기본 정보
| 부스 | S7133 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.supermag.com |
회사 소개
SUPERMAG (Suzhou Supermag Intelligent Technology Co., Ltd.)는 첨단 자기부상 기술을 기반으로 고급 자기부상 베어링리스 장비를 제공합니다. SUPERMAG는 고순도·저전단력 자기부상 베어링리스 모터, 자기부상 유체 이송 시스템, 자기부상 교반 시스템 및 자기부상 터보분자 펌프를 제공하여 반도체, 바이오프로세싱, 화학, 에너지 및 초고진공 분야의 산업 솔루션을 제안합니다. SUPERMAG의 고급 자기부상 장비는 반도체 산업의 첨단 칩 제조 표준이 요구하는 매우 높은 공정 요건을 충족합니다. 저전단력의 SUPERMAG 자기부상 장비는 가장 민감한 바이오의약품을 취급할 수 있으며, 바이오프로세싱 산업의 유체 이송 및 혼합 공정에서 세포 손상을 크게 줄일 수 있습니다. SUPERMAG는 또한 상당한 에너지 절감 효과와 매우 높은 신뢰성을 갖춘 에너지 장비를 제공합니다. 화학 산업에서는 동적 씰로 인해 발생하는 누출 위험도 완전히 방지할 수 있습니다. SUPERMAG는 완전한 인증 품질 시스템을 갖추고 있습니다. 회사는 ISO'9001 품질경영시스템 인증을, 제품은 CE, SEMI S2 인증을 비롯한 기타 국제 인증을 보유하고 있습니다. SUPERMAG는 수십억 달러 규모의 여러 고객사 공급망에 진입해 있으며, 고객에게 항상 적시에 효과적인 애프터서비스와 기술 지원을 제공합니다. SUPERMAG는 핵심 자기부상 기술에 대한 완전한 독자 지식재산권을 보유하고 있으며, 총 105건의 특허를 보유하고 있으며, 이 중 PCT 8건과 발명 특허 49건이 포함됩니다. SUPERMAG의 핵심 연구개발 과학기술 전문가 팀은 미국, 독일, 일본 등 해외에서 우수한 학술 연구 경험을 보유하고 있으며, 뛰어난 성과 중 하나는 Maglev LVAD(세계에 단 둘뿐인 사례 중 하나)입니다. 앞으로 SUPERMAG는 계속해서 자기부상 기술에 집중하여 고객에게 청정하고 신뢰할 수 있는 제품과 솔루션을 제공할 것입니다.
전시 제품
Suzhou Supermag Intelligent Technology Co.,Ltd. Supermag®는 초청정 자기부상 회전 스테이지 모터, 펌프 시스템 및 터보분자펌프를 제공하여 첨단 칩 공정에 고품질 자기부상 첨단 장비와 기술 지원을 제공합니다. 코팅·현상 공정에서 Supermag® 자기부상 웨이퍼 회전 스테이지는 포토레지스트 스핀 코팅에 안정적인 속도와 가속도를 제공해 코팅 공정을 더욱 정밀하게 합니다. Supermag® 자기부상 터보분자펌프는 무급유·무마찰 방식으로 초청정 고진공 환경을 제공하며, 환경 내 물질이 반응에 미치는 영향을 최소화하여 반응을 더 잘 제어하고 식각 품질을 향상합니다. CMP Slurry 이송 시 기존 펌프의 높은 전단력은 입자 생성을 유발해 스크래치를 일으킵니다. Supermag® 자기부상 펌프는 웨이퍼 연삭·연마에 안정적으로 슬러리를 공급하며 전단력이 낮고 결정화 방지 효과가 뚜렷합니다.
역량 및 제품
- 자기부상 베어링리스 모터
- 자기부상 유체 이송 시스템
- 자기부상 교반 시스템
- 오일프리·무마찰 자기부상 터보분자 펌프
- 포토레지스트 스핀 코팅용 자기부상 웨이퍼 회전 스테이지
- 저전단 CMP Slurry 자기부상 이송