基本資料
| 攤位 | P5300 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.superplustech.com.tw |
公司簡介
超慧科技股份有限公司成立於 2014 年 12 月，由起初少數員工開始，投入自動化設備設計、製造與專業組裝代工。公司專注於半導體自動化晶圓傳送機構的設計、開發、應用與現地化生產製造。業務範圍亦包括組裝代工、自動化系統整合、設備製造與經銷銷售，以及精密零件製造。新建置的竹東生產基地佔地 3000 餘坪，於 2023 年 3 月正式啟用。竹東廠規劃有無塵室生產區、研究開發區、大型自動倉儲區與一體式完整生產流水線。這些設施用於支援客戶訂單需求與及時交貨，並把研發、潔淨生產、倉儲與製造流程整合於同一生產基地。整體定位聚焦半導體自動化、晶圓傳送工程、在地化製造、設備整合與生產支援，而非半導體元件製造。
展出產品
超慧科技股份有限公司的 EFEM（Equipment Front End Module）為半導體 Loader/Unloader，可為不同晶圓尺寸提供設備前端上料與下料自動化。EFEM 的設計用於滿足客戶製程機台需求與限制，並支援各類半導體製程設備的自動化需求。EFEM 具備極高潔淨度、可信度與精密度，以及高速、省空間、低振動與低噪音。公司亦提供完全客製化 EFEM 機型服務，使前端自動化可依個別製程設備需求配置。相關晶圓搬送產品包括 Auto Bare Wafer Stocker- AI Series 新型晶圓儲存裝置。Mini Stocker- NTB（Near Tool Buffer）亦為晶圓傳送設備相關產品。LoadPort 晶圓載具平台是相關產品之一。Optical Character Recognition 設備為晶圓讀碼器（OCR），在自動化產品線中加入晶圓識別能力。Argus 被列為晶圓防刮模組，用於在搬送過程中保護晶圓。VMS-SE 為地震感測分析系統。Partice-loT 為微粒子物聯網產品。FOUP 形式軌道振動巡檢分析器亦屬相關產品。搭配 EFEM，這些產品涵蓋晶圓儲存、near-tool 緩衝、載具介面、識別、防刮、地震感測、微粒監測與振動巡檢等半導體晶圓傳送自動化周邊功能。
能力與產品項目
- 半導體自動化晶圓傳送機構設計製造
- 客製化 EFEM 晶圓 Loader／Unloader
- Bare Wafer Stocker
- Near Tool Buffer Mini Stocker
- LoadPort 晶圓載具平台
- 晶圓 OCR 讀碼器
- 晶圓防刮模組
- 地震感測分析系統
- 微粒子 IoT 監測
- FOUP 軌道振動巡檢分析