기본 정보
| 부스 | K2584 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.surfxtechnologies.com |
회사 소개
재료 표면 처리 분야의 세계적 선도기업입니다. 1999년에 설립된 Surfx Technologies는 진정한 저온, 가변 화학 조성의 대기압 플라즈마를 개발하여 시장에 출시했습니다. 당사 제품에는 가장 진보된 플라즈마 기술이 적용되어 있으며 여러 미국 특허로 보호받고 있습니다. Surfx의 사명은 반도체, 전자 조립, 항공우주 및 의료기기 산업용 재료 표면 처리 분야에서 세계적 선도기업이 되는 것입니다. 당사는 고객에 대한 전적인 헌신을 원동력으로 삼고 있습니다. 당사의 제품과 서비스를 자랑스럽게 생각합니다. 고객의 제조 요구에 맞는 최고 품질의 제품을 제공할 것을 약속드립니다.
전시 제품
AtomfloTM-INT 플라즈마 시스템은 신규 또는 기존 공정 장비에 통합할 수 있도록 구성되어 있습니다. 외부 랙 장착형 컨트롤러는 주 장비 내부에 내장된 1개 또는 2개의 플라즈마 헤드를 지원합니다. Ethernet IP를 통한 통신으로 완전한 공정 제어와 데이터 로깅이 가능합니다. INT는 모든 US, EU 및 SEMI EH&S 표준을 준수합니다. 당사의 통합 플라즈마 시스템은 고객 장비 내부에 가장 진보된 표면 처리 기술을 제공합니다. STA-10iL 자동 플라즈마 시스템은 접합 성능을 향상하기 위해 기판을 세정하고 활성화하도록 설계되었습니다. 전자 제조 및 반도체 패키징에 이상적인 플라즈마 시스템입니다. STA-10iL에는 고속 대량 생산을 위한 인라인 이송 기능이 기본으로 제공됩니다. 다품종 소량 생산을 위해 선택 사양 서랍을 설치할 수 있습니다. AtomfloTM 600 컨트롤러는 당사의 첨단 아르곤 플라즈마 기술의 핵심 제어 장치입니다. 무선 주파수 전원 공급 장치, 자동 튜닝 매칭 네트워크, 아르곤, 질소 또는 산소, 그리고 수소(5%H2/Ar)용 세 개의 질량 유량 제어기, Windows 10 운영체제가 설치된 컴퓨터, 팔 인치 터치스크린을 갖추고 있습니다. 냉각수 제어 모듈(CCM)은 작동 중 플라즈마 소스를 일정한 온도로 유지하는 폐쇄 루프 수순환 시스템입니다. 이를 통해 플라즈마 공정 성능과 신뢰성을 향상합니다. SPS-100은 폭 100 mm의 선형 빔 플라즈마 소스로, 접합 및 접착 성능 향상을 위해 기판을 세정하고 활성화하도록 설계되었습니다. AtomfloTM 600 컨트롤러와 CCM에서 RF 전원, 가스 공급, 광학 검출 및 수냉 기능을 공급받습니다. 이 헤드는 특히 반도체 공정에 적합합니다.
역량 및 제품
- 저온 가변 화학 상압 플라즈마
- 공정 장비 통합형 플라즈마 시스템
- 기판 플라즈마 세정 및 활성화
- 고속 대량 인라인 플라즈마 처리
- 폐루프 플라즈마 소스 수냉 제어
- 선형 빔 플라즈마 소스