기본 정보
| 부스 | R7724 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.specs-group.com |
회사 소개
SPECS Surface Nano Analysis GmbH는 SPECSGROUP에 속하며 SPECSGROUP은 표면 분석 계측 분야의 SPECS, Focus, Nanonis, Enviro 네 브랜드를 결합합니다. SPECSGROUP은 과학 네트워크, 전 세계 판매·서비스 인프라, 파트너 관계를 통해 각 브랜드가 고유한 강점에 집중할 수 있도록 지원합니다. SPECS는 표준형 및 맞춤형 초고진공 표면 분석 시스템의 개발과 생산을 전문으로 하며 표면과학, 재료과학, 나노기술용 장비를 설계, 생산, 판매, 유지보수합니다. SPECS Surface Nano Analysis GmbH의 본사는 독일 베를린 중심부에 있으며 과학자와 엔지니어는 SPECSGROUP을 통해 200명이 넘는 글로벌 팀에 소속되어 활동합니다. 회사는 SPECS가 40년 동안 연구용 계측 장비를 개발해 왔다고 설명하며 표면 분석 기술, 부품, 소형 시스템, 개별 설계 시스템을 글로벌 판매 및 유지보수 역량과 결합합니다.
전시 제품
SPECSGROUP은 SPECS, Focus, Nanonis, Enviro를 통해 표면 분석 계측 장비를 공급하며 과학 네트워크와 전 세계 판매·서비스 인프라가 이를 지원합니다. SPECS는 검증된 표준형 및 맞춤형 UHV 표면 분석 시스템을 개발하고 표면과학, 재료과학, 나노기술용 장비를 유지보수하며 표면 분석 포트폴리오를 구성합니다. 표면 분석 공급 범위에는 첨단 부품, 소형 시스템, 개별 설계 시스템이 포함되며 SPECSGROUP 글로벌 조직의 과학자와 엔지니어가 이를 개발하고 생산합니다. EnviroMETROS FAB는 높은 안정성, 신뢰성, 반복성을 갖춘 하이브리드 반도체 계측을 제공하며 초박막, 2D 소재, 다층 시스템과 그 표면을 고감도·고처리량으로 분석하도록 설계되었습니다. EnviroMETROS 플랫폼은 정보 깊이를 조절할 수 있는 광전자 분광기와 광학 및 기타 분석 기술을 결합해 화학적 분석과 치수 분석을 수행합니다. EnviroMETROS FAB는 최대 8 inch와 12 inch 웨이퍼를 처리하고 distribution systems와 wafer handler에 통합할 수 있으며 ISO conformity, 클린룸 사용, SEMI standard compatibility를 지원합니다. 표면 화학 분석에서는 정보 깊이를 조절할 수 있는 XPS와 1487 eV, 2984 eV, 5414 eV의 X-ray 에너지를 사용해 평행각 검출 방식의 비파괴 깊이 프로파일링을 수행합니다. 추가 분석 모드에는 단원자 Ar ions 또는 Ar clusters를 이용한 스퍼터 깊이 프로파일링, 최상부 표면층 식별을 위한 ISS, UPS와 IPES를 결합한 전자 구조 분석, IRRAS와 Raman을 이용한 표면 광학 계측, REELS를 이용한 에너지 손실 메커니즘 식별이 포함됩니다. 플랫폼은 base pressure 10^-10 mbar의 초고진공 버전과 working pressure 최대 50 mbar의 환경 버전으로 제공됩니다. 완전 통합형 시스템은 반도체 계측 작업에서 쉬운 운용, 유지보수 편의성, 최적화된 가동시간을 고려해 설계되었습니다. Keystone M 소프트웨어는 사용자 수준 제어, 자동 운전, 분석, 데이터 평가를 제공하고 모든 파라미터를 저장·문서화해 재현 가능한 분석 recipe와 template를 지원하며 시스템 지원도 용이하게 합니다. SPECSGROUP 포트폴리오는 UHV 표면과학 장비와 웨이퍼 중심 하이브리드 반도체 계측을 연결해 화학, 치수, 전자 구조, 깊이 프로파일, 광학 분석을 지원합니다.
역량 및 제품
- 표준형 및 맞춤형 UHV 표면 분석 시스템
- 초박막 및 2D 재료 하이브리드 반도체 계측
- 8/12인치 웨이퍼 표면 계측
- XPS 비파괴 깊이 프로파일링
- Ar 이온/클러스터 스퍼터 깊이 프로파일링
- ISS 최상부 표면층 식별
- UPS/IPES 전자 구조 분석
- IRRAS/Raman 표면 광학 계측
- 10^-10 mbar UHV 표면 분석