基本資料
| 攤位 | Q5458 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.suncorp.com.tw |
公司簡介
SUN Corporation, Ltd. 是位於新竹的半導體設備研發與製造商，成立於 2008 年，並於 2024 年 10 月由 Fortrend Engineering (Hsinchu) Corporation 更名而來。公司製造晶圓前段與熱製程設備，包括 SMIF load port 與 200mm SMIF 自動化、EFEM（設備前端模組）、晶圓分類機、晶圓對準機，以及適用於 200mm 與 300mm 的 Bravo 系列晶圓搬運機器人。其熱製程產品線涵蓋高溫、潔淨室、無氧晶圓烘烤爐、高溫真空爐（約 +60 至 +450°C）與低溫真空爐，溫度均勻度控制約 ±1%。公司也供應製程控制元件，例如主控系統、控制器與爐管控制軟體，並發展先進封裝與 3DIC 相關能力。公司以自有智慧財產營運，聚焦於加熱、退火、固化、爐體與 bumping 相關製程設備，而非晶圓製造或元件製造。
能力與產品項目
- +60 至 +450C 高溫真空烘箱
- 200mm 與 300mm 用 Bravo-series 晶圓搬運機器人
- EFEM 設備前端模組
- SMIF load ports 與 200mm SMIF 自動化
- 主控系統、控制器與爐管控制軟體
- 低溫真空烘箱
- 先進封裝與 3DIC 製程設備能力
- 晶圓分類機
- 晶圓對準機
- 高溫潔淨室無氧晶圓烘烤爐