基本情報
| ブース | S7133 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.supermag.com |
会社概要
Suzhou Supermag Intelligent Technology Co.,Ltd. は先進的な磁気浮上技術を基盤にハイエンドの磁気浮上ベアリングレス装置を開発し、半導体、バイオプロセス、化学、エネルギー、超高真空用途へ高清浄・低せん断ソリューションを提供しています。主要製品には磁気浮上ベアリングレスモーター、磁気浮上流体輸送システム、磁気浮上攪拌システム、磁気浮上ウェハ回転システム、磁気浮上ポンプ、磁気浮上ターボ分子ポンプがあります。半導体向けには高清浄なウェハ回転システム、ポンプ、ターボ分子ポンプと技術支援を提供します。バイオプロセス向けには単回使用および再使用可能な磁気浮上ポンプ、攪拌システム、流量センサーを提供し、細胞ベースワクチン、生物製剤、遺伝子治療などのせん断感受性流体を扱います。化学分野では高温・腐食性流体の混合と攪拌に対応し、設備汚染リスクの低減を図ります。エネルギー分野では風力発電機などのタービン向けに高効率な磁気浮上ローター・ベアリングを提供します。20 年の技術蓄積、50 名超の研究開発人員、2 つの主要生産・オフィス拠点を掲げ、用途別のローター・ステーター構造、特殊変位センサー、独自制御システム、遠隔調整・技術支援を備えます。品質面では会社の ISO'9001 品質マネジメントシステム認証と製品の CE、SEMI S2 などを掲げています。複数の数十億ドル規模顧客のサプライチェーンに参入し、アフターサービスと技術支援を提供します。中核磁気浮上技術について 105 件の特許を保有し、8 件の PCT と 49 件の発明特許を含みます。研究開発専門家チームは米国、ドイツ、日本での海外学術研究経験を持ち、Maglev LVAD は重要なマイルストーンの一つで、世界に二つしかないものの一つとされています。製品選定、カスタマイズ、サービス、サポート、遠隔技術支援も提供します。また、磁気浮上装置は高純度と低せん断を重視し、バイオプロセスの流体輸送・混合では敏感な生物製剤の細胞損傷低減を狙います。化学用途では動的シールに起因する漏えいリスクを回避でき、エネルギー用途では省エネルギーと高信頼性を重視します。
展示製品
半導体向けソリューションは、塗布・現像、Rapid Thermal Processing、ウェットエッチング、ドライエッチング、イオン注入、薄膜堆積、枚葉ウェハ洗浄、電気めっき、Chemical Mechanical Planarization をカバーします。塗布・現像では Supermag® SCM Maglev Wafer Rotation System がフォトレジストのスピンコートに安定した速度と加速度を与え、SCP Maglev Pump System はフォトレジスト、現像液、その他薬液を輸送します。RTP では SCM が真空チャンバーのシール課題に対応し、摩擦粒子を発生させません。ウェットエッチングでは SCP が安定したエッチング液流量を供給し、制御性と均一性を高めます。ドライエッチングでは SCT Maglev Turbomolecular Pump が無油・無摩擦で超清浄高真空環境を作り、反応への汚染物影響を抑えます。イオン注入では高真空、高清浄、良好なシール、高速排気により工程の清浄度と安定性を支えます。薄膜堆積では従来の機械軸受に伴う油・ガス汚染を避け、無摩擦の高真空環境によってより滑らかな膜表面と品質・性能の向上を支援します。枚葉洗浄では SCM がチャンバーの動的シールを不要にし、中空ローターでレイアウトを容易にします。SCP は超清浄な洗浄液を安定流量で供給します。電気めっきでは SCP が安定した電解液流量を供給し、めっき均一性を支えます。CMP slurry 輸送では SCP が低せん断で安定した研磨スラリーを送り、耐結晶化効果によって高せん断ポンプで起こり得る粒子・スクラッチリスクに対応します。SCM は磁気軸受とモーターの統合制御技術でウェハを支持・回転し、ローターは非接触で浮上するため機械摩擦、動的シール、摩擦粒子を必要としません。用途は酸化、拡散・アニール、RTP、RTA、RTO、RTN、ALD、CVD(DPN)、枚葉洗浄、MOCVD、エッチング、スピンコートです。SCM の制御ソフトウェアは遠隔調整と PLC・PC 上位システム通信に対応し、精密な可変速度制御、回転ゼロ点復帰、高さ調整を備えます。SCM 300C/300D は 6/8/12 インチウェハに対応し、速度範囲 20-2500 RPM、定格出力 350W/2000W です。SCP Maglev Pump System は高純度溶液や特殊媒体の輸送向けで、ローターが液中に浮上するため機械摩擦と粒子発生がなく、低せん断・低溶出です。広い流量・揚程範囲、低脈動、インテリジェント制御、小型構造、リアルタイム速度調整、正逆転、動的シール不要の構造を備えます。SCP 30 は最大 15000 rpm、1 bar、7.7 L/min、SCP 200 は最大 10000 rpm、2.6 bar、21 L/min、SCP 600 は最大 9000 rpm、3.2 bar、75 L/min です。SCP 2000 は最大 10000 rpm、4.2 bar、140 L/min、SCP 4000 は最大 8000 rpm、6.3 bar、280 L/min です。SCT Maglev Turbomolecular Pump は磁気軸受でローターを完全非接触浮上させ、機械摩擦と潤滑油をなくして高清浄・高信頼・低振動の超高真空運転を実現します。用途にはウェハ加工、エッチング、薄膜堆積、イオン注入、研究、太陽光発電があります。SCT は 10-7 Pa から 10-8 Pa の到達真空域、高速ローター、コントローラとポンプの分離・一体構成、遠隔調整、運転データ監視を備えます。SCT 550 はベーキング後到達圧力 10-7 Pa から 10-8 Pa、定格 45000 rpm、排気速度 N2: 320 L/s、He: 340 L/s、H2: 320 L/s です。SCT 900 はベーキング後到達圧力 2*10-7 Pa、定格 26000 rpm、排気速度 N2: 2200 L/s、He: 2000 L/s、H2: 1800 L/s です。製品群全体で高清浄回転、低せん断流体輸送、磁気浮上攪拌、無油・無摩擦高真空排気を組み合わせ、半導体などの厳しいプロセス環境に対応します。半導体向け SCP ポンプは高純度・低溶出・耐腐食と安定した高純度流体輸送と低脈動運転を重視し、液中で浮上するローターによって流体の清浄性を維持します。SCT ポンプは潤滑油やグリースを必要とせず、軸受摩擦損失を減らし、低騒音・低振動、長寿命、低保守負担を目標とした構成です。
対応領域・製品
- 磁気浮上ベアリングレスモーター
- 磁気浮上流体搬送システム
- 磁気浮上撹拌システム
- 磁気浮上ターボ分子ポンプ
- 半導体装置向け磁気浮上ウェーハ回転システム
- 高純度フォトレジスト・薬液の磁気浮上搬送
- 低せん断 CMP スラリー磁気浮上搬送
- 無油・無摩擦の超高真空排気