基本資料
| 攤位 | R7724 |
| 國別 | DE |
| 網站 | www.specs-group.com |
公司簡介
SPECS Surface Nano Analysis GmbH 隸屬於 SPECSGROUP；SPECSGROUP 在表面分析儀器領域匯集 SPECS、Focus、Nanonis 與 Enviro 四個品牌。SPECSGROUP 透過科學網路、全球銷售與服務基礎設施，以及合作夥伴關係支援各品牌，使各品牌能專注於自身強項。SPECS 專注於開發與生產標準型及客製化超高真空表面分析系統，並設計、生產、銷售與維護用於表面科學、材料科學與奈米科技的儀器。SPECS Surface Nano Analysis GmbH 總部位於德國柏林市中心，其科學家與工程師透過 SPECSGROUP 加入一個超過 200 名員工的全球團隊。公司表示 SPECS 已有 40 年研究儀器開發經驗，並把表面分析技術、元件、緊湊型系統、個別設計系統與全球銷售及維護能力結合。
展出產品
SPECSGROUP 透過 SPECS、Focus、Nanonis 與 Enviro 供應表面分析儀器，並由科學網路及全球銷售與服務基礎設施提供支援。SPECS 開發成熟的標準型與客製化 UHV 表面分析系統，並維護用於表面科學、材料科學與奈米科技的儀器，構成其表面分析產品組合。其表面分析供應內容包括先進元件、緊湊型系統與個別設計系統，由 SPECSGROUP 全球組織中的科學家與工程師進行開發與生產。EnviroMETROS FAB 提供具高穩定性、可靠性與重複性的混合式半導體量測，針對超薄膜、2D 材料、多層系統及其表面進行高靈敏度與高處理量分析。EnviroMETROS 平台把可變資訊深度的光電子能譜儀與光學及其他分析技術結合，用於化學與尺寸分析。EnviroMETROS FAB 可處理最大 8 inch 與 12 inch 晶圓，可整合 distribution systems 與 wafer handler，並支援 ISO conformity、無塵室使用與 SEMI standard compatibility。表面化學分析可使用具可調資訊深度的 XPS，並以 1487 eV、2984 eV、5414 eV 三種 X-ray 能量透過平行角度偵測進行非破壞性深度剖析。其他分析模式包括使用單原子 Ar ions 或 Ar clusters 的濺射深度剖析、用 ISS 辨識最上層表面、以 UPS 與 IPES 結合分析電子結構、以 IRRAS 與 Raman 進行表面光學量測，以及以 REELS 辨識能量損失機制。平台提供超高真空版本，base pressure 為 10^-10 mbar，也提供環境版本，working pressure 最高可達 50 mbar。完整整合系統以易於操作、便利維護與最佳化 uptime 為設計重點，用於半導體量測工作流程。Keystone M 軟體提供使用者層級控制、自動操作、分析與資料評估，所有參數可儲存與文件化，以支援可重現的分析 recipe 與 template，並便於系統支援。整體 SPECSGROUP 產品組合把 UHV 表面科學儀器與晶圓導向的混合式半導體量測結合，用於化學、尺寸、電子結構、深度剖析與光學分析。
能力與產品項目
- 標準型與客製 UHV 表面分析系統
- 超薄膜與 2D 材料混合式半導體量測
- 8/12 吋晶圓表面量測
- XPS 非破壞深度剖析
- Ar 離子/叢集濺射深度剖析
- ISS 最表面層辨識
- UPS/IPES 電子結構分析
- IRRAS/Raman 表面光學量測
- 10^-10 mbar UHV 表面分析