기본 정보
| 부스 | M0634, R7124 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | shi-ms.com/en/products |
회사 소개
Sumitomo Heavy Industries Material Solutions (SMS)는 반도체 소자 제조용 이온 주입기와 레이저 시스템을 개발, 제조, 판매 및 서비스합니다.
전시 제품
제공 제품에는 이온 주입 장비와 레이저 시스템이 포함됩니다. 이온 주입기 포트폴리오는 올인원, 고전류, 중전류 및 고에너지 시스템을 포괄하며, 공식 사이트에는 고체 UV 레이저 어닐링 시스템도 기재되어 있습니다.
역량 및 제품
- 고전류/중전류/고에너지 이온 주입기
- 고체 UV 레이저 어닐링 시스템