기본 정보
| 부스 | J2157 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | shellbacksemi.com |
회사 소개
SHELLBACK Semiconductor Technology와 자회사 Rite Track은 독자적 지식재산과 글로벌 서비스를 활용해 Power Devices, Photonics & LED, MEMS & Sensors, Wireless & Analog, Memory/Storage 및 Advanced Packaging 시장에 신품 및 재제조 장비, 업그레이드와 서비스를 제공합니다. 습식 세정 및 식각 포트폴리오에는 2023년에 인수한 MERCURY+가 포함되어 낮은 cost of ownership과 높은 처리량 응용을 지원하며, 독자적인 SEMITOOL 기술 기반으로 최대 300mm 공정을 지원하는 TORRENT 자동 및 반자동 배치 스프레이 시스템도 포함됩니다. TORRENT는 고급 세정, 식각 및 strip에 대응하고 HydrOzone 공정은 배치 오존 세정에 사용되며 화학물질 사용량을 줄이고 기후 관련 이니셔티브에 대응하는 것으로 설명되고, 회사는 HydrOzone이 1998년부터 배치 오존 세정의 표준을 세웠다고 밝힙니다. 제품군에는 SEMITOOL SRD spin-rinse dryers와 첨단 저입자 carrier cleaning용 SEMITOOL STORM도 포함됩니다. Rite Track을 통해 SVG 8X/9X coat-develop systems의 product-line owner로서 SVG 및 Track systems용 맞춤형 솔루션, 수리 및 업그레이드를 제공합니다. Rite Track은 refurbished TEL Mark, ACT 및 DNS 80 systems의 product-line expert로도 설명되어 coat-develop 및 scrub platforms까지 서비스와 업그레이드 범위를 확장합니다.
전시 제품
MERCURY+는 낮은 cost of ownership을 특징으로 하는 고속 batch-spray cleaning 제품군이며 SHELLBACK Semiconductor Technology가 해당 제품군을 소유합니다. TORRENT는 SEMITOOL Class 1 및 Cintillio spray-batch tools에서 발전한 SEMITOOL batch-spray platform입니다. 습식 공정 솔루션에는 Wet Etch의 Spray Acid, Spray Solvent, HF Vapor, Resist Strip의 Spray Solvent, Spray Acid, HydrOzone을 사용하는 Spray Ozone, Clean의 HydrOzone Spray Ozone과 Spray Acid가 포함됩니다. 자동화 시스템은 300mm and below를 대상으로 TORRENT SP와 MERCURY+ SP가 포함되며 SEMITOOL SRD는 spin-rinse drying용입니다. Rite Track coat-and-develop systems에는 SVG 86 SQ (2”), SVG 86, SVG 88, SVG 90-S/SE, TEL Mark Vz, TEL Mark 7/8 및 TEL ACT 8 /12가 포함됩니다. Upgrade 범주는 SVG, TEL Mark, TEL ACT이고 scrub systems에는 SVG 86, SVG 88 및 DNS 80 A/B가 포함됩니다. Rite Track은 SVG 86, 88 및 90-S/SE systems의 exclusive product-line owner로 제시되어 제품군 소유권과 설치된 track equipment의 수리, 업그레이드 및 맞춤 솔루션 역량을 연결합니다. MERCURY+, TORRENT, HydrOzone, SEMITOOL SRD, SEMITOOL STORM 및 Rite Track systems는 batch cleaning, wet etch, resist strip, ozone cleaning, spin-rinse drying, carrier cleaning, coat-develop, scrub, refurbishment 및 equipment-upgrade 요구를 함께 다룹니다.
역량 및 제품
- 습식 세정·식각 장비
- 자동/반자동 배치 스프레이 장비
- HydrOzone 배치 오존 세정
- SEMITOOL STORM 저입자 캐리어 세정
- SEMITOOL SRD 스핀 린스 건조
- SVG/Track 코트·디벨롭 시스템 수리·업그레이드
- 고속 배치 스프레이 세정 장비