基本情報
| ブース | R7124 |
| 国 | JP |
| 製品カテゴリ | Heating; Annealing; Curing Equipment - Furnaces; Conveyors; Ovens; Test Chambers; Heat Treating · Ion Implantation Equipment · Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment |
| ウェブサイト | shi-ion.jp/english |
会社概要
住友重機械イオンテクノロジー株式会社（Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd., SMIT）は、イオン注入装置およびレーザーシステムに関連する開発、製造、販売、サービスを手がけています。詳細につきましては、住友重機械イオンテクノロジー株式会社までお問い合わせください。
展示製品
Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co., Ltd.（SMIT）は、ion implanters とレーザーシステムの開発、製造、販売、サービスを行い、半導体プロセス装置のニーズを支援します。
対応領域・製品
- イオン注入装置の開発、製造、販売、サービス
- コンベヤ、オーブン、テストチャンバー
- 加熱、アニール、硬化炉
- 半導体プロセス装置ニーズ向けレーザーシステム
- 熱処理の拡散、酸化、アニール、RTA、RTP 装置