기본 정보
| 부스 | S8144 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.jingtuo-tech.com |
회사 소개
Suzhou Jingtou Semiconductor Technology Co., Ltd.는 쑤저우 공업원구 양청호 인근에 위치하며 반도체 오존 장비의 연구개발, 제조, 판매 및 서비스를 통합하는 하이테크 기업입니다. 회사는 고순도·고농도 오존 기술에 13년 동안 집중해 왔으며 산업 고객을 위한 고농도 오존 시스템 솔루션을 개발한다고 설명합니다. 자체 인프라로 Class 1000 및 Class 100 클린룸과 테스트 플랫폼을 보유하여 오존 장비와 시스템의 연구개발, 제조 및 검증을 지원합니다. 제품에는 ISO9001, ISO14001, ISO45001 경영시스템 인증과 함께 SEMI-S2, S6, S23, F47, Hazop, ETL, CE 인증이 기재되어 있습니다. Suzhou Jingtou Semiconductor Technology Co., Ltd.는 60건이 넘는 특허 허가를 누적 취득했으며 FAB 고객 인증을 통과한 중국 내 최초의 국산 오존 장비 공급업체라고 밝히고, 핵심 기술 병목에 대응하는 국가급 연구개발 프로젝트도 수행한다고 설명합니다. 회사는 구쑤 선도기업, 전정특신 등의 영예를 제시하며 자체 개발 제품이 중국 내 공백을 메우고 수입품을 대체했다고 밝힙니다. 제품은 FAB 환경에서 5년 넘게 안정적인 대량 생산 실적을 보유하고 있으며 전 세계 수천 개 생산 라인에 공급되었고 미국, 일본, 싱가포르, 대만, 태국, 인도, 독일 등 30개 이상의 국가와 지역으로 수출됩니다. 또한 반도체, LED 및 평판 디스플레이 분야의 오존 시스템 솔루션을 연구개발 중점으로 설명하며, 반도체급 고순도 오존 가스와 오존수 시스템이 수입 브랜드를 대체했다고 밝힙니다.
전시 제품
제품군에는 고순도·고농도 판형 오존 발생기, 고농도 오존 파괴기, 반도체 산업용 ODS, ODS For Micro LED, 반도체 공정용 고농도 오존수 장비가 포함됩니다. 반도체 ODS는 중국산 고농도·대유량·무질소 첨가 오존 시스템으로 설명되며 TEOS-O3 Process CVD와 High-K 유전체 증착용 ALD가 응용 분야로 기재됩니다. 고농도 오존 파괴기는 CVD, ALD, MOCVD, Ashers 및 Wet tools에 사용되며, 고순도·고농도 판형 오존 발생기는 반도체 공정을 위해 설계된 장비로 제시됩니다. 고농도 오존수 시스템은 Multi Chamber DIO3 supply를 제공하고 용존 오존수 농도 5-100ppm을 지원합니다. 같은 플랫폼은 유량이 달라져도 오존 농도와 운전 압력을 일정하게 유지하고 Dissolved O3 water monitor를 통합한다고 명시되어 있습니다. 반도체 청정도와 공정 제어를 위해 Ultra clean for Semiconductor process로 설명되며 Close loop DIO3 concentration controlling system을 갖춥니다. 가스-액체 분리 유닛을 통합해 기포가 없는 오존수를 제공하고 High efficiency ozone contactor도 포함합니다. 고농도 오존수 장비는 SEMI-S2와 CE 인증이 기재되어 있으며 Cleaning, surface conditioning, Etching에 적용됩니다. 반도체 공정 외에도 오존 발생기는 식품, 의약품, 화장품 등 건강 관련 제품 생산, 과일·채소 보존, 축산, 양식, 농업 생산 및 폐수 처리에 사용된다고 설명합니다. 전체 공급 범위는 반도체 오존 장비 연구개발과 제조, 고순도·고농도 오존 시스템, 인증된 오존 장비 및 폐수 처리를 포함하는 오존 발생기 응용을 명확히 포괄합니다.
역량 및 제품
- 반도체 오존 장비 개발 및 제조
- 반도체용 고농도 오존수 시스템
- 초고순도 고농도 판형 오존 발생기
- 고농도 오존 분해기
- 반도체용 고농도 ODS 오존 시스템
- Micro LED용 ODS