基本情報
| ブース | Q5458 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.suncorp.com.tw |
会社概要
SUN Corporation, Ltd. は新竹を拠点とする半導体装置の開発・製造企業で、2008 年に設立され、2024 年 10 月に Fortrend Engineering (Hsinchu) Corporation から社名変更した。同社はウェハ前工程・熱処理装置を製造しており、SMIF ロードポートおよび 200mm SMIF 自動化、EFEM（イクイップメントフロントエンドモジュール）、ウェハソーター、ウェハアライナー、200mm および 300mm 向けの Bravo シリーズウェハ搬送ロボットを含む。熱処理ラインは、高温・クリーンルーム・無酸素のウェハベーキング炉、高温真空炉（約 +60〜+450°C）、低温真空炉に及び、温度均一性は約 ±1% とされる。また、マスターコントロールシステム、コントローラ、炉管制御ソフトウェアなどのプロセス制御部品を供給し、先端パッケージングおよび 3DIC 向けの能力も開発している。自社の知的財産で事業を行い、ウェハ製造やデバイス製造ではなく、加熱、アニール、硬化、炉、bumping 関連のプロセス装置に注力している。
対応領域・製品
- +60 から +450C の高温真空オーブン
- 200mm および 300mm 向け Bravo-series ウェハ搬送ロボット
- EFEM 装置フロントエンドモジュール
- SMIF load ports および 200mm SMIF 自動化
- ウェハアライナ
- ウェハソーター
- マスター制御システム、コントローラ、炉管制御ソフトウェア
- 低温真空オーブン
- 先進パッケージングおよび 3DIC 工程装置能力
- 高温クリーンルーム無酸素ウェハベーキングオーブン