基本情報
| ブース | R8024 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | en.youibot.com |
会社概要
Shenzhen Youibot Robotics Co., Ltd. はモバイルロボットソリューションのプロバイダーで、半導体スマート製造施設向けのロボット駆動自動物流を専門としています。半導体ソリューションは high-precision SLAM navigation technology と advanced software systems を利用し、半導体製造のインテリジェント化と、安定・柔軟・高効率な生産運用を支援します。対応範囲は nodes、epitaxy、FAB から modules、packaging/testing までで、1st、2nd、3rd generation semiconductor manufacturing をカバーすると説明しています。Shenzhen Youibot Robotics Co., Ltd. は半導体分野の mobile robotics shipment volume で No.1 としています。製品・ソフトウェア構成は複数の mobile-robot series と YOUIFleet、YOUITMS を組み合わせ、半導体物流では材料搬送、robot scheduling、fleet coordination、製造・倉庫システムとの統合を扱います。
展示製品
Operation Series は mobile robot、robotic arm、vision、clamping jaw などを組み合わせ、異なる半導体工程間を移動して FOUP Pods、magazines などを搬送・ロード／アンロードします。ATS Series Autonomous Transfer Robot は半導体・ハイテク製造環境向けで、autonomous navigation、intelligent fleet management、system integration により生産ゾーン間で精密・高信頼・contamination-controlled な材料搬送を行い、wafers、FOUPs、FOSBs などを安定した 24/7 operation で扱います。半導体ソリューションでは high-precision composite mobile robots が FOUP/FOSB、SMIF POD、cassettes、magazines を搬送し、閉鎖型クリーン環境での生産効率、品質一貫性、cost effectiveness の向上を目指します。Material-handling robots と mobile manipulators は工程間の material flow と information flow をつなぎ、各 workshop や manufacturing equipment で automatic wafer transfer または material loading/unloading を実現し、cobots や robotic arms 付き mobile robotic platforms による人協働も行います。Software architecture は MES/WMS と Youi TMS industrial logistics management を接続し、order management、warehouse management、waybill management、transportation-module management、waybill scheduling、robot scheduling を扱い、Youi Fleet は transportation tasks、vehicle management、route planning、vehicle scheduling、traffic control を担当します。OW12 は 12'' FOUP Pods のロード・搬送用 mobile manipulator、OW8 は cobot を備え 8'' FOUP Pods のロード・搬送用 mobile manipulator、ATS は semiconductor FOUP Pods transfer 用で運用要求に合わせて構成可能です。半導体ロボットは Class100 cleanliness、smooth contamination-resistant surfaces、人的介入の削減、vision sensors と controlled end gripper による精密な FOUP POD gripping を特徴とし、固定軌道なしで複雑環境を自動走行します。Built-in SLAM algorithms は地図上で位置と方向を把握し、移動経路を生成して障害物回避を行い、integrated robot controls と end-sensing systems は展開時の多システム切替を減らし、workflow と logging により操作をトレース可能にします。パッケージ・テスト物流事例では 12 台のロボットをロード／アンロードに投入し、1 台あたり 1 日 215 tasks、1,070 trays、平均 9,675 meters を処理し、12 台合計で 2,580 tasks、12,840 trays、116,100 meters を毎日処理します。FAB inter-bay wafer-transfer 事例では 23 台が 12 Intra Bays をループ運行して SMIF Pods を搬送し、各ロボットは 20 storage slots を備え、手作業の 3-4 倍、OHT の 5 倍の効率とされ、1 日 33,120 materials を搬送し、58 employees labor shortage の解消値が示されています。8-inch power-semiconductor wafer workshop では 80+ OW8 wafer-handling robots がロード／アンロードを自動化し、1 日 32,000 FOUPs を処理、7 robot types の mixed-site scheduling と 24/7 operation を実現します。Class 10 cleanroom の high-cleanliness 12-inch wafer-processing workshop では装置に ISO Class 4 standards が必要で、5 台のロボットを導入し 1 日 780 tasks を実行します。Cross-building 8-inch wafer transport では ATS6 units を含む 12 台を導入し、vibration-damping storage と Fusion SLAM algorithms を使用し、1 日 6,972 material transfers、transport vibration below 0.1g を示しています。OW12-300 は 12-inch wafer manufacturing と full-process fab automation 向けで FOUP/FOSB/Metal CST に対応し、ISO Class 3 cleanroom compatibility、vibration ≤0.5g、CE & SEMI-certified hardware architecture、12-inch wafer carriers、run time 8 h、size 1085x775x1510mm を示します。OW8-350 は semiconductor front-end manufacturing 向けで omnidirectional movement と four-slot carrier を備え、ISO Class 3 cleanroom compatibility、650 mm narrow-aisle operation、≤25 s material pick-and-place cycle time、run time 8 h、size 1070*665*1100mm を示します。OWC は semiconductor fabs 用 Open Cassette automated transport robot で multi-point、multi-process Open CST material flows に対応し、omnidirectional chassis、safety and intelligent scheduling、24/7 operation、agile handling、efficient docking、run time 8 h、size 1070*665*1100mm を備えます。OT12 は semiconductor chip manufacturing 向け autonomous material-handling robot で magazines の自動ロード／アンロードを行い、mobile robot と collaborative robot を統合し、horizontal and vertical radar detection、Class 100 cleanliness、vibration level 0.5 g、run time 8 h、size 1070*665*1100mm を示します。OW series は OW12、OW8、OWC などで 12-inch・8-inch FOUP PODs、SMIF PODs、Open CSTs、Magazins を半導体製造全体で自動搬送し、flexible cobot、end gripper、vision sensors により wafer への直接接触を減らし、flat ground で vibration ≤0.5G を維持します。OW robots は electronic shelves、ATS-series wafer-transfer bus、process equipment と連携して自動 pickup と安定 transport を行い、360° horizontal LiDAR は navigation・obstacle avoidance、選択モデルの vertical LiDAR は load height の同一高さ障害物との衝突防止に使用されます。Shenzhen Youibot Robotics Co., Ltd. 開発の MOS integrated cobot-control system は cobot upper control と複数の end-effector sensors を 1 つの operating system に統合し、multi-system integration complexity と deployment time を削減し、workflow と logs による traceability、planar and vertical safety scanning、electronic-rack storage-level monitoring、HMI interface の real-time inspection を提供します。Wafer-handling では OW-series robots が integrated robotic arms、end clamps、sensors で FOUP PODs を安定かつ精密に把持し body storage positions に配置し、sensor-equipped electronic shelves が FOUP POD traceability を提供して production errors の低減を支援します。
対応領域・製品
- 半導体向けモバイルロボット自動物流
- FOUP・マガジンの工程間搬送・搬入出
- 12インチFOUP搬送用モバイルマニピュレータ
- 8インチFOUP搬送用モバイルマニピュレータ
- ATS FOUP 自律搬送ロボット
- Open Cassette 自動搬送ロボット
- Magazine 自動搬入出ロボット
- YOUITMS 産業物流管理システム
- YOUIFleet フリートスケジューリング支援システム