航空研究開発機構 JAXA、科学警察研究所、科学捜査研究所、東京都立産業技術研究センター、気象研究所、防災科学技術研究所 NIED、産業技術総合研究所 AIST、日本原子力研究開発機構、物質・材料研究機構、防衛省があります。大学の主要納入先には大阪大学、お茶の水女子大学、九州大学、京都大学、慶應義塾大学、東京都立大学、千葉大学、筑波大学、東京工業大学、東京大学、東北大学、名古屋大学、新潟大学、広島大学、北海道大学、横浜国立大学、早稲田大学があります。産業分野の主要納入先には宇部興産、エスエス製薬、オムロン、花王、関西ペイント、キヤノン、京セラ、資生堂、シチズン電子、シチズン時計、シャープ、ソニー、第一三共、大日本スクリーン製造、東芝、豊田合成、トヨタ自動車、東レ、ニコン、日産自動車、日東電工、日本ゼオン、日本電気、パナソニック、浜松ホトニクス、日立製作所、ブリヂストン、本田技研工業、三菱化学、三菱樹脂、三菱電機、ローム、Fujifilm、Eisai があります。
展示製品
株式会社 システムズエンジニアリングは光学測定で半導体製造を支援し、Thermo Fisher Scientific の研究グレード FTIR 技術と JEL のウェハ搬送システムを組み合わせた半導体材料評価装置 FT-IR SE-50 シリーズを製造しています。FT-IR SE-50 シリーズは N2 パージ性能と測定効率を重視し、業界最高水準の高精度測定を提供すると説明しています。ウェハ用途には EPI 膜厚、SiC 膜厚、SOI 膜厚、非拡散層膜厚の測定があります。さらにシリコン中の炭素・酸素、BPSG 膜中のホウ素・リン、シリコンナイトライド膜中の水素、SiO2 膜中のフッ素を測定します。インゴットでは FT-IR SE-50 シリーズが酸素濃度測定に対応します。半導体工場ライン向け評価では、各ウェハサイズと用途に合わせてステージシステム、オープンカセット、SMIF、FOUP、エッジグリップ装置を用意し、EPI膜厚、シリコン中の炭素・酸素濃度、BPSG中のリン・ホウ素濃度、SiN膜中の水素濃度、シリコン酸化膜中のフッ素濃度、GEM/SECS上位通信に対応します。半導体向け FT-IR ではアプリケーションサポートに加え、Nicolet ECOシリーズ、IR-EPOCHシリーズ、蛍光X線装置からの移行も支援します。インゴット酸素濃度測定、特殊自動化、光学アタッチメントのカスタムにも対応します。カスタムメイド実績には LED配光・分光測定装置、LCD光学特性測定ステージ、光熱偏光分光測定装置 PDS、光音響分光測定装置 PAS、一定光電流分光測定装置 CPM、定エネルギー分光光源装置、分光放射計、全光束測定装置、光度測定装置、配光測定装置があります。さらに太陽光スペクトル測定装置、HID電球アーク曲がり測定装置、表面プラズモン共鳴測定装置 SPR、小型ラマン分光測定装置、ファイバ-FFP測定装置、LIF微量分析装置、フェムト秒遅延光学系、制御・計測ソフトウェア、制御・信号処理装置、半導体工場向けFT-IRの実績があります。技術装置の範囲は LED・O-EL の量子効率・発光効率測定、LED光学特性測定、LCD・FPD光学検査、バックライト全光束・光学特性測定、輝度・色分布測定、自動・手動XYステージ、ステージ制御ソフト、ランプ検査、積分球式・配光式全光束測定、照度センサー、ラマン・蛍光分光、吸収スペクトル測定、赤外分光用アクセサリー、可視から赤外分光器用アクセサリー、赤外光学系・光源、FT-IR外部光学系、PMT冷却ハウジングまで含みます。世界へ出荷できる自社製品の ENG_Heated_and_SealedGG は嫌気性リチウムイオン電池電極界面の in-situ FT-IR 分析に対応し、トッププレートをグローブボックスへ持ち込み、ATR結晶上に試料を置いて結晶上部の小型チャンバー内で密封し、そのまま分光計へ戻す構成です。GoldenEyeIII-1 は FT-IR 分光計のサンプル室に装着できる高スペック積分球です。Heating_and_Cooling_Stage は加熱または加熱・冷却に対応する3種類のステージを用意し、多くの FT-IR モデルのサンプル室に適合します。SBIR_SBIR-Plus の SuperBlack IR は polyurethane resin 製の光吸収スエードフィルムで、耐摩耗性を備えています。NIEKA は ICP と XRF の試料前処理向けで、分析法に対応する全温度範囲を備えます。SE50A-ECO 300SFE は Thermo Fisher Scientific の FT-IR 測定技術と JEL の edge-grip ウェハ搬送システム、SE50A_ECO 200DS は JEL ウェハ搬送、SE50A_ECO 200SMIF は JEL Sorter System、SE50S-ECO-02S-1 は single-wafer handling system を組み合わせています。OCT System は非破壊・非接触の断層イメージングを行い、赤外光を使うため放射線影響がなく、高解像度2D・3D断層画像、高速レーザースキャンによるリアルタイム2D表示、数秒以内の3D画像取得に対応します。SE50A-ECO 200DSMIF は8インチウェハ、Double SMIF、真空吸着式ロボット搬送、OHT/AGV、直感的なグラフィカルユーザーインターフェースに対応します。SE50A-ECO 200SS は4-8インチウェハ、シングルカセット、真空吸着式ロボット搬送、直感的なグラフィカルユーザーインターフェース、省スペース構成に対応します。SE50A-ECO 300SF は8-12インチウェハ測定、シングルFOUP、真空吸着式ロボット搬送、OHT/AGV、直感的なソフトウェア制御に対応し、SEMI-S2 と CE marking が示された安全規格適合モデルです。SE50-OIP は φ200mm/300mm インゴットと最大3000mmの長さに対応し、自動多点測定と直感的なグラフィカルユーザーインターフェースを備えます。SE50S-ECO はステージ型で、2-8インチまたは6-12インチウェハ、自動多点ウェハ測定、直感的なグラフィカルユーザーインターフェースに対応します。
対応領域・製品
- 半導体材料FT-IR特性評価装置
- EPI／SiC／SOI膜厚測定
- シリコン中の炭素・酸素測定
- BPSG膜中のホウ素・リン測定
- SiN膜中の水素測定
- SiO2膜中のフッ素測定
- インゴット酸素濃度測定
- 積分球光学測定
- IR／UV／VIS分光測定
- LED配光・分光測定装置のカスタム製作
- LCD光学特性測定ステージのカスタム製作
- OCT 2D／3D断層イメージングシステム
- 嫌気性リチウムイオン電池界面のin-situ FT-IR分析
- FT-IR加熱／冷却ステージ
- ICP／XRF試料前処理装置