基本情報
| ブース | K2045 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.syo-tech.com.tw |
会社概要
SYO Technology Co., LTD. は、画像開発および光学計測技術に関連する装置を製造し、標準化装置と顧客要件に合わせたカスタムソリューションの両方を提供しています。SYO Technology Co., LTD. は台湾・桃園市龍潭区に所在する台湾の装置メーカーです。SYO Technology Co., LTD. は 2007 年に設立され、自社の専任 R&D チームと工場を持ち、設計から生産・製造までの工程をカバーしています。製造経験と R&D 能力によって標準装置とカスタマイズの双方を支え、共通する光学技術基盤を標準形または個別調整した形で提供します。SYO Technology Co., LTD. は画像および光学計測技術に注力し、半導体と関連する精密製造用途に対応する光学検査・計測装置メーカーとして位置づけられています。半導体向け製品カテゴリーには Loader、EFEM、Sorter、Frame Loader システムがあり、PCB、オプトエレクトロニクス、その他のカスタムソリューション向け製品分野も掲げています。自社 R&D、工場での製造、標準装置、カスタマイズを組み合わせ、設計、生産、用途別の調整を同一の装置事業に含めています。
展示製品
KINO Wafer Loader は、透明・半透明材料を含む第1、第2、第3世代の半導体材料に対応します。KINO Wafer Loader は自動計測、自動撮影、画像結合機能を備え、KLA File またはその他の Wafer Map と組み合わせることができ、25 Slot、13 Slot、12 Slot カセットをサポートします。同じ KINO Wafer Loader のウェハ厚として 160um~1000um が記載されています。KINO-3000 はマクロ検査とミクロ検査に使用され、大面積・高輝度の検査治具を採用し、OCR を用いる Wafer ID リーダーと組み合わせることができます。KINO-3200 はソーター機能と EFEM 機能を組み合わせ、KINO-2200 は SMIF Port、Versar Port、SMIF Pod を掲げています。KINO Series には Vertical Sorter もあり、縦型設計と縦方向のソーティングで省スペース化し、Notch／Flat ウェハの方向合わせに対応し、自社開発の高精度ウェハピックアンドプレース機構と Wafer ID 読み取りを備えます。フレームウェハ検査では、KINO Series に 12 Inch Frame Wafer Inspection with Macro があり、KLA File またはその他の Wafer Map に対応します。この 12 Inch Frame Wafer Inspection システムは、選択検査モードと順次検査モードに対応し、大面積・高輝度の検査治具を用いたマクロ検査を行います。半導体向けの記載範囲を総合すると、SYO Technology Co., LTD. は Loader、EFEM、Sorter、Frame Loader 装置に加え、光学検査、自動計測、撮像、Wafer Map 対応、Wafer ID 機能を提供します。
対応領域・製品
- 画像・光学計測装置製造
- カスタム光学計測装置
- 第1／2／3世代透明・半透明材料対応 Wafer Loader
- ウェーハ自動計測・撮影・画像結合
- KLA File／Wafer Map 対応
- Wafer Loader の 25／13／12 Slot カセット対応
- 160um~1000um ウェーハ厚対応 Wafer Loader
- KINO-3000 マクロ／ミクロウェーハ検査
- Wafer ID OCR 読み取り
- KINO-3200 Sorter／EFEM
- KINO-2200 SMIF Port／Versar Port／SMIF Pod
- KINO Vertical Sorter
- Notch／Flat ウェーハ方向合わせ
- 高精度ウェーハピックアンドプレース
- 12 Inch Frame Wafer マクロ検査
- Frame Wafer 選択／順次検査モード