基本情報
| ブース | P5300 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.superplustech.com.tw |
会社概要
SuperPlus TECHは2014年12月に設立され、少人数から事業を開始し、自動化装置の設計、製造、専門的な組立受託に取り組んできました。半導体向け自動ウェーハ搬送機構の設計、開発、応用、現地生産に注力しています。事業範囲には組立受託、自動化システム統合、装置製造・販売、精密部品製造も含まれます。竹東に新設した3,000坪超の生産拠点は2023年3月に稼働を開始しました。同工場にはクリーンルーム生産エリア、研究開発エリア、大型自動倉庫、一体型の生産ラインが計画されています。これらの設備は顧客の受注需要と迅速な納品を支え、R&D、クリーン生産、保管、製造フローを一つの生産拠点に統合します。全体として半導体自動化、ウェーハ搬送技術、現地製造、装置統合、生産支援を中心とし、半導体デバイスそのものの製造を事業の中心とはしていません。
展示製品
SuperPlus TECHのEFEM（Equipment Front End Module）は半導体Loader/Unloaderで、異なるウェーハサイズの装置前面ロード・アンロードを自動化します。EFEMは顧客のプロセス装置要件と制約を満たし、各種半導体プロセス装置の自動化ニーズに対応するよう設計されています。EFEMは極めて高い清浄度、信頼性、精密度に加え、高速、省スペース、低振動、低騒音を掲げています。さらに完全customized EFEM machine servicesを提供し、個別プロセス装置の要件に合わせてフロントエンド自動化を構成できます。関連製品にはAuto Bare Wafer Stocker- AI Series新型ウェーハ保管装置があります。Mini Stocker- NTB（Near Tool Buffer）もウェーハ搬送装置の関連製品です。LoadPort wafer-carrier platformsも関連製品に含まれます。Optical Character Recognitionはwafer code reader（OCR）としてウェーハ識別機能を追加します。Argusはwafer anti-scratch moduleとして搬送中のウェーハ保護を補完します。VMS-SEはearthquake sensing and analysis systemです。Partice-loTはparticle Internet-of-Things製品です。FOUP-form rail vibration inspection analyzerも関連製品です。EFEMと組み合わせ、ウェーハ保管、near-tool buffering、carrier interface、identification、scratch prevention、seismic sensing、particle monitoring、vibration inspectionまでをウェーハ搬送自動化の周辺機能としてカバーします。
対応領域・製品
- 半導体自動ウェーハ搬送機構の設計・製造
- カスタム EFEM ウェーハ Loader／Unloader
- Bare Wafer Stocker
- Near Tool Buffer Mini Stocker
- LoadPort ウェーハキャリアプラットフォーム
- ウェーハ OCR コードリーダー
- ウェーハ傷防止モジュール
- 地震センシング解析システム
- 粒子 IoT モニタリング
- FOUP レール振動巡回検査・解析