基本資料
| 攤位 | S8237 |
| 國別 | DE |
| 網站 | www.smaract.com |
公司簡介
SmarAct GmbH 提供定位技術，以及用於工程與系列生產的 contract manufacturing。其定位能力包括 MCS2 Stick-Slip Piezo Drive Technology、MCS2 Scanner Piezo Drive Technology、MCS2 Electromagnetic Drive Technology，以及具干涉量測精度的閉迴路定位。SmarAct GmbH 也提供壓電掃描器的高解析度光學位移量測，以及對懸臂樑彎曲模態與位移進行 sub-pm 解析度量測。
展出產品
壓電驅動的測角台可堆疊並組合成多維度 Euler 定位系統，緊湊模組化方案則支援光學架設與光學實驗。對於樣品、工具或設備需要一個以上自由度的精密定位，hexapod-like 系統相較串聯式運動機構具有更高剛性，並可支援高動態應用。高精度平台與系統可用於低溫、超高真空、高輻射及強磁場環境。SmarAct GmbH 透過內部生產支援 OEM 需求以及客製化的簡單或複雜定位系統，產品亦可相容於低溫、超高真空與磁場等環境。定位產品範圍涵蓋量子運算實驗架設中的單一定位器、雷射中的 OEM 定位器，以及半導體製造設備中的整合式運動系統。奈米定位系統可用於 trapped-ion 量子運算，提供精準單離子控制所需的穩定度與精度；SMARPOD 則以機械穩定度與多軸控制支援量子光子研究中的低損耗光纖耦合。精密系統也可用於自動化 fiber-array 組裝、光學元件的對準與微組裝，以及半導體與光子應用的 OEM 雷射元件。針對 photonic integrated circuits，SmarAct GmbH 提供晶圓層級的超高速高精度光纖對準；針對半導體製造，則提供採用運動與量測技術的高精度晶圓定位與晶圓對準。定位系統可應用於嚴苛環境中的 EUV 微影，以及具 nm-level 精度的微影光罩修正；光學組件則結合精密夾持與定位以支援光子應用。低溫定位系統可支援極端條件下的量子應用，高精度定位與量測方案亦可用於 micro displays 與感測器的光學特性量測。FlyScan-Analysis 將快速資料收集與精密樣品分析結合同步位置追蹤，自動化電性探測方案則支援半導體的精密量測。PicoScale Vibrometer 可利用 IR confocal imaging technology 穿透矽封裝量測 MEMS 振動。應用案例還包括 Institute of Photonics, University of Strathclyde UK 的 SMARPOD pick-and-place 作業，以及為德國 Chemnitz 的 3D-MICROMAC AG 自動化雷射燒蝕系統提供高度緊湊的 XYR-Stage。具名產品包括 SMARPOD，此 hexapod-like 定位系統具 6 DoF 與可定義 pivot point；Nanoprober 則用於半導體元件的電性特性量測。Stages with Exchangeable Drive Units 面向工業與科學中的高可用性應用，Micro-Grippers 則用於處理小型且易碎的物件。Cryogenic Piezo Stages and Systems 提供線性與旋轉平台，可在低溫條件下進行高效能定位。SmarAct Modular System 可將相容平台組合成複雜且可重新配置的定位架設；TRIPOD 在 hexapod-like 定位系統中結合串聯與平行運動學方式；Motorized Opto-Mechanics 則為光學架設與實驗提供緊湊模組化方案。
能力與產品項目
- Stick-Slip 壓電定位技術
- 掃描壓電定位技術
- 干涉儀閉迴路精密定位
- 多維壓電測角定位平台
- 6 DoF Hexapod-like 定位
- 低溫壓電定位平台
- 半導體晶圓高精度定位
- 光子積體電路光纖對準
- 半導體自動電性探測
- 穿矽封裝 MEMS 振動量測