基本情報
| ブース | S7541 |
| 国 | JP |
| 製品カテゴリ | Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer · Spectrometers; Fourier Transform Infrared (FTIR); Attenuated Total Reflectance FTIR (ATR-FTIR); Auge · Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation · X-ray; XRF; 3-D X-Ray; LEXES Systems · Ingots |
| ウェブサイト | www.systems-eng.co.jp/products/semi_ftir_products.html |
会社概要
光学計測で半導体業界を支援します。Systems Engineering は、Thermo Fisher Scientific の研究グレード FTIR と JEL の自動搬送システムを搭載した新世代の「FT-IR SE 50 series」半導体材料評価装置を製造しています。「FT-IR SE-50 series」は N2 によるパージ性能と測定効率を重視し、業界最高水準の高精度測定を実現します。「SE-50 series」にはお客様のニーズに合わせた多彩なアプリケーションがあります。【Wafer measurement】・EPI Thickness ・SiC Thickness ・SOI Thickness ・Carbon & Oxygen in Silicon ・Boron & Phosphorus in BPSG Films ・Hydrogen in Silicon Nitride Films ・Fluorine in SiO2 Films ・Thickness of non-diffusion layer film 【Ingot measurement】・Oxygen concentration。Systems Engineering は当社ブース(No.S7541)にて SE-50 series の特長をご紹介します。ぜひこの機会にお立ち寄りください！
対応領域・製品
- BPSG 膜中のホウ素およびリン測定
- EPI 厚さウェハ測定
- FT-IR SE 50 series 半導体材料キャラクタリゼーションツール
- SOI 厚さウェハ測定
- SiC 厚さウェハ測定
- SiO2 膜中のフッ素測定
- インゴット酸素濃度測定
- シリコン中の炭素および酸素のウェハ測定
- 窒化シリコン膜中の水素測定
- 非拡散層膜厚測定