기본 정보
| 부스 | P5300 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.superplustech.com.tw |
회사 소개
SuperPlus TECH는 2014년 12월 설립되었고 소수 인원으로 시작해 자동화 장비 설계, 제조 및 전문 조립 위탁에 집중해 왔습니다. 반도체 자동화 웨이퍼 이송 메커니즘의 설계, 개발, 응용 및 현지 생산 제조에 전념합니다. 사업 범위에는 조립 위탁, 자동화 시스템 통합, 장비 제조 및 유통 판매, 정밀 부품 제조도 포함됩니다. 주둥에 새로 구축한 3,000여 평 규모 생산기지는 2023년 3월 가동을 시작했습니다. 공장에는 클린룸 생산 구역, 연구개발 구역, 대형 자동창고 및 일체형 생산라인이 계획되어 있습니다. 이러한 시설은 고객 주문 수요와 적기 납품을 지원하고 R&D, 클린 생산, 보관 및 제조 흐름을 하나의 생산기지에 통합합니다. 전체적으로 반도체 자동화, 웨이퍼 이송 엔지니어링, 현지 제조, 장비 통합 및 생산 지원에 초점을 두며 반도체 소자 자체 제조를 중심 사업으로 삼지 않습니다.
전시 제품
SuperPlus TECH의 EFEM(Equipment Front End Module)은 반도체 Loader/Unloader로 서로 다른 웨이퍼 크기의 장비 전면 로딩 및 언로딩을 자동화합니다. EFEM은 고객 공정 장비의 요구와 제약을 충족하고 다양한 반도체 공정 장비의 자동화 수요를 지원하도록 설계됩니다. EFEM은 매우 높은 청정도, 신뢰성 및 정밀도와 함께 고속, 공간 절감, 저진동, 저소음을 강조합니다. 또한 완전 customized EFEM machine services를 제공해 개별 공정 장비 요구에 맞춘 전면 자동화를 구성할 수 있습니다. 관련 제품에는 Auto Bare Wafer Stocker- AI Series 신형 웨이퍼 저장 장치가 포함됩니다. Mini Stocker- NTB(Near Tool Buffer)도 웨이퍼 이송 장비 관련 제품입니다. LoadPort wafer-carrier platforms도 관련 제품에 포함됩니다. Optical Character Recognition은 wafer code reader(OCR)로 웨이퍼 식별 기능을 추가합니다. Argus는 wafer anti-scratch module로 이송 중 웨이퍼 보호를 보완합니다. VMS-SE는 earthquake sensing and analysis system입니다. Partice-loT는 particle Internet-of-Things 제품입니다. FOUP-form rail vibration inspection analyzer도 관련 제품입니다. EFEM과 함께 웨이퍼 저장, near-tool buffering, carrier interface, identification, scratch prevention, seismic sensing, particle monitoring, vibration inspection을 반도체 웨이퍼 이송 자동화의 주변 기능으로 포괄합니다.
역량 및 제품
- 반도체 자동 웨이퍼 이송 기구 설계·제조
- 맞춤형 EFEM 웨이퍼 Loader/Unloader
- Bare Wafer Stocker
- Near Tool Buffer Mini Stocker
- LoadPort 웨이퍼 캐리어 플랫폼
- 웨이퍼 OCR 코드 리더
- 웨이퍼 스크래치 방지 모듈
- 지진 감지 분석 시스템
- 미립자 IoT 모니터링
- FOUP 레일 진동 점검·분석