基本情報
| ブース | S8237 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.smaract.com |
会社概要
SmarAct GmbH は、位置決め技術と、エンジニアリングおよび量産向けの contract manufacturing を提供しています。位置決め技術には、MCS2 Stick-Slip Piezo Drive Technology、MCS2 Scanner Piezo Drive Technology、MCS2 Electromagnetic Drive Technology、および干渉計精度によるクローズドループ位置決めが含まれます。SmarAct GmbH は、ピエゾスキャナーの高分解能光学変位測定と、カンチレバーの曲げモードおよび変位を sub-pm 分解能で測定する技術も提供しています。
展示製品
ピエゾ駆動のゴニオメーターステージは積み重ねて多次元 Euler 位置決めシステムを構成でき、コンパクトなモジュール式ソリューションは光学セットアップと光学実験を支援します。サンプル、ツール、機器を 1 自由度を超えて精密位置決めする用途では、hexapod-like システムはシリアルキネマティクスより高い剛性を持ち、高ダイナミック用途を可能にします。高精度ステージとシステムは、極低温、超高真空、高放射線、高磁場の環境で利用できます。SmarAct GmbH は社内生産により OEM 要件と、単純なものから複雑なものまでのカスタム位置決めシステムに対応し、極低温、超高真空、磁場にも対応する製品を提供します。位置決め製品は、量子コンピューティング実験用の単一ポジショナー、レーザー内の OEM ポジショナー、半導体製造装置向けの統合モーションシステムまでを含みます。ナノ位置決めシステムは trapped-ion 量子コンピューティングで精密な単一イオン制御に必要な安定性と精度を提供し、SMARPOD は量子フォトニクス研究で低損失光結合を実現するための機械安定性と多軸制御を提供します。精密システムは、自動 fiber-array 組立、光学部品のアライメントとマイクロアセンブリ、半導体およびフォトニクス向け OEM レーザー部品にも対応します。photonic integrated circuits 向けにはウェハレベルで超高速かつ高精度なファイバーアライメントを提供し、半導体製造向けにはモーション技術とメトロロジーを用いた高精度ウェハ位置決めおよびウェハアライメントを提供します。位置決めシステムは過酷環境での EUV リソグラフィや nm-level 精度のリソグラフィマスク補正に利用され、光学アセンブリはフォトニクス用途向けに精密把持と位置決めを組み合わせます。低温位置決めシステムは極端条件下の量子用途を支援し、高精度位置決めとメトロロジーは micro displays とセンサーの光学特性評価に利用されます。FlyScan-Analysis は迅速なデータ収集と精密な試料解析を同期位置追跡と組み合わせ、自動電気プロービングは半導体の精密測定を支援します。PicoScale Vibrometer は IR confocal imaging technology を用いてシリコンパッケージ越しに MEMS 振動を測定します。用途例には、Institute of Photonics, University of Strathclyde UK での SMARPOD による pick-and-place と、ドイツ Chemnitz の 3D-MICROMAC AG 向け自動レーザーアブレーションシステム用の高コンパクト XYR-Stage も含まれます。主な製品には、6 DoF と定義可能な pivot point を備える hexapod-like 位置決めシステム SMARPOD、および半導体デバイスの電気特性評価用 Nanoprober があります。Stages with Exchangeable Drive Units は産業および科学分野の高可用性用途向けで、Micro-Grippers は小型で壊れやすい物体の取り扱いに使用されます。Cryogenic Piezo Stages and Systems は低温条件で高性能位置決めを行うためのリニアおよび回転ステージを提供します。SmarAct Modular System は互換ステージを組み合わせて複雑で再構成可能な位置決めセットアップを形成し、TRIPOD は hexapod-like システムでシリアルとパラレルのキネマティクスを組み合わせ、Motorized Opto-Mechanics は光学セットアップと実験向けのコンパクトなモジュール式ソリューションを提供します。
対応領域・製品
- Stick-Slipピエゾ位置決め技術
- スキャナピエゾ位置決め技術
- 干渉計クローズドループ精密位置決め
- 多次元ピエゾゴニオメータ位置決め
- 6 DoF Hexapod-like位置決め
- 極低温ピエゾ位置決めステージ
- 半導体ウェーハ高精度位置決め
- フォトニック集積回路向けファイバアライメント
- 半導体自動電気プロービング
- シリコンパッケージ越しMEMS振動測定