기본 정보
| 부스 | S7133 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.supermag.com |
회사 소개
Suzhou Supermag Intelligent Technology Co.,Ltd.는 첨단 자기부상 기술을 기반으로 고급 자기부상 베어링리스 장비를 개발하고 반도체, 바이오프로세싱, 화학, 에너지, 초고진공 응용 분야에 고청정 저전단 솔루션을 제공합니다. 핵심 제품군에는 자기부상 베어링리스 모터, 자기부상 유체 이송 시스템, 자기부상 교반 시스템, 자기부상 웨이퍼 회전 시스템, 자기부상 펌프, 자기부상 터보분자 펌프가 포함됩니다. 반도체 분야에는 고청정 웨이퍼 회전 시스템, 펌프 시스템, 터보분자 펌프와 기술 지원을 제공합니다. 바이오프로세싱 분야에는 일회용 및 재사용 자기부상 펌프, 교반 시스템, 유량 센서를 제공해 세포 기반 백신, 바이오의약품, 유전자 치료제 등 전단 민감 유체를 처리합니다. 화학 분야에서는 고온 및 부식성 유체의 혼합과 교반을 지원하면서 장비 오염 위험을 줄입니다. 에너지 분야에서는 풍력 터빈과 기타 터빈용 고효율 자기부상 로터와 베어링 솔루션을 제공합니다. 회사는 20년의 기술 축적, 50명 이상의 연구개발 인력, 2개의 주요 생산 및 사무 거점을 제시합니다. 기술 역량은 응용별 로터·스테이터 구조, 특수 변위 센서 설계, 독자 제어 시스템, 원격 튜닝과 기술 지원을 포함합니다. 품질 체계에는 회사의 ISO'9001 품질경영시스템 인증과 제품의 CE, SEMI S2 및 기타 국제 인증이 포함됩니다. 여러 수십억 달러 규모 고객의 공급망에 진입했으며 애프터서비스와 기술 지원을 제공합니다. 핵심 자기부상 기술에 대한 완전한 독립 지식재산권과 105건의 특허를 보유하며 8건의 PCT와 49건의 발명 특허가 포함됩니다. 연구개발 전문가 팀은 미국, 독일, 일본에서 해외 학술 연구 경험을 갖고 있으며 Maglev LVAD는 중요한 이정표 중 하나로, 세계에서 단 두 개 중 하나로 설명됩니다. 제품 선정, 맞춤화, 서비스, 지원, 원격 기술 지원도 제공합니다. 또한 자기부상 장비는 고순도와 저전단 특성을 중시하며 바이오프로세싱 유체 이송과 혼합에서 민감한 바이오의약품의 세포 손상을 줄이는 데 사용됩니다. 화학 응용에서는 동적 씰에서 발생하는 누설 위험을 피할 수 있고 에너지 응용에서는 에너지 절감과 높은 신뢰성을 강조합니다.
전시 제품
반도체 솔루션은 코팅 및 현상, Rapid Thermal Processing, 습식 식각, 건식 식각, 이온 주입, 박막 증착, 싱글 웨이퍼 습식 세정, 전기도금, Chemical Mechanical Planarization을 포함합니다. 코팅 및 현상 공정에서 Supermag® SCM Maglev Wafer Rotation System은 포토레지스트 스핀 코팅에 안정적인 속도와 가속도를 제공하고 SCP Maglev Pump System은 포토레지스트, 현상액, 기타 화학액을 이송합니다. RTP에서는 SCM이 진공 챔버 밀봉 문제를 해결하고 마찰 입자를 만들지 않아 공정 수율을 지원합니다. 습식 식각에서는 SCP가 안정적인 식각액 유량을 제공해 공정 제어성과 균일성을 높입니다. 건식 식각에서는 SCT Maglev Turbomolecular Pump가 오일과 기계적 마찰 없이 초청정 고진공 환경을 제공해 오염물이 반응에 미치는 영향을 줄입니다. 이온 주입에서는 우수한 밀봉, 고진공, 고청정, 빠른 배기 속도로 생산 순도와 안정성을 지원합니다. 박막 증착에서는 기존 기계 베어링의 오일과 가스 오염을 피하고 기계적 마찰 없는 고진공 환경으로 더 매끄러운 박막 표면과 품질 및 성능 향상을 지원합니다. 싱글 웨이퍼 세정에서 SCM은 챔버 동적 밀봉을 없애고 중공 로터로 배치를 쉽게 하며 SCP는 초청정 세정액을 안정적인 유량으로 공급합니다. 전기도금에서는 SCP가 안정적인 전해액 유량을 제공해 도금 균일성을 지원합니다. CMP slurry 이송에서는 SCP가 저전단으로 안정적인 연마 슬러리를 공급하고 결정화 방지 효과를 제공해 고전단 기존 펌프에서 생길 수 있는 입자와 스크래치 위험에 대응합니다. SCM은 자기 베어링과 모터 통합 제어 기술로 웨이퍼를 지지하고 회전시키며 로터가 비접촉으로 부상해 기계 마찰, 동적 씰, 마찰 입자를 만들지 않습니다. 적용 공정은 산화, 확산 및 어닐링, RTP, RTA, RTO, RTN, ALD, CVD(DPN), 싱글 웨이퍼 세정, MOCVD, 식각, 스핀 코팅입니다. SCM 제어 소프트웨어는 원격 튜닝과 PLC 및 PC 상위 시스템 통신을 지원하고 정밀 가변 속도 제어, 회전 영점 복귀, 높이 조정을 제공합니다. SCM 300C/300D는 6/8/12인치 웨이퍼, 20-2500 RPM 속도 범위, 350W/2000W 정격 출력을 지원합니다. SCP Maglev Pump System은 고순도 용액과 특수 매체 이송용으로 로터가 액체 속에서 부상해 기계 마찰과 입자 생성을 없애고 저전단과 저용출 특성을 제공합니다. 넓은 유량 및 양정 범위, 낮은 맥동, 지능형 제어, 소형 구조, 실시간 속도 조정, 정역 회전, 동적 씰이 필요 없는 구성을 제공합니다. SCP 30은 최대 15000 rpm, 1 bar, 7.7 L/min, SCP 200은 최대 10000 rpm, 2.6 bar, 21 L/min, SCP 600은 최대 9000 rpm, 3.2 bar, 75 L/min입니다. SCP 2000은 최대 10000 rpm, 4.2 bar, 140 L/min, SCP 4000은 최대 8000 rpm, 6.3 bar, 280 L/min입니다. SCT Maglev Turbomolecular Pump는 자기 베어링으로 로터를 완전히 비접촉 부상시켜 기계 마찰과 윤활유를 없애고 고청정, 고신뢰성, 저진동 초고진공 운전을 제공합니다. 응용 분야는 웨이퍼 가공, 식각, 박막 증착, 이온 주입, 연구, 태양광을 포함합니다. SCT 플랫폼은 10^-7 Pa에서 10^-8 Pa의 도달 진공 범위, 고속 로터, 컨트롤러와 펌프의 분리형 또는 일체형 구성, 지능형 제어 소프트웨어, 원격 튜닝, 운전 데이터 모니터링을 지원합니다. SCT 550은 베이킹 후 도달 압력 10^-7 Pa에서 10^-8 Pa, 정격 속도 45000 rpm, 배기 속도 N2: 320 L/s, He: 340 L/s, H2: 320 L/s입니다. SCT 900은 베이킹 후 도달 압력 2*10^-7 Pa, 정격 속도 26000 rpm, 배기 속도 N2: 2200 L/s, He: 2000 L/s, H2: 1800 L/s입니다. 전체 제품군은 고청정 회전 운동, 저전단 유체 이송, 자기부상 교반, 무오일 무마찰 고진공 배기를 결합해 반도체와 기타 고난도 공정 환경에 대응합니다. 반도체용 SCP 펌프는 고순도, 저용출, 내식성을 중시하며 액체 속에서 부상하는 로터로 유체 청정성을 유지합니다. SCT 펌프는 윤활유와 그리스가 필요 없고 베어링 마찰 손실을 줄이며 저소음, 저진동, 긴 수명, 낮은 유지보수 부담을 목표로 한 구성을 제공합니다.
역량 및 제품
- 자기부상 베어링리스 모터
- 자기부상 유체 이송 시스템
- 자기부상 교반 시스템
- 자기부상 터보분자 펌프
- 반도체 장비용 자기부상 웨이퍼 회전 시스템
- 고순도 포토레지스트·약액 자기부상 이송
- 저전단 CMP 슬러리 자기부상 이송
- 무오일·무마찰 초고진공 배기