基本情報
| ブース | R7724 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.specs-group.com |
会社概要
SPECS Surface Nano Analysis GmbH は SPECSGROUP の一員で、SPECSGROUP は表面分析機器分野で SPECS、Focus、Nanonis、Enviro の4ブランドを統合しています。SPECSGROUP は科学ネットワーク、世界規模の販売・サービスインフラ、パートナー関係を通じて各ブランドを支え、それぞれが強みに集中できる体制を提供しています。SPECS は、標準型およびカスタムの超高真空表面分析システムの開発・製造を専門とし、表面科学、材料科学、ナノテクノロジー向け機器の設計、製造、販売、保守を行っています。SPECS Surface Nano Analysis GmbH の本社はドイツ・ベルリン中心部にあり、科学者とエンジニアは SPECSGROUP を通じて200人を超えるグローバルチームの一員として活動しています。同社は SPECS が40年間にわたり研究用計測機器を開発してきたとし、表面分析技術、コンポーネント、コンパクトシステム、個別設計システムを世界規模の販売・保守体制と組み合わせています。
展示製品
SPECSGROUP は SPECS、Focus、Nanonis、Enviro を通じて表面分析機器を提供し、科学ネットワークと世界規模の販売・サービスインフラがこれを支えています。SPECS は実績のある標準型およびカスタム UHV 表面分析システムを開発し、表面科学、材料科学、ナノテクノロジー向け機器を保守することで表面分析ポートフォリオを構成しています。表面分析製品には先進コンポーネント、コンパクトシステム、個別設計システムが含まれ、SPECSGROUP のグローバル組織に所属する科学者とエンジニアが開発・生産します。EnviroMETROS FAB は高い安定性、信頼性、再現性を備えたハイブリッド半導体計測を提供し、超薄膜、2D材料、多層システムとその表面の高感度・高スループット解析向けに設計されています。EnviroMETROS プラットフォームは、情報深度を可変にできる光電子分光器と光学その他の分析技術を組み合わせ、化学分析と寸法分析を行います。EnviroMETROS FAB は8 inchおよび12 inchまでのウェハーに対応し、distribution systems と wafer handler に統合でき、ISO conformity、クリーンルーム利用、SEMI standard compatibility に対応するとされています。表面化学分析では、情報深度を調整できる XPS と1487 eV、2984 eV、5414 eVのX-rayエネルギーを用い、平行角度検出による非破壊深さプロファイリングを行います。追加の解析モードには、単原子 Ar ions または Ar clusters によるスパッタ深さプロファイリング、最表面層を識別する ISS、UPS と IPES を組み合わせた電子構造解析、IRRAS と Raman による表面光学計測、REELS によるエネルギー損失機構の同定があります。プラットフォームは base pressure 10^-10 mbar の超高真空版と、working pressure が最大50 mbarの環境版を用意しています。完全統合システムは、半導体計測ワークフローでの操作性、保守性、稼働時間の最適化を考慮した設計です。Keystone M ソフトウェアはユーザーレベル制御、自動運転、解析、データ評価を提供し、パラメータを保存・文書化することで再現可能な解析 recipe と template を支え、システムサポートも容易にします。SPECSGROUP のポートフォリオは、UHV 表面科学機器とウェハー向けハイブリッド半導体計測を結び付け、化学、寸法、電子構造、深さプロファイル、光学の各解析に対応します。
対応領域・製品
- 標準・カスタムUHV表面分析システム
- 超薄膜・2D材料向けハイブリッド半導体計測
- 8/12インチウェハー表面計測
- XPS非破壊深さプロファイリング
- Arイオン／クラスター・スパッタ深さプロファイリング
- ISS最表面層同定
- UPS/IPES電子構造解析
- IRRAS/Raman表面光学計測
- 10^-10 mbar UHV表面分析