기본 정보
| 부스 | S8237 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.smaract.com |
회사 소개
SmarAct GmbH는 포지셔닝 기술과 엔지니어링 및 양산을 위한 contract manufacturing을 제공합니다. 포지셔닝 역량에는 MCS2 Stick-Slip Piezo Drive Technology, MCS2 Scanner Piezo Drive Technology, MCS2 Electromagnetic Drive Technology 및 간섭계 정밀도의 폐루프 포지셔닝이 포함됩니다. SmarAct GmbH는 피에조 스캐너의 고해상도 광학 변위 측정과 캔틸레버 굽힘 모드 및 변위의 sub-pm 해상도 측정도 제공합니다.
전시 제품
피에조 구동 고니오미터 스테이지는 적층하여 다차원 Euler 포지셔닝 시스템을 구성할 수 있으며, 컴팩트한 모듈식 솔루션은 광학 셋업과 광학 실험을 지원합니다. 샘플, 도구 또는 장비를 하나 이상의 자유도로 정밀 포지셔닝해야 하는 용도에서 hexapod-like 시스템은 직렬 기구학보다 높은 강성을 제공하고 고동적 응용을 가능하게 합니다. 고정밀 스테이지와 시스템은 극저온, 초고진공, 고방사선 및 강한 자기장 환경에서 사용할 수 있습니다. SmarAct GmbH는 사내 생산을 통해 OEM 요구와 단순하거나 복잡한 맞춤형 포지셔닝 시스템을 지원하며, 극저온, 초고진공 및 자기장과 호환되는 제품도 제공합니다. 포지셔닝 범위에는 양자컴퓨팅 실험 셋업용 단일 포지셔너, 레이저 내부의 OEM 포지셔너, 반도체 제조 장비용 통합 모션 시스템이 포함됩니다. 나노포지셔닝 시스템은 trapped-ion 양자컴퓨팅에서 정밀한 단일 이온 제어에 필요한 안정성과 정확도를 제공하며, SMARPOD는 양자 포토닉스 연구의 저손실 광 결합을 위한 기계적 안정성과 다축 제어를 제공합니다. 정밀 시스템은 자동 fiber-array 조립, 광학 부품의 정렬과 마이크로어셈블리, 반도체 및 포토닉스용 OEM 레이저 부품에도 사용됩니다. photonic integrated circuits용으로는 웨이퍼 레벨의 초고속 고정밀 광섬유 정렬을 제공하고, 반도체 제조용으로는 모션 및 계측 기술을 활용한 고정밀 웨이퍼 포지셔닝과 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 포지셔닝 시스템은 가혹 환경의 EUV 리소그래피와 nm-level 정확도의 리소그래피 마스크 보정에 적용되며, 광학 어셈블리는 포토닉스 응용을 위해 정밀 그리핑과 포지셔닝을 결합합니다. 극저온 포지셔닝 시스템은 극한 조건의 양자 응용을 지원하고, 고정밀 포지셔닝 및 계측 솔루션은 micro displays와 센서의 광학 특성 평가를 지원합니다. FlyScan-Analysis는 빠른 데이터 수집과 정밀 샘플 분석을 동기식 위치 추적과 결합하며, 자동 전기 프로빙 솔루션은 반도체 정밀 측정을 지원합니다. PicoScale Vibrometer는 IR confocal imaging technology를 사용해 실리콘 패키징을 통과하여 MEMS 진동을 측정합니다. 응용 사례에는 Institute of Photonics, University of Strathclyde UK의 SMARPOD pick-and-place 작업과 독일 Chemnitz의 3D-MICROMAC AG 자동 레이저 어블레이션 시스템용 고밀도 XYR-Stage도 포함됩니다. 주요 제품에는 6 DoF와 정의 가능한 pivot point를 갖는 hexapod-like 포지셔닝 시스템 SMARPOD와 반도체 소자의 전기적 특성 평가용 Nanoprober가 있습니다. Stages with Exchangeable Drive Units는 산업 및 과학 분야의 고가용성 응용을 대상으로 하며, Micro-Grippers는 작고 취약한 물체를 취급합니다. Cryogenic Piezo Stages and Systems는 극저온 조건에서 고성능 포지셔닝을 위한 선형 및 회전 스테이지를 제공합니다. SmarAct Modular System은 호환 스테이지를 조합해 복잡하고 재구성 가능한 포지셔닝 셋업을 만들며, TRIPOD는 hexapod-like 포지셔닝 시스템에서 직렬 및 병렬 기구학 방식을 결합하고, Motorized Opto-Mechanics는 광학 셋업과 실험을 위한 컴팩트한 모듈식 솔루션을 제공합니다.
역량 및 제품
- Stick-Slip 압전 위치결정 기술
- 스캐너 압전 위치결정 기술
- 간섭계 폐루프 정밀 위치결정
- 다차원 압전 고니오미터 위치결정
- 6 DoF Hexapod-like 위치결정
- 극저온 압전 위치결정 스테이지
- 반도체 웨이퍼 고정밀 위치결정
- 광자 집적회로용 광섬유 정렬
- 반도체 자동 전기 프로빙
- 실리콘 패키지 투과 MEMS 진동 측정