基本情報
| ブース | J2157 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | shellbacksemi.com |
会社概要
SHELLBACK Semiconductor Technology と子会社 Rite Track は、独自の知的財産とグローバルサービスを活用し、Power Devices、Photonics & LED、MEMS & Sensors、Wireless & Analog、Memory/Storage、Advanced Packaging 向けに新品・再生装置、アップグレード、サービスを提供しています。ウェット洗浄・エッチングのポートフォリオには、2023 年に取得した MERCURY+ が含まれ、低い cost of ownership と高スループット用途に対応するとともに、独自 SEMITOOL 技術を用いた最大 300mm 対応の TORRENT 自動・半自動バッチスプレーシステムも展開しています。TORRENT は高度な洗浄、エッチング、ストリップに対応し、HydrOzone はバッチオゾン洗浄に使用され、化学薬品使用量の削減と気候関連の取り組みへの対応を目的とし、同社は 1998 年以来バッチオゾン洗浄の基準を築いてきたと説明しています。製品群には SEMITOOL SRD spin-rinse dryers と、先進的な低粒子 carrier cleaning 用の SEMITOOL STORM も含まれます。Rite Track を通じて SVG 8X/9X coat-develop systems の product-line owner として、SVG および Track systems 向けのカスタムソリューション、修理、アップグレードを提供します。Rite Track は refurbished TEL Mark、ACT、DNS 80 systems の product-line expert としても位置付けられ、coat-develop と scrub platforms にサービス・アップグレード範囲を広げています。
展示製品
MERCURY+ は低い cost of ownership を特徴とする高速 batch-spray cleaning 製品ラインで、SHELLBACK Semiconductor Technology がこの製品ラインを所有しています。TORRENT は SEMITOOL Class 1 と Cintillio spray-batch tools から発展し、SEMITOOL batch-spray platform として提供されます。ウェットプロセスには Wet Etch の Spray Acid、Spray Solvent、HF Vapor、Resist Strip の Spray Solvent、Spray Acid、HydrOzone を用いた Spray Ozone、Clean の HydrOzone Spray Ozone と Spray Acid が含まれます。自動化システムは 300mm and below を対象とし、TORRENT SP と MERCURY+ SP があり、SEMITOOL SRD は spin-rinse drying 用です。Rite Track の coat-and-develop systems には SVG 86 SQ (2”)、SVG 86、SVG 88、SVG 90-S/SE、TEL Mark Vz、TEL Mark 7/8、TEL ACT 8 /12 があります。Upgrade カテゴリは SVG、TEL Mark、TEL ACT、scrub systems は SVG 86、SVG 88、DNS 80 A/B です。Rite Track は SVG 86、88、90-S/SE systems の exclusive product-line owner とされ、製品所有と、設置済み track equipment 向けの修理・アップグレード・カスタムソリューション能力を結び付けています。MERCURY+、TORRENT、HydrOzone、SEMITOOL SRD、SEMITOOL STORM、Rite Track systems により、batch cleaning、wet etch、resist strip、ozone cleaning、spin-rinse drying、carrier cleaning、coat-develop、scrub、refurbishment、equipment-upgrade をカバーします。
対応領域・製品
- ウェット洗浄・エッチング装置
- 自動／半自動バッチスプレー装置
- HydrOzone バッチオゾン洗浄
- SEMITOOL STORM 低粒子キャリア洗浄
- SEMITOOL SRD スピンリンス乾燥
- SVG/Track コート・デベロップ装置の修理・アップグレード
- 高速バッチスプレー洗浄装置