基本資料
| 攤位 | J2157 |
| 國別 | TW |
| 網站 | shellbacksemi.com |
公司簡介
SHELLBACK Semiconductor Technology 與其子公司 Rite Track 運用自有智慧財產與全球服務，為 Power Devices、Photonics & LED、MEMS & Sensors、Wireless & Analog、Memory/Storage 與 Advanced Packaging 等市場提供新品與再製設備、升級及服務。其濕式清洗與蝕刻產品組合包括 2023 年收購的 MERCURY+，用於低擁有成本與高產能應用，也包括採用專有 SEMITOOL 技術、支援最高 300mm 製程的 TORRENT 自動與半自動批次噴淋系統。TORRENT 用於先進清洗、蝕刻與去膠；HydrOzone 製程用於批次臭氧清洗，並被描述為可降低化學品用量及回應氣候相關倡議，公司表示 HydrOzone 自 1998 年起建立批次臭氧清洗標準。產品組合亦包括 SEMITOOL SRD spin-rinse dryers，以及用於先進低粒子載具清洗的 SEMITOOL STORM。透過 Rite Track，SHELLBACK Semiconductor Technology 擁有 SVG 8X/9X coat-develop systems 產品線，並為 SVG 與 Track systems 提供客製化解決方案、維修與升級。Rite Track 亦被描述為 refurbished TEL Mark、ACT 與 DNS 80 systems 的產品線專家，將服務與升級範圍延伸至 coat-develop 與 scrub platforms。
展出產品
MERCURY+ 是高速 batch-spray cleaning 產品線，主打低 cost of ownership，且 SHELLBACK Semiconductor Technology 擁有該產品線。TORRENT 由 SEMITOOL Class 1 與 Cintillio spray-batch tools 演進而來，作為 SEMITOOL batch-spray platform 提供。濕式製程方案包括 Wet Etch 的 Spray Acid、Spray Solvent 與 HF Vapor；Resist Strip 的 Spray Solvent、Spray Acid 與使用 HydrOzone 的 Spray Ozone；以及 Clean 的 HydrOzone Spray Ozone 與 Spray Acid。自動化系統涵蓋 300mm and below，包括 TORRENT SP 與 MERCURY+ SP；SEMITOOL SRD 則用於 spin-rinse drying。Rite Track 的 coat-and-develop systems 包括 SVG 86 SQ (2”)、SVG 86、SVG 88、SVG 90-S/SE、TEL Mark Vz、TEL Mark 7/8 與 TEL ACT 8 /12。Upgrade 類別包括 SVG、TEL Mark 與 TEL ACT，scrub systems 則包括 SVG 86、SVG 88 與 DNS 80 A/B。Rite Track 被列為 SVG 86、88 與 90-S/SE systems 的獨家 product-line owner，將產品線所有權與既有 track equipment 的維修、升級及客製化解決方案能力相連。MERCURY+、TORRENT、HydrOzone、SEMITOOL SRD、SEMITOOL STORM 與 Rite Track systems 共同涵蓋 batch cleaning、wet etch、resist strip、ozone cleaning、spin-rinse drying、carrier cleaning、coat-develop、scrub、refurbishment 與 equipment-upgrade 需求。
能力與產品項目
- 濕式清洗與蝕刻設備
- 自動/半自動批次噴淋設備
- HydrOzone 批次臭氧清洗
- SEMITOOL STORM 低粒子載具清洗
- SEMITOOL SRD 旋轉沖洗乾燥
- SVG/Track 塗佈顯影系統維修與升級
- 高速批次噴淋清洗設備