基本資料
| 攤位 | N0276 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.speedfam.com.tw |
公司簡介
創技工業股份有限公司成立於 1979 年，是 SPEEDFAM Group 的獨立子公司，而該集團於 1959 年在美國創立。公司從事全球精密平坦化技術與設備，應用領域包括矽晶圓、半導體晶圓、LCD 顯示器、LED 藍寶石、精密光電、精密陶瓷與金屬。創技工業股份有限公司累積超過 30 年與美國及日本相關的經驗，並提供涵蓋行銷、製程開發、設計與製造，以及技術服務的 Total Solution。公司自製設備涵蓋高精度單面研磨、輪磨與拋光機、雙面研磨與拋光機、SWM/LWM 系列晶圓自動上蠟機、BSG 系列晶圓級鑽石輪磨機，以及 edge grinder 的設計與製造。公司亦處理 SpeedFam 半導體級高精度平坦化設備，包括 Lapper、Polisher、DCP，以及 edge polisher、edge grinder、edge profiler、fine grinder、DSS 與相關耗材。核心技術專長之一是高精度平坦化與清洗，製程工作從工件實驗、精度確認延伸至設計、採購、製造、安裝與製程服務。公司把全球據點與長期配合不同產業客戶的經驗納入產品設計，並串聯設備開發、工程與客戶製程服務。其營運模式把設備製造、製程開發與技術服務結合，使客戶可從應用實驗與精度驗證一路取得安裝與製程支援。
展出產品
SpeedFam 單面研磨與拋光設備可進行表面研磨與拋光，以達成平坦度、厚度控制與表面粗糙度要求；雙面研磨與拋光機則搭配治具與相關耗材供應。公司供應研磨與拋光所需的治具及耗材，也為海外製造所使用的半導體、LED、太陽能、光電、光學及其他機械設備提供 OVERHAUL 與 RETROFITTING 服務。自製單面機設備包括 15B、24B、32B、50B 單面研磨／拋光機，以及 36B 單面拋光機。雙面機設備包括 4-5-6B、9B、16B 雙面研磨／拋光機，以及 28B 雙面研磨機。輪磨加工設備包括 BSG-V 系列與雙軸式自動輪磨機；上蠟設備則包括 24 / 32MS、36MS 手動上蠟機，以及 24SWM、32/36SWM 半自動上蠟機。研磨耗材包括研磨粉、夾具、研磨盤面與鑽石砂輪；拋光耗材則包括拋光液、鑽石拋光液與拋光墊。產品範圍也列出 Melchiorre 精磨機，以及自動化整合、LED 晶片背減自動化整合、異質整合磨拋、碳化矽晶圓加工、化合物半導體材料與學術研發等解決方案領域。在碳化矽晶圓加工方面，所列設備包括 32BSG-V、FSG-2200、50ALWM、40GPAW-OSC 與 50GPAW-TD，應用項目為 6 / 8 inch SiC 磨拋。單晶碳化矽被描述為適用於高功率、高溫與高頻領域的半導體材料，可承受高達 1500°C 的工作環境，並具有高熱導率以協助散熱。其禁帶寬度為 3.26 eV，可支援高電壓、大電流與高頻工作，適用於功率二極管、MOSFET 與 IGBT 等電力電子元件。此材料也具高機械強度與化學穩定性，並具耐磨與抗腐蝕能力，可用於石油與天然氣開採等嚴苛環境。所列碳化矽應用領域包括電動車、再生能源與航太，使 Speedfam 的研磨、拋光、輪磨與自動化設備可對應化合物半導體加工需求。技術服務與設備整修則補充設備、耗材、自動化整合與材料加工等供應內容。
能力與產品項目
- 單面研磨/拋光設備
- 雙面研磨/拋光設備
- 晶圓自動上蠟設備
- 晶圓級鑽石輪磨設備
- Edge Grinder 設計與製造
- 6/8 吋 SiC 晶圓磨拋
- 研磨耗材供應
- 拋光耗材供應
- 半導體/LED/太陽能設備 Overhaul 與 Retrofitting
- LED 晶片背減自動化整合
- 異質整合磨拋
- 精磨機供應（Melchiorre）