基本資料
| 攤位 | K2045 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.syo-tech.com.tw |
公司簡介
晟耀光電科技股份有限公司製造與影像發展及光學量測技術相關的設備，並同時提供標準化設備與依客戶要求客製的方案。晟耀光電科技股份有限公司是位於台灣桃園市龍潭區的台灣設備製造商。晟耀光電科技股份有限公司成立於 2007 年，擁有自有的專責研發團隊與工廠，流程涵蓋從設計到生產製造。公司的製造經驗與研發能力支援標準設備與客製化，使客戶能在共同的光學技術基礎上選擇標準形式或量身調整的形式。晟耀光電科技股份有限公司聚焦影像與光學量測技術，並定位為服務半導體及相關精密製造應用的光學檢測與量測設備製造商。公司的半導體產品類別包括 Loader、EFEM、Sorter 與 Frame Loader 系統，另有 PCB、光電產業與其他客製化方案等產品領域。自有研發、工廠製造、標準設備與客製化的組合，使設計、生產與應用別調整都落在同一個設備業務範圍內。
展出產品
KINO Wafer Loader 支援第 1、2、3 代半導體材料，包括透明與半透明材質。KINO Wafer Loader 提供自動量測、自動拍照與拼圖功能，可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map，並支援 25 Slot、13 Slot 與 12 Slot 卡匣。同一套 KINO Wafer Loader 所列的晶圓厚度範圍為 160um~1000um。KINO-3000 用於巨（宏）觀與微觀檢查，採用大面積高亮度檢驗治具，並可搭配使用 OCR 的 Wafer ID 讀取器。KINO-3200 結合分揀與 EFEM 功能，KINO-2200 則列出 SMIF Port、Versar Port 與 SMIF Pod。KINO Series 也包括 Vertical Sorter，採直立式設計並以直立分揀節省空間，可對應 Notch／Flat 晶圓定向，採用自主開發的高精度取放晶圓架構，並具備 Wafer ID 讀取。Frame Wafer 檢查方面，KINO Series 包括 12 Inch Frame Wafer Inspection with Macro，可搭配 KLA File 或其他 Wafer Map。這套 12 Inch Frame Wafer Inspection 系統可採用挑選檢查模式與順序檢查模式，並使用大面積高亮度檢驗治具進行巨（宏）觀檢查。綜合列出的半導體產品，晟耀光電科技股份有限公司供應 Loader、EFEM、Sorter 與 Frame Loader 設備，並結合光學檢測、自動量測、影像、Wafer Map 相容與 Wafer ID 功能。
能力與產品項目
- 影像與光學量測設備製造
- 客製化光學量測設備
- 第 1／2／3 代透明半透明材料 Wafer Loader
- 晶圓自動量測拍照拼圖
- KLA File／Wafer Map 相容
- Wafer Loader 支援 25／13／12 Slot 卡匣
- 160um~1000um 晶圓厚度 Wafer Loader
- KINO-3000 巨觀微觀晶圓檢查
- Wafer ID OCR 讀取
- KINO-3200 Sorter／EFEM
- KINO-2200 SMIF Port／Versar Port／SMIF Pod
- KINO Vertical Sorter
- Notch／Flat 晶圓定向
- 高精度晶圓取放
- 12 Inch Frame Wafer Macro 檢查
- Frame Wafer 挑選／順序檢查模式