기본 정보
| 부스 | K2045 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.syo-tech.com.tw |
회사 소개
SYO Technology Co., LTD.는 영상 개발 및 광학 측정 기술 관련 장비를 제조하며 표준화 장비와 고객 요구에 맞춘 맞춤형 솔루션을 함께 제공합니다. SYO Technology Co., LTD.는 대만 타오위안시 룽탄구에 위치한 대만 장비 제조업체입니다. SYO Technology Co., LTD.는 2007년에 설립되었고 자체 전담 R&D 팀과 공장을 보유하며 설계부터 생산 및 제조까지의 공정을 포괄합니다. 제조 경험과 R&D 역량은 표준 장비와 맞춤화를 모두 뒷받침하여 공통된 광학 기술 기반을 표준 형태 또는 고객별 조정 형태로 제공합니다. SYO Technology Co., LTD.는 영상 및 광학 측정 기술에 집중하며 반도체와 관련 정밀 제조 응용 분야를 위한 광학 검사 및 측정 장비 제조업체로 자리매김합니다. 반도체 제품 범주에는 Loader, EFEM, Sorter, Frame Loader 시스템이 포함되며 PCB, 광전자 산업, 기타 맞춤형 솔루션을 위한 제품 영역도 제시됩니다. 자체 R&D, 공장 제조, 표준 장비, 맞춤화를 결합하여 설계, 생산, 응용 분야별 조정을 하나의 장비 사업 범위 안에 포함합니다.
전시 제품
KINO Wafer Loader는 투명 및 반투명 재료를 포함한 1세대, 2세대, 3세대 반도체 소재를 지원합니다. KINO Wafer Loader는 자동 측정, 자동 촬영, 이미지 스티칭 기능을 제공하고 KLA File 또는 기타 Wafer Map과 연동할 수 있으며 25 Slot, 13 Slot, 12 Slot 카세트를 지원합니다. 같은 KINO Wafer Loader의 웨이퍼 두께 범위는 160um~1000um로 제시됩니다. KINO-3000은 거시 검사와 미시 검사에 사용되며 대면적 고휘도 검사 지그를 적용하고 OCR을 사용하는 Wafer ID 리더와 연동할 수 있습니다. KINO-3200은 분류 기능과 EFEM 기능을 결합하고 KINO-2200은 SMIF Port, Versar Port, SMIF Pod를 제시합니다. KINO Series에는 Vertical Sorter도 포함되며 수직형 설계와 수직 분류로 공간을 절약하고 Notch／Flat 웨이퍼 방향 정렬에 대응하며 자체 개발 고정밀 웨이퍼 픽앤플레이스 구조와 Wafer ID 판독 기능을 갖춥니다. 프레임 웨이퍼 검사 분야에서는 KINO Series에 12 Inch Frame Wafer Inspection with Macro가 있으며 KLA File 또는 기타 Wafer Map과 연동할 수 있습니다. 이 12 Inch Frame Wafer Inspection 시스템은 선택 검사 모드와 순차 검사 모드를 지원하고 대면적 고휘도 검사 지그를 이용한 거시 검사를 제공합니다. 명시된 반도체 제품 범위를 종합하면 SYO Technology Co., LTD.는 Loader, EFEM, Sorter, Frame Loader 장비와 함께 광학 검사, 자동 측정, 이미징, Wafer Map 호환, Wafer ID 기능을 공급합니다.
역량 및 제품
- 이미징·광학 계측 장비 제조
- 맞춤형 광학 계측 장비
- 1/2/3세대 투명·반투명 소재용 Wafer Loader
- 웨이퍼 자동 측정·촬영·이미지 스티칭
- KLA File/Wafer Map 호환
- Wafer Loader 25/13/12 Slot 카세트 지원
- 160um~1000um 웨이퍼 두께용 Wafer Loader
- KINO-3000 매크로/마이크로 웨이퍼 검사
- Wafer ID OCR 판독
- KINO-3200 Sorter/EFEM
- KINO-2200 SMIF Port/Versar Port/SMIF Pod
- KINO Vertical Sorter
- Notch/Flat 웨이퍼 방향 정렬
- 고정밀 웨이퍼 픽앤플레이스
- 12 Inch Frame Wafer 매크로 검사
- Frame Wafer 선택/순차 검사 모드